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現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求:IC清潔劑在未來90~65nm節(jié)點(diǎn)技術(shù)工藝中,除了要考慮清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技術(shù)指標(biāo)外,也要考慮對環(huán)境的污染以及清洗的效率其經(jīng)濟(jì)效益等。硅片清洗技術(shù)評價的主要指標(biāo)可以歸納為:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金屬沾污、表面顆粒度以及有機(jī)物沾污,其他指標(biāo)還包括:芯片的破損率;清洗中的再沾污;對環(huán)境的污染;經(jīng)濟(jì)的可接受:包括設(shè)備與運(yùn)行成本、清洗效率)等。金屬沾污在硅片上是以范德華引力、共價鍵以及電子轉(zhuǎn)移等三種表面形式存在的。這種沾污會破壞薄氧化層的完整性,增加漏電流密度,影響MOs器件的穩(wěn)定性,重金屬離子會增加暗電流,情況為結(jié)構(gòu)缺陷或霧狀缺陷。IC封裝藥水抗硫化性和耐候性能優(yōu)越,5%硫化鉀測試可通過1-2小時。南京芯片制程藥劑批發(fā)商
有機(jī)物的去除常常在清洗工序的第1步進(jìn)行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個單獨(dú)的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對沉積介質(zhì)層進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。這個過程對IC制程也是一個潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時,也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。常州電子元器件清洗劑IC封裝藥水在錫表面沉積一層有機(jī)薄膜,可改善鍍層因儲存或熱處理造成的外觀變色狀況。
IC芯片生產(chǎn)是一個高科技、高投入和高回報的行業(yè),芯片工藝生產(chǎn)中所運(yùn)用的清洗液,尤其是后段制程的有機(jī)溶劑,價格昂貴,成分保密,被國外化學(xué)品大廠壟斷。IC清潔劑采用多種能生物降解表面活性劑,并添加多種助劑、緩蝕劑科學(xué)配制而成。,能夠迅速除掉工件表面的各種油污,不腐蝕工件,并且具有短期防銹效果。也可用于大型設(shè)備的表面擦洗,具有低堿度、無腐蝕、操作簡單、低溫使用,節(jié)約能源,使用壽命長等特點(diǎn)。使用方法:本脫脂劑可用擦洗或浸泡式對工件表面進(jìn)行清洗處理,配制方法:(按1000L計算)1:將清水加到處理槽容量的9成。2:慢慢加入100-公斤IC-502,邊加邊攪拌。(油污較重可適量提供使用比例)3:加入余量的水到1000L,并攪拌均勻。
IC清潔劑流體與固體接觸時,不帶任何表面張力,因此能滲透到晶圓內(nèi)部較深的光刻位囂,因而可以剝離更小的顆粒。流體的粘度很低,可以去除掉晶圓表面的無用固體。采用超臨界流體清洗給組合元件圖案造成的損傷少并可以壓制對基板的侵蝕和不純物的消費(fèi)??蓪ψ⑷腚x子的光敏抗腐蝕劑掩模用無氧工藝進(jìn)行剝離。引進(jìn)超臨界流體清洗技術(shù),清洗方法以不使用液體為主流,預(yù)計到2020年,可達(dá)到幾乎完全不使用液體的超臨界流體清洗或者針點(diǎn)清洗成為主要的清洗方法超臨界流體清洗的革新點(diǎn)在于可以解決現(xiàn)有清洗方法中的兩個弊端,即清洗時,損傷晶片、或組合元件和污染環(huán)境的問題。防變色劑一般分為兩種:一種為有機(jī)封閉劑,一種為油性封閉劑。
金屬的腐蝕生銹給社會發(fā)展造成了巨大的經(jīng)濟(jì)損失,還給人們的日常生產(chǎn)生活帶來較大的不便和潛在的直接或間接性的環(huán)境污染,安全隱患。因此對金屬基材的防銹始終是人們關(guān)注的焦點(diǎn)。IC除銹劑的優(yōu)點(diǎn)防銹的方法中比較簡單有效的就是使用IC除銹劑。IC除銹劑的優(yōu)點(diǎn)在于超級高效的合成滲透劑,它能強(qiáng)力滲入鐵銹、腐蝕物、油污內(nèi)從而輕松地除掉掉螺絲、螺拴上的銹跡和腐蝕物,具有滲透除銹、松動潤滑、防止腐蝕、保護(hù)金屬等性能。并可在部件表面上形成并貯存一層潤滑膜,可以防止?jié)駳饧霸S多其它化學(xué)成份造成的腐蝕。IC封裝藥水依使用運(yùn)輸和儲存條件的不同,在1-3年內(nèi)可防止表面形成硫化物。蘇州IC除膠清洗劑廠家直銷價
STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。南京芯片制程藥劑批發(fā)商
IC封裝藥液具有剝鎳鍍層功能,有機(jī)封閉劑:屬于干性防銹/防變色劑,適用于等產(chǎn)品后防變色,防腐蝕處理。環(huán)保,無鉻,符合國家檢測標(biāo)準(zhǔn)。防變色劑又稱防腐蝕劑,IC除銹劑。封閉劑:是通過化學(xué)品與金屬之間發(fā)生的一種物理反應(yīng),使其金屬表面轉(zhuǎn)化成不易被氧化的狀態(tài),延長金屬使用壽命的方法。封閉的原理:可用薄膜理論來解釋,即認(rèn)為封閉是由于金屬與氧化性質(zhì)作用,作用時在金屬表面生成一種非常薄的、致密的、覆蓋性能良好的、牢固地吸附在金屬表面上的物理膜。這層膜成單獨(dú)相存在,通常是氧化金屬的化合物。南京芯片制程藥劑批發(fā)商