ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下,氧化銦透過(guò)率高,氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng),液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過(guò)率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強(qiáng)的吸水性,所以會(huì)吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì),俗稱(chēng)“霉變”,因此在存放時(shí)要防潮。ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng),形成其它導(dǎo)電和透過(guò)率不佳的反應(yīng)物質(zhì),所以在加工過(guò)程中,盡量避免長(zhǎng)時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成,晶粒在加溫過(guò)程中會(huì)裂變變小,從而增加更多晶界,電子突破晶界時(shí)會(huì)損耗一定的能量,所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會(huì)隨著溫度的升高,電阻也增大。ITO蝕刻液在穩(wěn)定狀態(tài)下能達(dá)到高的蝕刻質(zhì)量的特性。江蘇TIO去膜藥水廠(chǎng)家聯(lián)系電話(huà)
影響ITO蝕刻液側(cè)蝕的因素很多,下面概述幾點(diǎn):1)蝕刻方式:浸泡和鼓泡式蝕刻會(huì)造成較大的側(cè)蝕,潑濺和噴淋式蝕刻側(cè)蝕較小,尤以噴淋蝕刻效果較好。2)蝕刻液的種類(lèi):不同的蝕刻液化學(xué)組分不同,其蝕刻速率就不同,蝕刻系數(shù)也不同。例如:酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通常為3,堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)可達(dá)到4。近來(lái)的研究表明,以硝酸為基礎(chǔ)的蝕刻系統(tǒng)可以做到幾乎沒(méi)有側(cè)蝕,達(dá)到蝕刻的線(xiàn)條側(cè)壁接近垂直。這種蝕刻系統(tǒng)正有待于開(kāi)發(fā)。江蘇TIO去膜藥水廠(chǎng)家聯(lián)系電話(huà)ITO堿性蝕刻液的密度太低會(huì)加重側(cè)蝕。
對(duì)于ITO蝕刻液用法的理解,我們可以用個(gè)比較通俗的說(shuō)法,那就是使用具有腐蝕性的一些化學(xué)材料對(duì)某種物品進(jìn)行腐蝕,將不需要的部分腐蝕掉,從而將其雕刻成所需要的目標(biāo)物品的過(guò)程。那這個(gè)具有腐蝕性的化學(xué)材料,就稱(chēng)為ITO蝕刻液了。那專(zhuān)業(yè)的ITO蝕刻液解釋又是什么呢?ITO蝕刻液是通過(guò)侵蝕材料的特性來(lái)進(jìn)行雕刻的一種液體,是一種銅版畫(huà)雕刻用原料。從理論上講,凡能氧化鋼而生成可溶性銅鹽的試劑,都可以用來(lái)蝕刻敷銅箔板,但是ITO蝕刻液用途要權(quán)衡對(duì)抗蝕層的破壞情況、蝕刻速度,溶液再生及銅的回收、環(huán)境保護(hù)及經(jīng)濟(jì)效果等各方面的影響因素選擇合適的試劑。
ITO蝕刻廢液的處理具體特點(diǎn):第1、印制板廠(chǎng)的廢蝕刻液不必再由外單位拉走,在廠(chǎng)內(nèi)就可直接銅回收和廢蝕刻液的循環(huán)使用。實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn),不會(huì)對(duì)環(huán)境造成任何污染,符合國(guó)家法律政策。第二、印制板廠(chǎng)蝕刻機(jī)的氨洗水,也同時(shí)獲得了再生回用,或可實(shí)現(xiàn)無(wú)污染排放。第三、很大程度減輕了印制板廠(chǎng)廢水處理站的運(yùn)行負(fù)荷,降低運(yùn)行成本。第四、變廢為寶,為企業(yè)帶來(lái)良好的經(jīng)濟(jì)效益。第五、自主研制、開(kāi)發(fā)、制造、安裝、調(diào)試,全套設(shè)備采用PLC數(shù)字控制,易操作管理。第六、落實(shí)了國(guó)家《清潔生產(chǎn)促進(jìn)法》,樹(shù)立科學(xué)發(fā)展觀,創(chuàng)造人和自然的和諧發(fā)展,實(shí)現(xiàn)“資源再生,循環(huán)經(jīng)濟(jì)”的可持續(xù)經(jīng)濟(jì)發(fā)展目標(biāo),有著非常重要的意義。ITO蝕刻液由氟化銨、草酸、硫酸鈉、氫氟酸、硫酸、硫酸銨、甘油、水組成。
ITO蝕刻液影響蝕刻速率的因素:酸性氯化銅蝕刻液。Cl-含量的影響。溶液中氯離子濃度與蝕刻速率有著密切的關(guān)系,當(dāng)鹽酸濃度升高時(shí),蝕刻時(shí)間減少。在含有6N的HCl溶液中蝕刻時(shí)間至少是在水溶液里的1/3,并且能夠提高溶銅量。但是,鹽酸濃度不可超過(guò)6N,高于6N鹽酸的揮發(fā)量大且對(duì)設(shè)備腐蝕,并且隨著酸濃度的增加,氯化銅的溶解度迅速降低。添加Cl-可以提高蝕刻速率的原因是:在氯化銅溶液中發(fā)生銅的蝕刻反應(yīng)時(shí),生成的Cu2Cl2不易溶于水,則在銅的表面形成一層氯化亞銅膜,這種膜能夠阻止反應(yīng)的進(jìn)一步進(jìn)行。過(guò)量的Cl-能與Cu2Cl2絡(luò)合形成可溶性的絡(luò)離子(CuCl3)2-,從銅表面上溶解下來(lái),從而提高了蝕刻速率。ITO顯影液用于黑白膠片顯影的顯影液稱(chēng)黑白顯影液。江蘇TIO去膜藥水廠(chǎng)家聯(lián)系電話(huà)
ITO顯影液在電子行業(yè)的一般要求是超凈和高純。江蘇TIO去膜藥水廠(chǎng)家聯(lián)系電話(huà)
ITO顯影液的濃度是指顯影劑的相對(duì)含量,即NaOH、Na2SiO3總含量。市場(chǎng)上銷(xiāo)售的顯影液多是濃縮型液體,使用時(shí)需要按比例稀釋?zhuān)@影液的濃度多以顯影液的稀釋比來(lái)表示。在其他條件不變的前提下,顯影速度與顯影液濃度成正比關(guān)系,即顯影液濃度越大,顯影速度越快。當(dāng)溫度22℃,顯影時(shí)間為60秒時(shí),PD型顯影液濃度對(duì)PS版性能的影響。當(dāng)顯影液濃度過(guò)大時(shí),往往因顯影速度過(guò)快而使顯影操作不易控制;特別是它對(duì)圖文基礎(chǔ)的腐蝕性增強(qiáng),容易造成網(wǎng)點(diǎn)縮小、殘損、亮調(diào)小網(wǎng)點(diǎn)丟失及減薄涂層,從而造成耐印力下降等弊??;同時(shí)空白部位的氧化膜和封孔層也會(huì)受到腐蝕和破壞,版面出現(xiàn)發(fā)白現(xiàn)象,使印版的親水性和耐磨性變差。顯影液濃度大,還易有結(jié)晶析出。當(dāng)顯影液的濃度偏低時(shí),堿性弱,顯影速度慢,易出現(xiàn)顯影不凈、版面起臟、暗調(diào)小白點(diǎn)糊死等現(xiàn)象。江蘇TIO去膜藥水廠(chǎng)家聯(lián)系電話(huà)
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