派瑞林又稱PARYLENE、聚對二甲苯、派拉倫,屬于一系列獨特的高聚物的一個通常的稱呼。派瑞林(PARYLENE)涂層材料是一種完全線性的高度結(jié)晶結(jié)構(gòu)的材料。派瑞林(PARYLENE)用獨特的真空氣相沉積工藝制備,由活性小分子在基材外觀"生長"出完全敷形的聚合物薄膜涂層,它能涂敷到各種外形的外觀,包括尖銳的棱邊,裂縫里和內(nèi)外觀。這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層,厚度均勻、致密透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有出色的電絕緣性和防護性,是現(xiàn)代有用的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。派瑞林涂層均勻滲入與涂布在涂裝物的內(nèi)部隙縫與表面。遼寧金屬派瑞林涂層材料
派瑞林涂層在微泵領域應用:微型泵是微流動系統(tǒng)的一個重要執(zhí)行器件。根據(jù)其有無可動閥片, 微型泵可分為有閥微型泵和無閥微型泵。另一種單向閥型壓電驅(qū)動微泵, 通過石蠟成型技術將隔膜設計為拱形, 同時微閥和隔膜由聚合物派瑞林涂層制成, 保證了隔膜較大的形變以產(chǎn)生較大的泵送效率。微泵采用壓電薄膜來驅(qū)動派瑞林涂層拱形隔膜, 以此驅(qū)動兩個派瑞林涂層微止回閥來實現(xiàn)泵送流體。實驗表明, 該泵具有功率低(如對于5. 5 mm直徑的隔膜, 工作頻率在30 kHz, 泵送水速度為1μL /min, 功率只為1 mW) 和批量加工的優(yōu)點, 對于懸臂梁式微閥的微泵, 在400 Pa時, 有較小的泄漏產(chǎn)生, 而對于橋式微閥的微泵, 在反向壓力為800 Pa時, 幾乎沒有泄漏產(chǎn)生。遼寧金屬派瑞林涂層材料派瑞林涂層可使產(chǎn)品達到國際性防塵、防水的IP等級規(guī)范。
派拉倫Parylene鍍膜技術具有良好的性能和附著力,經(jīng)派拉倫鍍膜技術涂敷后的產(chǎn)品具有極高的絕緣強度和耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用,因此被普遍運用于各行各業(yè)。派拉倫的真空氣相沉積工藝不只和微電子集成電路制作工藝相似,而且所制備的派拉倫涂層介電常數(shù)也低,還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖,進行再金屬化,因此派瑞林原料不只可用作防護材料,而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用,經(jīng)派拉倫涂敷過的集成電路芯片,其25um細直徑連接線,連接強度可提高5-10倍。
Parylene薄膜具有厚度均勻、致密透明無應力、優(yōu)異的電絕緣性和防護性等特點,可應用在光電材料、磁性材料、服裝及文物保護等領域,因其生物兼容性和生物穩(wěn)定性,還可以應用在醫(yī)用領域。然而,需要注意的是,Parylene涂覆對于材料表面的要求比較高,要求附著力好,無雜質(zhì),因此在進行涂覆前,必須對物件的表面進行一定預處理,以增加涂覆物件的附著力。派瑞林鍍膜裝置通過控制加熱裝置對鍍膜室的溫度進行調(diào)整,可以對基板上的鍍膜液進行蒸發(fā),提高鍍膜效果,鍍膜室還連接設置設置在設備室內(nèi)部的真空裝置,通過真空裝置對鍍膜室進行抽真空,使得鍍膜過程在真空中進行,使得鍍膜緊固性高,提高鍍膜效果。雖然派拉倫涂層通常很薄,但它們的沉積速度也相對較慢。
派瑞林不只絕緣防銹性能非常的好而且生物相容性也很好,它已通過論證,滿足美國藥典生物醫(yī)用材料VI類的標準,被列為是一種可以在體內(nèi)長期植入使用的生物醫(yī)用材料。隨著生物醫(yī)用電子科學的不斷進步和發(fā)展,在國外除了心臟起搏器用派瑞林進行可靠絕緣防護外,腦電極、植入式傳感器、血液分析傳感器和高頻手術刀等微型電子醫(yī)療器械,也都有使用派瑞林。派瑞林對醫(yī)療器械有很大幫助和用途,比如,針灸針,血管支架,封堵器,醫(yī)用導管等等。派瑞林涂層薄膜的厚度可由(0.001mm-0.05mm)。遼寧金屬派瑞林涂層材料
派瑞林涂層以減少產(chǎn)品支架成本并具更好的散熱性。遼寧金屬派瑞林涂層材料
派瑞林真空鍍膜技術設備優(yōu)勢:講到派瑞林真空鍍膜技術,首先得講一下其歷史,開發(fā)應用的一種新型敷形涂層材料,它是一種對二甲苯的聚合物,根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同,Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型。派瑞林真空氣鍍膜的方法是化學氣相沉積法(CVD),反應物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生空間氣相化學反應,在固態(tài)基體表面直接生成固態(tài)物質(zhì),進而在基材表面形成涂層的一種工藝技術。派瑞林薄膜制備過程為環(huán)狀二聚體在高溫下兩個相連甲基碳碳鍵斷裂,生成具有活性的對二亞甲基苯單體,當其從高溫環(huán)境進入室溫環(huán)境的沉積室時,不穩(wěn)定的單體就會聚合成膜。整個制備工藝過程分為三步:單體的汽化、裂解、在基材表面進行附著沉積。遼寧金屬派瑞林涂層材料
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