真空鍍膜機多弧離子鍍膜合理維護在鍍膜制品的生產(chǎn)過程,鍍膜過程除了鍍液主鹽成分的變化外,它還會有有一些雜質(zhì)的不斷積累或是某些情況下的意外侵入。真空鍍膜機、真空鍍膜設備多弧離子鍍膜對常見雜質(zhì)的引入原因、方式及故障現(xiàn)象有所解決。真空鍍膜機多弧離子鍍膜也對于雜質(zhì)及影響、添加劑的分析及補充等非常有幫助。真空鍍膜機多弧離子鍍膜隨著生產(chǎn)中出現(xiàn)問題并解決問題的循環(huán)次數(shù)不斷增加,多弧離子鍍膜生產(chǎn)維護水平也會越來越高。對于多弧離子鍍膜制品所要加工的對象、加工要求及加工條件,我們應該要有必要的了解。真空鍍膜機、真空鍍膜設備多弧離子鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量的高低是針對某種加工對象和滿足其要求的。觀察窗的玻璃較好用鉛玻璃,觀察時應戴上鉛玻璃眼鏡,以防X射線侵害人體。浙江無色透明真空鍍膜加工
與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應濺射法,即將反應氣體 (O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應氣體及其離子與靶原子或濺射原子發(fā)生反應生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對面的電極上。高頻電源一端接地,一端通過匹配網(wǎng)絡和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負電,在達到動態(tài)平衡時,靶處于負的偏置電位,從而使正離子對靶的濺射持續(xù)進行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個數(shù)量級。浙江無色透明真空鍍膜加工在建筑和汽車玻璃上使用真空電鍍設備技術,鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃。
用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。濺射現(xiàn)象于1870年開始用于鍍膜技術,1930年以后由于提高了沉積速率而逐漸用于工業(yè)生產(chǎn)。。通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑Π忻娴年枠O上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入 10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。
離子鍍:蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。這種技術是D.麥托克斯于1963年提出的。離子鍍是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術的結合。一種離子鍍系統(tǒng)如圖4[離子鍍系統(tǒng)示意圖],將基片臺作為陰極,外殼作陽極,充入惰性氣體(如氬)以產(chǎn)生輝光放電。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過等離子區(qū)時發(fā)生電離。正離子被基片臺負電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場對離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對基片的濺射清洗作用,使膜層附著強度較大提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(fā)(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點,并有比較好的繞射性,可為形狀復雜的工件鍍膜。真空鍍膜機電阻式蒸發(fā)鍍分為預熱段、預溶段、線性蒸發(fā)段三個步驟。
真空電鍍設備的監(jiān)控方法:1、目視監(jiān)控:使用眼睛監(jiān)控,因為薄膜在生長的過程中,由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化,我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有誤差,所以不是比較準確,需要依靠經(jīng)驗。2、極值監(jiān)控法:當膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化,當反射率或穿透率走到極值點的時候,就可以知道鍍膜之光學厚度ND是監(jiān)控波長的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大,因為當反射率或者透過率在極值附近變化比較慢,亦就是膜厚ND增加許多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。3.定值監(jiān)控法:此方法利用停鍍點不在監(jiān)控波長四分之一波位,然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點。4.水晶振蕩監(jiān)控:利用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個不好之處就是當膜厚增加到厚度后,振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關系,此時須使用新的石英振蕩片。蒸發(fā)率與產(chǎn)品裝載量,產(chǎn)品屏蔽措施,coating 壓力有關。浙江無色透明真空鍍膜加工
真空鍍膜機爐體與爐門為了充分利用爐體的內(nèi)部空間,減輕真空系統(tǒng)的負載。浙江無色透明真空鍍膜加工
真空鍍膜技術與濕式鍍膜技術相比較,具有下列優(yōu)點:(1)薄膜和基體選材普遍,薄膜厚度可進行控制,以制備具有各種不同功能的功能性薄膜。(2)在真空條件下制備薄膜,環(huán)境清潔,薄膜不易受到污染,因此可獲得致密性好、純度高和涂層均勻的薄膜。(3)薄膜與基體結合強度好,薄膜牢固。(4)干式鍍膜既不產(chǎn)生廢液,也無環(huán)境污染。真空鍍膜技術主要有真空蒸發(fā)鍍、真空濺射鍍、真空離子鍍、真空束流沉積、化學氣相沉積等多種方法。除化學氣相沉積法外,其他幾種方法均具有以下的共同特點:各種鍍膜技術都需要一個特定的真空環(huán)境,以保證制膜材料在加熱蒸發(fā)或濺射過程中所形成蒸氣分子的運動,不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾,并消除大氣中雜質(zhì)的不良影響。浙江無色透明真空鍍膜加工
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