本篇介紹專(zhuān)業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍告訴您存儲(chǔ)柜哪家好?浙江存儲(chǔ)柜保養(yǎng)
下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶(hù)根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。杭州存儲(chǔ)柜標(biāo)準(zhǔn)合肥真萍與您分享存儲(chǔ)柜發(fā)揮的重要作用。
連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內(nèi)不斷移動(dòng),完成加熱、保溫,有時(shí)包括冷卻在內(nèi)全過(guò)程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機(jī)械機(jī)構(gòu)連續(xù)地或間歇地進(jìn)行裝料和出料,連續(xù)順序地通過(guò)按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過(guò)程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高勞動(dòng)生產(chǎn)率和改善勞動(dòng)條件。下面為大家介紹一下連續(xù)爐的產(chǎn)品特性。1.采用智能型溫度控制模塊,PID自動(dòng)演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細(xì)度;2.分段控制(當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時(shí)可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達(dá)到省電效果)3.內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無(wú)塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好);4.整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動(dòng)、自動(dòng)門(mén)開(kāi)關(guān)均采用智能控制,防止失誤動(dòng)作;5.當(dāng)實(shí)際檢測(cè)溫度超過(guò)超溫保護(hù)溫控器設(shè)定值時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源,起到雙重保護(hù)功能。
三綜合試驗(yàn)是指綜合溫度、濕度、振動(dòng)三個(gè)環(huán)境應(yīng)力的試驗(yàn),具有極寬大的溫濕度控制范圍,可滿(mǎn)足用戶(hù)的各種需要采用獨(dú)特的平衡調(diào)溫調(diào)濕方式,可獲得安全、精確的溫濕度環(huán)境。同時(shí)可在三綜合試驗(yàn)箱內(nèi)將電振動(dòng)應(yīng)力按規(guī)定的周期施加到試品上,供用戶(hù)對(duì)整機(jī)(或部件)、電器、儀器、材料等作溫濕度、振動(dòng)綜合應(yīng)力篩選試驗(yàn),以便考核試品的適應(yīng)性或?qū)υ嚻返男袨樽鞒鲈u(píng)價(jià)。下面為大家介紹一下真萍科技的溫濕度振動(dòng)三綜合試驗(yàn)箱特點(diǎn)。1.試驗(yàn)室與制冷系統(tǒng)整體組合式結(jié)構(gòu),緊湊美觀,便于操作制冷壓縮機(jī)組及主要配件均為口。2.進(jìn)口LCD彩色液晶觸摸屏,溫、濕度程序自動(dòng)控制,配有RS232通訊接口3.可根據(jù)用戶(hù)要求選配不同制造商不同型號(hào)的振動(dòng)臺(tái),振動(dòng)臺(tái)接口接口可有多種形式選用,保證冷、熱、汽密封的同時(shí),振動(dòng)臺(tái)具有良好的力學(xué)傳遞性。4.可根據(jù)用戶(hù)要求設(shè)計(jì)、制造不同規(guī)格。存儲(chǔ)柜的結(jié)構(gòu)如何組成?
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運(yùn)動(dòng)器材、汽車(chē)零配件、電機(jī)、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等的加工制作。作為隧道爐的供應(yīng)商原產(chǎn)廠家,小編下面就為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品材質(zhì)的構(gòu)成。1.外箱構(gòu)成。外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼2.系統(tǒng)裝置保護(hù)裝置定時(shí)報(bào)警斷電裝置、超溫?cái)嚯?、漏電保護(hù)斷路器、電機(jī)過(guò)載保護(hù)。合肥真萍科技建材為您提供專(zhuān)業(yè)的存儲(chǔ)柜定制服務(wù)。氮?dú)獯鎯?chǔ)柜銷(xiāo)售價(jià)格
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中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類(lèi)似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理工作。下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無(wú)2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min浙江存儲(chǔ)柜保養(yǎng)