所以滲透率也隨溫度改變而改變。因此,在測定滲透率時,必須將干燥瓶放入恒溫水浴中,溫度控制精度要達到±011℃。在恒溫放置過程中,每隔一定的時間(至少12小時)用精密天平快速稱量滲透管一次(必須在10分鐘內(nèi)稱完),相鄰兩次的重量差就是滲透管在該時間段的滲透量。測出滲透量后,就可用下式求出該滲透管的滲透率。740)">式中:G:滲透率(Lg?min);△G:相鄰兩次稱量的重量差(mg);△S:相鄰兩次稱量的時間間隔(min);實際測定時,記錄一系列稱量和時間數(shù)據(jù),用上式計算滲透率并求其平均值?;蛞苑Q量數(shù)據(jù)為縱坐標,時間為橫坐標,繪制滲透率的特性曲線,所得直線的斜率即為滲透率。(2)滲透管動態(tài)配氣裝置用已知滲透率的滲透管配制標準氣體的裝置如圖6所示。740)">將滲透管放在氣體發(fā)生瓶中,再將氣體發(fā)生瓶放入恒溫水浴中,恒溫水浴的溫度要與測定滲透率時的溫度相同(一般為25±1℃),這樣就可不作溫度校正。稀釋氣(壓縮空氣)經(jīng)**、活性炭和氫氧化鈉凈化器2除去水分和雜質(zhì)后,再經(jīng)流量控制閥和流量計3進入氣體發(fā)生瓶7(即混合器)中,將滲透出來的氣體分子帶出,就得到標準氣體。標準氣體的濃度可由下式求出(在25℃和一個大氣壓下)。740)">式中:z:所配標準氣體的濃度(ppm)。四川甲烷標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。重慶甲烷標準氣體廠家供應(yīng)
通過適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ渲瞥伤铦舛鹊臉藴蕷怏w標準氣體選擇編輯標準氣體主要用于校準氣體分析儀器,評價氣體分析方法以及對未知含量的混合氣體進行標定并賦予量值.為了保證標準氣體在使用過程中盡量減少引人的不確定度,以獲得準確可靠的數(shù)據(jù).作為用戶則應(yīng)當(dāng)樹立標準氣體就是計量器具的觀念,明確選擇標準氣體的原則,以保證測量數(shù)據(jù)的可靠.一般而言,在選擇標準氣體時有以下四點要求:1、編號確認該標準氣體是否具有定級證書和生產(chǎn)許可證,并持有**質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢*總局的統(tǒng)一編號,一級標準氣體為GBW纟XXXXXX,二級標準氣體為GBW(E)XXXXXX,必要時可向**標準物質(zhì)管理**會辦公室查詢。2、組成標準氣體的組成與被測樣品相同或相近,對某些原理的分析方法(有些物質(zhì)不同的分析方法因其分析的機理不同,分析結(jié)果有所差異)組成不同會響應(yīng)值產(chǎn)生差異,但是出于被測對象的紛繁及標準氣體品種所限,有時難于做于完全一致,在這種況下應(yīng)選擇組成盡可能相近的標準氣體,并通過可告方法考核其定量的準確性。3、含量儀器分析一般為相對測量,通常采用標準曲線法進行定量,在確定標準曲線通過原點并成線性以后,也可以用單點校正法定量,但含量**好與被測樣品含量相近。重慶氣體生產(chǎn)重慶便攜式氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
配氣準度要求以配氣允差和分析允差來表征;比較通用的有SE2MI配氣允差標準,但各公司均有企業(yè)標準。組分的**低濃度為10-6級,組分數(shù)可多達20余種。配制方法可采用重量法,然后用色譜分析校核,也可按標準傳遞程序進行傳遞。3、電子氣體(Electronicgases):半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純4_6m+p-_4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路)級、VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。4.外延氣體(Cpita***algases):在仔細選擇的襯底上采用化學(xué)氣相淀積(CVD)的方法生長一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。硅外延氣體有4種,即硅烷、二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。5.蝕刻氣體(Etchinggases):蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉。
動態(tài)配氣技術(shù)就是能連續(xù)不斷的配制和供給一定濃度的標準氣體。用動態(tài)配氣技術(shù)配制標準氣體時,首先需要一個能連續(xù)不斷供給原料氣的氣源,作為這種配氣方法的氣源有鋼瓶標準氣和滲透管等。1.鋼瓶氣動態(tài)配氣法在消防實際工作中,所用標準氣體的濃度有時需要大,有時需要小。鋼瓶標準氣雖有不同濃度的規(guī)格供應(yīng),但購置各種濃度的標準氣體,不僅代價太高,而且不一定能及時辦到。較好的辦法是購置一個濃度較高的標準氣瓶,需要低濃度標準氣體時,用鋼瓶標準氣作原料氣,壓縮空氣(由低壓空氣鋼瓶或空壓機供給)作稀釋氣,將它們按圖4連接,就可從取氣口得到所需濃度的標準氣體。740)">所配制的標準氣體的濃度,可用改變原料氣及稀釋氣的流量比進行調(diào)節(jié),并可按下式計算:740)">式中:z:所配標準氣體的濃度(ppm);L:鋼瓶標準氣的濃度(ppm);Qs:鋼瓶標準氣的流量(L?min);Qa:壓縮空氣的流量(L?min;用此法配氣時,在壓縮空氣的管路中應(yīng)安裝選擇性過濾器(凈化器),以除去空氣中影響配氣純度的雜質(zhì)。此外配氣出口的總流量應(yīng)略大于用氣口的流量,以保證所配氣體的濃度與純度。2.滲透管動態(tài)配氣法(1)滲透管及滲透率的測定滲透管是動態(tài)配氣法中的另一種氣源,其結(jié)構(gòu)見圖5。740)">。重慶一氧化碳標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
在安培瓶1中裝入產(chǎn)生原料氣的液體(如汽油等),用不銹鋼加固環(huán)3將聚四氟乙烯塑料帽2和安培瓶1的頸部緊封牢固,塑料帽的上端是比較薄(壁厚在1毫米以下)的滲透面4。由于原料液體的揮發(fā)性,使安培瓶中有一定蒸氣壓,氣體分子在蒸氣壓力的作用下,通過滲透面向外滲透。單位時間的滲透量叫滲透率。在一定溫度下,滲透率的大小決定于滲透面的厚度和面積的大小等因素。滲透面越大,壁越薄,滲透率就越大。制作滲透管時,就是通過改變滲透面積和厚度的辦法,以獲得不同滲透率的滲透管。任何滲透管在使用前都必須知道其滲透率。滲透率的測定方法是:在一干燥瓶的底部裝入粒狀氫氧化鈉,上面蓋一層尼龍紗網(wǎng),將滲透管放入干燥瓶中的紗網(wǎng)上。加蓋后,滲透出來的氣體(汽油蒸氣)就會被氫氧化鈉吸收。由于液體的蒸氣壓與溫度有關(guān),所以滲透率也隨溫度改變而改變。因此,在測定滲透率時,必須將干燥瓶放入恒溫水浴中,溫度控制精度要達到±011℃。在恒溫放置過程中,每隔一定的時間(至少12小時)用精密天平快速稱量滲透管一次(必須在10分鐘內(nèi)稱完),相鄰兩次的重量差就是滲透管在該時間段的滲透量。測出滲透量后,就可用下式求出該滲透管的滲透率。740)">式中:G:滲透率(Lg?min);△G:相鄰兩次稱量的重量差(mg)。福建便攜式氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。成都丙烷標準氣體廠家現(xiàn)貨
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容器選擇盛裝標準氣體的容器應(yīng)由耐腐蝕、抗壓、吸附少、不生銹、化學(xué)特性穩(wěn)定、機械強度高的材料制成,通常使用的高壓容器是鋁合金瓶,而碳鋼瓶因其內(nèi)壁不光滑、吸附大而被逐步淘汰。預(yù)處理盛裝標準氣體的鋼瓶使用前應(yīng)進行表面清潔、涂漆處理,然后,將鋼瓶加溫至100℃左右,同時抽真空處理約4h。鋼瓶處理完畢后,必須分析其H2O、O2等雜質(zhì)含量,合格后方可使用。氣體要求配制10%的CH4/Ar四瓶,進行為期一年的穩(wěn)定性考察,見表1,實驗結(jié)果表明,由于鋁合金鋼瓶內(nèi)壁比較光滑,因此在盛裝一般長久氣體時性質(zhì)穩(wěn)定,變化不大,鋼瓶不用特殊處理,即可滿足此類標準氣體穩(wěn)定性的要求。在配制COS、H2S、SO2等氣體時,必須對鋼瓶進行KG或CM處理,即為了防止容器內(nèi)壁因吸附或解吸等帶來的影響。先對容器內(nèi)壁進行鏡面研磨,涂上防氧化漆,然后把高濃度氣體充入容器內(nèi)并放置10d左右,從而提高標準氣體的穩(wěn)定性。用未經(jīng)KG或CM處理的鋼瓶配制mg/m3,COS/N2一瓶,實驗結(jié)果見圖1。用經(jīng)KG處理的鋼瓶配制mg/m3COS/N2一瓶,實驗結(jié)果見圖2。以上實驗結(jié)果表明。配制易吸附標準氣體時,鋼瓶必須經(jīng)KG或CM處理,才能保證其穩(wěn)定性可靠,否則,組分氣的含量變化很大,不宜作為標準氣體來使用。重慶甲烷標準氣體廠家供應(yīng)