上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)技術(shù)好

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-12-24

D.3.10自凈時(shí)間檢測(cè),應(yīng)符合下列規(guī)定:1自凈時(shí)間的檢測(cè),宜用于非單向流潔凈室。2自凈時(shí)間的檢測(cè),宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí),則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí),測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時(shí)間(t)。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí),應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自凈時(shí)間(to),與實(shí)測(cè)自凈時(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比,如果t≤12to,為合格。4自凈時(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自凈時(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起。上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)技術(shù)好

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潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級(jí)的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級(jí)要求相同的工序或工作室相對(duì)集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時(shí),應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。浙江醫(yī)療器具潔凈室檢測(cè)值得推薦正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī),再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)。

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7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定;2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定;3冷凍水進(jìn)水溫度,宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的**溫度;4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置,應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)有良好的氣密性,漏風(fēng)率不得大于1%;2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度,內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑,外表面不應(yīng)結(jié)露;3布置應(yīng)整齊,并應(yīng)便于運(yùn)行和維修;當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時(shí),宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組;送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計(jì)算系統(tǒng)總阻力時(shí),中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;5應(yīng)設(shè)置排水裝置。

7.2.1潔凈廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵,對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格,因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng),也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級(jí)換代快,生產(chǎn)工藝變化多。因此,在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí),選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí),選用亂流流型。

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15.3.2有微振動(dòng)控制要求的潔凈室(區(qū)),其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列規(guī)定:1建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上,且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度;2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系,并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔;3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求,適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道,宜采取主動(dòng)隔振措施,并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(tái)(座);2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。浙江壓差潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)技術(shù)好

D.3.2靜壓差測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過濾器的整個(gè)面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)技術(shù)好