在半導體的生產環(huán)節(jié)中,圓晶減薄是其中一個關鍵的生產環(huán)節(jié)。實際上,由于芯片已在圓晶上成形,減薄操作的任何失誤都可能影響芯片成品率和成本。在減薄加工中,可用接觸式或非接觸式傳感器測量,甚至可在去離子水中測量,進行嚴格在線控制。馬波斯傳感器甚至可檢測到砂輪與圓晶接觸的瞬間或檢查任何過載。另外,馬波斯傳感器可控制的厚度從4μm到900μm(單側測量),智能處理厚度數據,可正常控制超薄厚度和記錄數據(黑盒功能)。馬波斯的測量技術幾乎涵蓋了當今工業(yè)應用和需求的大多數解決方案。安徽發(fā)動機檢測設備
由于在高轉速和高扭矩下工作,轉子軸必須承受恒定的機械應力。為了使這些部件達到比較高質量,必須對其某些方面(如軸承,座)進行極其精確的磨削操作。成品質量和優(yōu)化周期是整個工藝過程中十分重要的。Marposs在磨削過程監(jiān)控方面具有豐富的經驗。Marposs設計開發(fā)一整套傳感器,這些傳感器專門設計用于在不同磨削階段控制所有的關鍵參數:過程中和過程后測量、動平衡聲發(fā)射、振動和功率。Marposs提供定制化動態(tài)測量工站對軸或轉子組件進行自動加工后測量。玻璃半自動檢測設備憑借e.d.c.產品,馬波斯提供了一整套解決方案,專門用于任何類型電機的功能測試和下線測試。
馬波斯除了可以在線測量鋰離子電池的電極極片,還能夠進行方形電芯的電氣檢測。馬波斯在電芯測量方面,能夠提供EOL(電芯生產)或BOL(模組組裝)階段智能方形電芯檢測臺以供測量。智能方形電芯檢測臺的檢測范圍很多,可以包括外形尺寸測量、電性能和絕緣性能檢測以及電解液泄漏示蹤檢測。從特征的角度來看,一方面,馬波斯智能方形電芯檢測臺可以適應不同類型方形電芯的檢測要求,同時,測量過程中可以提供手動和自動上料解決方案。與此同時,設備的電性能檢測范圍廣,可分容。
對于半導體行業(yè)來說,圓晶測量和缺陷檢測都是半導體生產的關鍵環(huán)節(jié),檢測和控制生產中的每一步生產質量。為了顯微測量,馬波斯提供2D光譜共焦線掃相機。在超高分辨率和超大景深應用中,可在Z軸上準確聚焦。因此,這是檢測圓晶缺陷的理想選擇,例如,圓晶沿的檢測和封裝期間的檢測。這些傳感器都允許集成在測量和檢測設備中。馬波斯和STIL在數十年的發(fā)展中積累了豐富的經驗,可為用戶提供量身定制解決方案和的光學設計。馬波斯的小橫向分辨率為0.4μm*0.4μm,大傾斜角為+/-45°,0.75數值孔徑。無損探測以渦流為基礎,渦流是由時變磁場在導電材料內引起的小電流回路。
MARPOSS提供電池生產過程中所有階段的泄漏測試和漏點探測解決方案,單個電芯的真空箱氦檢,電池包組件(如冷卻管&冷卻板)的氦氣泄漏和漏點探測解決方案,在組裝完成后,通過壓降法/流量法或示蹤氣體測試法,對大體積模組、電池包和外殼(包括電氣元件)進行泄漏測試。在進行電池托盤,蓋板和電池包的泄漏測試的過程中,安裝完成的電池模組裝到電池外殼內,并檢測泄漏(漏率在10-3scc/s范圍內)。當采用水/乙醇混合物作為冷卻劑時泄漏率在10-3scc/s范圍內,而采用氣體作為冷卻劑時泄漏率在10-5scc/s范圍內。MARPOSS嗅探氦氣泄漏測試方案能夠測量10-2 - 10-4 SCC/sec的泄漏,該技術在漏率范圍內取得了良好測試結果。湖北汽車照明系統(tǒng)檢測設備方法
馬波斯電機檢測解決方案旨在通過使用識別電機內部潛在趨勢的設備來檢查電機的完整性。安徽發(fā)動機檢測設備
在測量轉子軸多個截面的外徑的同時,還可以同時測量鐵芯和花鍵齒輪相對于轉子軸的跳動。用激光掃描技術檢查平衡孔的直徑和深度是一個附加功能。Marposs可以提供基于2D光學技術的高精度測量解決方案,用于在計量實驗室和生產環(huán)境中對轉子和轉子軸進行快速和多樣的質量控制。觸覺感應和光學技術的結合(也能在轉子磁場的影響下工作)使測量能力達到理想水平。根據轉子類型的不同,客戶可使用定制的手動或自動方案進行不同的測試操作。通過反電動勢分析檢查永磁轉子的磁場均勻性、檢查感應電機鼠籠轉子條的局部缺陷、繞線轉子的絕緣測試,包括局部放電測量等。安徽發(fā)動機檢測設備