真空鍍膜需要注意的問題：1、厚度上的均勻性，也可以理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位，約為100A)，真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好，可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi)，也就是說對于薄膜的光學(xué)特性來說，真空鍍膜沒有障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度，也就是說要實現(xiàn)10A甚至1A的表面平整，具體控制因素下面會根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。2、化學(xué)組分上的均勻性: 就是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于尺度過小而比較容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過程不科學(xué)，那么實際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 3、晶格有序度的均勻性: 這決定了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技術(shù)中的熱點問題。真空鍍膜機(jī)的優(yōu)點:可以通過涂敷各種樣式的產(chǎn)品，批量處理能力強(qiáng)，膜層厚度均勻一致！杭州光學(xué)真空鍍膜漆
真空鍍膜機(jī)多弧離子鍍膜被加工材料的品種、軟硬、脆韌，加工條件是干磨、濕磨，壓力大小，真空鍍膜設(shè)備多弧離子鍍膜要求加工的表面狀況，真空鍍膜機(jī)多弧離子鍍膜是要求加工鋒利、或突出耐用等等的不同，多弧離子鍍膜都會對我們選擇磨料品種、品級、粒度，選擇鍍液的種類、配方、工藝，選擇多弧離子鍍膜參數(shù)等等產(chǎn)生不同的影響。尤其當(dāng)研制新產(chǎn)品時，真空鍍膜機(jī)多弧離子鍍膜對每次試驗的數(shù)據(jù)如磨削條件、結(jié)果等，要有周全、真實的記錄，這些是我們再次對產(chǎn)品進(jìn)行試驗改進(jìn)的重要依據(jù)。黑龍江疏水真空鍍膜真空鍍膜機(jī)電磁閥是由電磁線圈和磁芯組成，是包含一個或幾個孔的閥體。
真空鍍膜加工設(shè)備維修保養(yǎng)技巧：1、真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上，需要清潔工作室一次。方法是：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室，以及用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng)，充入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作。方法是：啟動維持泵，關(guān)好大門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會燒環(huán)，無法進(jìn)入工作狀態(tài)。3、當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。方法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。
與蒸發(fā)鍍膜不同，濺射鍍膜不受膜材熔點的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法，即將反應(yīng)氣體 (O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或濺射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?；b在接地的電極上，絕緣靶裝在對面的電極上。高頻電源一端接地，一端通過匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后，高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子，絕緣靶表面帶負(fù)電，在達(dá)到動態(tài)平衡時，靶處于負(fù)的偏置電位，從而使正離子對靶的濺射持續(xù)進(jìn)行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個數(shù)量級。真空鍍膜機(jī)在集成電路制造中的應(yīng)用：PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。
真空鍍膜操作規(guī)程：1．在機(jī)床運(yùn)轉(zhuǎn)正常情況下，開動機(jī)床時，須先開水管，工作中應(yīng)隨時注意水壓。 2．在離子轟擊和蒸發(fā)時，應(yīng)特別注意高壓電線接頭，不得觸動，以防觸電。 3．在用電子頭鍍膜時，應(yīng)在鐘罩周圍上鋁板。觀察窗的玻璃用鉛玻璃，觀察時應(yīng)戴上鉛玻璃眼鏡，以防X射線侵害人體。 4．鍍制多層介質(zhì)膜的鍍膜間，應(yīng)安裝通風(fēng)吸塵裝置，及時排除有害粉塵。 5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。 6．酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)裝置內(nèi)進(jìn)行，并要戴橡皮手套。 7．把零件放入酸洗或堿洗槽中時，應(yīng)輕拿輕放，不得碰撞及濺出。平時酸洗槽盆應(yīng)加蓋。 8．工作完畢應(yīng)斷電、斷水。真空鍍膜所采用的方法主要有蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。福建屏蔽真空鍍膜
真空鍍膜設(shè)備膜層厚度過厚會帶一點黑色，但是是金屬本色黑色。杭州光學(xué)真空鍍膜漆
真空鍍膜加工操作規(guī)程：1．在真空鍍膜加工中設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)正常情況下，開動真空鍍膜加工機(jī)時，須先開水管，工作中應(yīng)注意水壓。2．在離子轟擊和蒸發(fā)時，應(yīng)特別注意高壓電線接頭，不得觸動，以防觸電。3．在用電子頭鍍膜時，應(yīng)在鐘罩周圍上鋁板。觀察窗的玻璃用鉛玻璃，觀察時應(yīng)戴上鉛玻璃眼鏡，以防X射線侵害人體。4．鍍制多層介質(zhì)膜的鍍膜間，應(yīng)安裝通風(fēng)吸塵裝置，及時排除有害粉塵。5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。6．酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)裝置內(nèi)進(jìn)行，并要戴橡皮手套。7．把零件放入酸洗或堿洗槽中時，應(yīng)輕拿輕放，不得碰撞及濺出。平時酸洗槽盆應(yīng)加蓋。8．工作完畢應(yīng)斷電、斷水。杭州光學(xué)真空鍍膜漆
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