有機物的去除常常在清洗工序的第1步進(jìn)行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個單獨的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對沉積介質(zhì)層進(jìn)行化學(xué)機械拋光(CMP)。這個過程對IC制程也是一個潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時,也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC封裝藥水具有光澤度高,良好的罩光作用。無錫電子元器件清洗劑哪里買
IC封裝藥液油性封閉劑:閃點(40度)相比有機封閉劑低,不可兌水使用,使用安全,環(huán)保,無鉻,無排放;使用前需干燥新產(chǎn)品;使用壽命長,可循環(huán)使用,無需更換;產(chǎn)品封閉處理后,表面為全干性,少量油感,不影響產(chǎn)品后期的導(dǎo)電與焊接性能,耐腐蝕性能提高5-40倍。具有光澤度高,良好的罩光作用。單組分產(chǎn)品,施工方便,附著力強,豐滿度好,保光、保色效果好,耐久,很好的耐候性,為耐黃變產(chǎn)品,可用水調(diào)節(jié)粘度,使用安全方便,經(jīng)濟(jì)使用。經(jīng)兩到四分鐘浸漬后,在金制品或金鍍層表面形成一層單分子膜厚度的防氧化保護(hù)層,依使用運輸和儲存條件的不同,在1-3年內(nèi)可防止表面形成硫化物。南京電子元器件清洗劑供應(yīng)信息IC封裝藥水使用前需干燥新產(chǎn)品。
IC封裝藥液顆粒主要是一些聚合物、光致抗蝕劑和蝕刻雜質(zhì)等。通常顆粒粘附在硅表面,影響下一工序幾何特征的形成及電特性。根據(jù)顆粒與表面的粘附情況分析,其粘附力雖然表現(xiàn)出多樣化,但主要是范德瓦爾斯吸引力,所以對顆粒的去除方法主要以物理或化學(xué)的方法對顆粒進(jìn)行底切,逐漸減小顆粒與硅表面的接觸面積,終將其去除。有機物雜質(zhì)在IC制程中以多種形式存在,如人的皮膚油脂、凈化室空氣、機械油、硅樹脂真空脂、光致抗蝕劑、清洗溶劑等。每種污染物對IC制程都有不同程度的影響,通常在晶片表面形成有機物薄膜阻止清洗液到達(dá)晶片表面。
IC清潔劑對金屬不腐蝕,可蒸餾回收,反復(fù)使用,比較經(jīng)濟(jì);毒性較低,對環(huán)境污染少;清洗與漂洗可用同一種介質(zhì),使用方便。烴類清洗工藝的缺點,主要的是安全性問題,要有嚴(yán)格的安全方法措施。醇類清洗工藝特點:醇類中乙醇和異丙醇是工業(yè)中常用得有機極性溶劑,甲醇毒性較大,一般做添加劑。醇類清洗工藝特點是:對離子類污染物有很好的溶解能力,清洗松香焊劑效果非常好,對油脂類溶解能力較弱;與金屬材料和塑料等相容性好,不產(chǎn)生腐蝕和容脹;干燥快,容易晾干或送風(fēng)干燥,可不必使用熱風(fēng);脫水性好,常用做脫水劑。IC封裝藥水能夠鎖住金屬表面顏色。
HCFC類IC清潔劑及其清洗工藝特點:這是一種含氫的氟氯烴,其蒸發(fā)潛熱小、揮發(fā)性好,在大氣中容易分解,破壞臭氧層的作用比較小,屬于一種過渡性產(chǎn)品,規(guī)定在2040年以前淘汰,所以,我們不推薦使用該類清洗劑。其存在的問題主要有兩個:一是過渡性。因為對臭氧層還有破壞作用,只允許使用到2040年;二是價格比較高,清洗能力較弱,增加了清洗成本。氯代烴類的清洗工藝特點:氯代烴類如二氯甲烷、三氯乙烷等也屬于非ODS清洗劑。其清洗工藝特點是:清洗油脂類污物的能力特別強;像ODS清洗劑一樣,也可以用蒸氣洗和氣相干燥。IC封裝藥水依使用運輸和儲存條件的不同,在1-3年內(nèi)可防止表面形成硫化物。無錫IC清潔除膠劑庫存充足
IC封裝藥水潤滑性、耐磨性能優(yōu)良,緩蝕率高。無錫電子元器件清洗劑哪里買
IC清潔劑在諸多的清洗工序中,只要其中某一工序達(dá)不到要求,則將前功盡棄,導(dǎo)致整批芯片的報廢,所以可以毫不夸張地說,沒有有效的清洗技術(shù),便沒有集成電路和超大規(guī)模集成電路的現(xiàn)在。傳統(tǒng)清洗技術(shù)主要使用酸、堿、雙氧水、甲苯、三氯乙烯、氟利昂等化學(xué)試劑,成本高,而且有毒,有腐蝕性,危害安全與健康并污染環(huán)境,特別是氟利昂等ODS物質(zhì)研究破壞地球臭氧層,危及人類生態(tài)環(huán)境,是國際上限期禁止生產(chǎn)和使用的物質(zhì)。多年來,國內(nèi)外科學(xué)家就致力于研究無毒,無腐蝕性的清洗工藝,但尚未取得突破。無錫電子元器件清洗劑哪里買
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