氣體傳輸泵是真空機(jī)組中較基礎(chǔ)的抽氣設(shè)備,它們通過改變泵腔容積的方式,將容器內(nèi)的氣體連續(xù)吸入并排出,從而初步構(gòu)建真空環(huán)境。這類泵在真空機(jī)組中的主要作用包括:在真空機(jī)組的啟動階段,氣體傳輸泵負(fù)責(zé)將容器內(nèi)的氣體迅速抽出,以快速降低容器內(nèi)的壓力。例如,在半導(dǎo)體制造過程中,需要利用氣體傳輸泵將反應(yīng)室內(nèi)的空氣抽出,為后續(xù)的工藝步驟創(chuàng)造潔凈的真空環(huán)境。在真空機(jī)組運(yùn)行過程中,氣體傳輸泵還可以作為輔助抽氣設(shè)備,與其他類型的真空泵配合使用,共同維持容器內(nèi)的真空度。例如,在真空鍍膜過程中,氣體傳輸泵可以與分子泵串聯(lián)使用,以提高整個(gè)系統(tǒng)的抽氣效率。淄博華中真空設(shè)備有限公司竭誠希望得到各界朋友的支持與合作,歡迎廣大朋友光臨惠顧!上海羅茨螺桿真空機(jī)組
超高真空機(jī)組的工作壓力區(qū)間在10-10Pa,要求主泵的極限真空度至少在10-8Pa以上,并且在工作壓力范圍內(nèi)確保相應(yīng)的抽速。這類機(jī)組的主泵常用濺射離子泵、渦輪分子泵等。超高真空機(jī)組對真空室的材料要求極高,需要能經(jīng)受200~450℃的高溫烘烤,并確保低漏氣率與出氣率。此外,機(jī)組主泵進(jìn)氣口以上的管道、閥門等部件的材料選擇和密封也要特別慎重,一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封圈。真空機(jī)組還可以根據(jù)主泵的類型進(jìn)行分類,如往復(fù)式真空機(jī)組、羅茨真空機(jī)組、螺桿真空機(jī)組、擴(kuò)散真空機(jī)組等。上海羅茨螺桿真空機(jī)組淄博華中真空設(shè)備有限公司是以集品質(zhì)、服務(wù)于一身的真空設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)。
在金屬鑄造、塑料加工等行業(yè)中,低真空抽氣機(jī)組可用于真空脫氣工藝。通過抽真空的方式,可以去除物料中的氣體和揮發(fā)性物質(zhì),從而提高產(chǎn)品的致密性和強(qiáng)度。此外,真空脫氣還可以減少能耗和環(huán)境污染。在食品、醫(yī)藥等行業(yè)中,低真空抽氣機(jī)組常被用于真空包裝設(shè)備。通過抽真空的方式,可以去除包裝內(nèi)的氧氣和水分,從而延長產(chǎn)品的保質(zhì)期和防止變質(zhì)。此外,真空包裝還可以減少包裝材料的用量和運(yùn)輸成本。雖然低真空抽氣機(jī)組在鍍膜領(lǐng)域的應(yīng)用相對較少,但在某些特定的鍍膜工藝中仍有一定的應(yīng)用價(jià)值。例如,在制備某些金屬薄膜或復(fù)合薄膜時(shí),可以采用低真空環(huán)境下的濺射或蒸發(fā)鍍膜方法。
中真空機(jī)組:適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統(tǒng)中,如鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理以及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。中真空機(jī)組常用的主泵有油增壓泵、羅茨泵(機(jī)械增壓泵)等。高真空機(jī)組:工作在分子流狀態(tài)下,工作壓力較低(10-6Pa),排氣量小、抽速大。主泵通常由擴(kuò)散泵、分子泵、鈦升華泵以及低溫冷凝泵等承擔(dān)。高真空機(jī)組無法直接在大氣下工作,需要配置前級泵、預(yù)抽泵等。超高真空機(jī)組:工作壓力區(qū)間在10-10Pa,要求主泵的極限真空在10-8Pa以上,并且在工作壓力區(qū)間內(nèi)保證相應(yīng)的抽速。華中生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn),檢測施工設(shè)備齊全,研發(fā)機(jī)構(gòu)專業(yè),技術(shù)力量雄厚,工程與產(chǎn)品質(zhì)量俱佳。
氣體噴射真空泵則是以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。這種泵通過氣體的噴射作用來形成高速射流,從而實(shí)現(xiàn)氣體的抽送。氣體噴射真空泵具有抽氣速率高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),但成本相對較高,適用于對真空度和抽氣速率都有較高要求的應(yīng)用場景。蒸氣噴射真空泵是以蒸氣(水、油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。這種泵通過蒸氣的噴射作用來形成高速射流,從而實(shí)現(xiàn)氣體的抽送。蒸氣噴射真空泵具有抽氣速率高、壓力范圍廣等優(yōu)點(diǎn),但能耗較高,且需要定期更換工作蒸氣。淄博華中真空設(shè)備有限公司擁有施工、技術(shù)指導(dǎo),及后續(xù)服務(wù)的跟進(jìn)等實(shí)現(xiàn)完整的“一站式”服務(wù)。上海羅茨旋片真空機(jī)組
華中人堅(jiān)信在集團(tuán)公司的堅(jiān)強(qiáng)領(lǐng)導(dǎo)下,在全體職工的共同努力下,我們的宏偉目標(biāo)一定能夠?qū)崿F(xiàn)。上海羅茨螺桿真空機(jī)組
常見的執(zhí)行器包括電磁閥、電機(jī)和調(diào)節(jié)閥等。這些執(zhí)行器根據(jù)控制器的指令,對真空泵、閥門等部件進(jìn)行開啟、關(guān)閉或調(diào)節(jié)等操作,以實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境的穩(wěn)定。連接管道與閥門是真空機(jī)組中氣體流動的通道和控制器,它們負(fù)責(zé)將真空泵與待抽真空的容器連接起來,并控制氣體流動的路徑和速率。連接管道通常采用不銹鋼或銅等材質(zhì)制成,具有耐腐蝕、耐高溫和高壓等特點(diǎn)。管道的連接方式包括焊接、螺紋連接和法蘭連接等,確保連接處的密封性和可靠性。上海羅茨螺桿真空機(jī)組