EVG®520HE熱壓印系統(tǒng)特色:經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng),可滿足ZUI高要求EVG520HE半自動熱壓印系統(tǒng)設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑ZUI大為200mm的基板,并且與標準的半導體制造技術(shù)兼容。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。如果需要詳細的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務有限公司。EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)還有:EVG?7200LA,HERCULES?NIL,EVG?770,IQAligner?等。光學鏡頭納米壓印美元價
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調(diào)整,使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關(guān)于德路 德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年,公司的780名員工創(chuàng)造了。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應用于汽車、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產(chǎn)半導體、微機電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導體、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設備與工藝解決方案的領仙供應商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(shù)(NIL)與計量設備,,以及涂膠機、清洗機與檢測系統(tǒng)。EV集團創(chuàng)辦于1980年,可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務與支持。3D IC納米壓印質(zhì)量怎么樣EVG770是用于步進重復納米壓印光刻的通用平臺,可用于進行母版制作或?qū)迳系膹碗s結(jié)構(gòu)來進行直接圖案化。
EVG610特征:頂部和底部對準能力高精度對準臺自動楔形誤差補償機制電動和程序控制的曝光間隙支持蕞新的UV-LED技術(shù)蕞小化系統(tǒng)占地面積和設施要求分步流程指導遠程技術(shù)支持多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換臺式或帶防震花崗巖臺的單機版EVG610附加功能:鍵對準紅外對準納米壓印光刻μ接觸印刷EVG610技術(shù)數(shù)據(jù):晶圓直徑(基板尺寸)標準光刻:蕞大150毫米的碎片柔軟的UV-NIL:蕞大150毫米的碎片解析度:≤40nm(分辨率取決于模板和工藝)支持流程:柔軟的UV-NIL曝光源:汞光源或紫外線LED光源自動分離:不支持工作印章制作:外部
納米壓印光刻(NIL)技術(shù)EVG是納米壓印光刻(NIL)設備和集成工藝的市場lingxian供應商。EVG從19年前的研究方法中率先掌握了NIL,并實現(xiàn)了從2英寸化合物半導體晶圓到300mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn)。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的ZUI有前途且ZUI具成本效益的工藝,可用于生物MEMS,微流體,電子學以及ZUI近各種衍射光學元件的各種商業(yè)應用。其中EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)型號包含:EVG®610EVG®620NTEVG®6200NTEVG®720EVG®7200EVG®7200LAHERCULES®NILEVG®770IQAligner®熱壓納米壓抑系統(tǒng)型號包含:EVG®510HEEVG®520HE詳細的參數(shù),請聯(lián)系我們岱美有限公司。EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線。
在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心,雙方合作研發(fā)用于制造光學傳感器的新材料,以及適用于大眾化市場的晶圓級光學元件。(奧地利)與WINDACH(德國),2019年11月27日――EV集團(EVG)這一全球領仙的為微機電系統(tǒng)、納米技術(shù)與半導體市場提供晶圓鍵合與光刻設備的供應商,金天宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學元件(WLO)領域開展合作。這兩家公司均在光學傳感器制造領域處于領仙地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設備與DELO先進的粘合劑與抗蝕材料,在工業(yè),汽車,消費類電子產(chǎn)品市場開發(fā)與應用新型光學設備,例如生物特征身份認證,面部識別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心(位于EVG總部,奧地利Florian)以及DELO在德國Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器,旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設備與應用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎設施包括領仙技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設備,例如分步重復母版,透鏡模制,以及EVG的SmartNIL®技術(shù),晶圓鍵合與必要的測量設備。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟、高效的方法。光刻納米壓印優(yōu)惠價格
EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),擁有多年技術(shù),掌握了NIL,并在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。光學鏡頭納米壓印美元價
EVG®510HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)。EVGroup的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場領仙的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高效且靈活的制造技術(shù),對于尺寸低至50nm的特征,其復制精度非常高。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。壓模與基板對準的組合可將熱壓紋與預處理的基板結(jié)構(gòu)對準。這個系列包含的型號有:EVG®510HE,EVG®520HE。光學鏡頭納米壓印美元價