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IC清潔劑不燃燒、不炸裂,使用安全;清洗劑可以蒸餾回收,反復(fù)使用,比較經(jīng)濟(jì);清洗工藝流程也與ODS清洗劑相同。烴類清洗工藝特點(diǎn):烴類即碳?xì)浠衔?,過去把通過蒸餾原油而得的汽油、煤油作為清洗劑使用。烴類隨碳數(shù)的增加而閃點(diǎn)提高,增加了安全性,但是干燥性不好;干燥性好的,使用上又不太安全,故兩者十分矛盾。當(dāng)然,作為清洗劑應(yīng)盡量選用防火安全性好的、閃點(diǎn)比較高的清洗劑。其清洗工藝特點(diǎn)是:對(duì)油脂類污物清洗能力很強(qiáng),洗凈能力持久性強(qiáng),且表面張力低,對(duì)細(xì)縫、細(xì)孔部分清洗效果好。IC封裝藥水配比濃度(5%-10%),消耗很低。IC芯片清洗劑報(bào)價(jià)
IC除銹劑使用方法及注意事項(xiàng):浸泡法:優(yōu)點(diǎn)是可以在表面形成均勻的防銹膜,保證產(chǎn)品的完全覆蓋,成本較低,缺點(diǎn)是只適用于小型產(chǎn)品,使用低粘度的防銹油,浸泡槽必須有很好排水系統(tǒng)。噴霧法:適用于大型且結(jié)構(gòu)復(fù)雜的產(chǎn)品,必須使用高效能的噴霧器,容易出現(xiàn)產(chǎn)品未能完全形成防銹膜,使用時(shí)工作環(huán)境要求通風(fēng)性能要好。刷涂法:此方法使用簡單,但是必須要確保工件的每一個(gè)位置都有刷涂到,使用前刷子必需保持清潔。沖洗法:效率高,循環(huán)使用,可節(jié)省成本,但是需要定期對(duì)槽內(nèi)的產(chǎn)品進(jìn)行排水以及定期進(jìn)行更換,避免水分及其他物質(zhì)過多影響防銹效果。蘇州芯片封裝藥水供求信息STM-C150除銹活化劑單劑操作,配比濃度20-40%。
因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造步驟如高溫?cái)U(kuò)散、離子植入前等均需要進(jìn)行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學(xué)溶液或氣體去除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機(jī)物之雜質(zhì)。污染物雜質(zhì)的分類:IC制程中需要一些有機(jī)物和無機(jī)物參與完成,另外,制作過程總是在人的參與下在凈化室中進(jìn)行,這樣就不可避免的產(chǎn)生各種環(huán)境對(duì)硅片污染的情況發(fā)生。根據(jù)污染物發(fā)生的情況,大致可將污染物分為顆粒、有機(jī)物、金屬污染物及氧化物。
IC封裝藥液適用于金屬表面,塑料表面,玻璃表面等的清洗和光亮,可以高效去除其表面的松香焊藥,吸塑膠以及墻上粘貼的膠紙,并且有很好的光亮效果。對(duì)表面的深層頑固污漬的去除有很好的效果??刹捎媒莘ê筒潦梅ㄟM(jìn)行除膠。浸泡十分鐘~3小時(shí)后,取出工件,再用棉布或軟毛刷將粘膠剝離擦除。由多種進(jìn)口表面活性、緩蝕劑及其它助劑配制而成的水基清洗劑,針對(duì)去除切割工藝的膠粘合劑特別研制。具有除膠速度快,除膠徹底,工作溫度低等優(yōu)點(diǎn)。按比例稀釋成工作液后,加熱至40-60度,浸泡4-6分鐘STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。
現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求:IC清潔劑在未來90~65nm節(jié)點(diǎn)技術(shù)工藝中,除了要考慮清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技術(shù)指標(biāo)外,也要考慮對(duì)環(huán)境的污染以及清洗的效率其經(jīng)濟(jì)效益等。硅片清洗技術(shù)評(píng)價(jià)的主要指標(biāo)可以歸納為:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金屬沾污、表面顆粒度以及有機(jī)物沾污,其他指標(biāo)還包括:芯片的破損率;清洗中的再沾污;對(duì)環(huán)境的污染;經(jīng)濟(jì)的可接受:包括設(shè)備與運(yùn)行成本、清洗效率)等。金屬沾污在硅片上是以范德華引力、共價(jià)鍵以及電子轉(zhuǎn)移等三種表面形式存在的。這種沾污會(huì)破壞薄氧化層的完整性,增加漏電流密度,影響MOs器件的穩(wěn)定性,重金屬離子會(huì)增加暗電流,情況為結(jié)構(gòu)缺陷或霧狀缺陷IC封裝藥水單組分產(chǎn)品,施工方便,附著力強(qiáng),豐滿度好。蘇州IC封裝表面處理液廠家直銷價(jià)
IC封裝藥水可以高效去除其表面的松香焊藥,吸塑膠以及墻上粘貼的膠紙,并且有很好的光亮效果。IC芯片清洗劑報(bào)價(jià)
有機(jī)物的去除常常在清洗工序的第1步進(jìn)行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個(gè)單獨(dú)的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對(duì)沉積介質(zhì)層進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。這個(gè)過程對(duì)IC制程也是一個(gè)潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時(shí),也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC芯片清洗劑報(bào)價(jià)
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