有機物的去除常常在清洗工序的第1步進行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個單獨的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產生互連線,然后對沉積介質層進行化學機械拋光(CMP)。這個過程對IC制程也是一個潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時,也產生各種金屬污染。必須采取相應的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC封裝藥水不影響產品后期的導電與焊接性能。IC清潔除膠劑供求信息
翻新工藝中可根據回收物情況不同設計多次清洗環(huán)節(jié)。在污染情況不是很嚴重的情況下,需在工藝設計清洗環(huán)節(jié)即可,去除自有污染物及翻新工藝污染物(如維修補焊、打磨、拋光工藝后的污染物殘留)。如回收來的線路板或芯片污染嚴重,需根據污染物組成設計第1次粗洗,去除大部分污染物,以利于其他翻新工藝的順利進行,然后在工藝設計精洗環(huán)節(jié)。清洗方法主要有手工刷洗、超聲清洗、噴淋清洗、震蕩清洗等,需根據企業(yè)實際情況進行選擇??傮w來講,超聲清洗的運行成本、清潔度、清洗效率等綜合來比較優(yōu)。IC除膠清潔供貨公司IC封裝藥水使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達到防腐蝕的作用。
STM-C190變色防止劑,STM-C190可直接取代磷酸三鈉中和處理制程。配比濃度(5%-10%),消耗很低。在錫表面沉積一層有機薄膜,可改善鍍層因儲存或熱處理(烘烤、Reflow)造成的外觀變色狀況。STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy不含H2O2,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩(wěn)定性良好。STM-C150除銹活化劑單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy、Ni。不含H202,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩(wěn)定性良好。
IC封裝藥液顆粒主要是一些聚合物、光致抗蝕劑和蝕刻雜質等。通常顆粒粘附在硅表面,影響下一工序幾何特征的形成及電特性。根據顆粒與表面的粘附情況分析,其粘附力雖然表現(xiàn)出多樣化,但主要是范德瓦爾斯吸引力,所以對顆粒的去除方法主要以物理或化學的方法對顆粒進行底切,逐漸減小顆粒與硅表面的接觸面積,終將其去除。有機物雜質在IC制程中以多種形式存在,如人的皮膚油脂、凈化室空氣、機械油、硅樹脂真空脂、光致抗蝕劑、清洗溶劑等。每種污染物對IC制程都有不同程度的影響,通常在晶片表面形成有機物薄膜阻止清洗液到達晶片表面。IC封裝藥水具有剝鎳鍍層功能,有機封閉劑。
因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造步驟如高溫擴散、離子植入前等均需要進行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學溶液或氣體去除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機物之雜質。污染物雜質的分類:IC制程中需要一些有機物和無機物參與完成,另外,制作過程總是在人的參與下在凈化室中進行,這樣就不可避免的產生各種環(huán)境對硅片污染的情況發(fā)生。根據污染物發(fā)生的情況,大致可將污染物分為顆粒、有機物、金屬污染物及氧化物。IC封裝藥水極低的添加量,綜合使用成本低。南京IC封裝表面處理液怎么樣
IC封裝藥水可有效防止鋁材黑變、灰變、白毛、失光、失色的不良現(xiàn)象的產生。IC清潔除膠劑供求信息
在執(zhí)行晶圓的前、后段工藝過程時,晶圓需要經過無數(shù)次的IC清潔劑清洗步驟,其次數(shù)取決于晶圓的設計和互連的層數(shù)。此外,由于清洗工藝過程要剝離晶圓表面的光刻膠,同時還必須去除復雜的腐蝕殘余物質,金屬顆粒以及其他污染物等,所以清洗過程是及其復雜的過程。清洗介質的選擇從濕法清洗的實踐中,越來越多出現(xiàn)難于解決的問題時,迫使科技人員探索和尋找替代的技術,除了如增加超聲頻率(采用MHz技術)等補救方法之外,選擇的途徑就是選擇氣相清洗技術來替代(熱氧化法、等離子清洗法等)。IC清潔除膠劑供求信息
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