EVG620光刻機可以免稅嗎

來源: 發(fā)布時間:2024-11-10

EVGroup企業(yè)技術總監(jiān)ThomasGlinsner博士證實:“我們看到支持晶圓級光學器件的設備需求正在急劇增加?!薄癑IN從今年年初開始,我們就向大型WLO制造商交付了多個用于透鏡成型和堆疊以及計量的系統(tǒng),以進行大批量生產。此類訂單進一步鞏固了EVG在該領域市場LINGDAOZHE的地位,同時創(chuàng)造了新興應用程序中有大量新機會。”業(yè)界LINGXIAN的設備制造商ZUI近宣布了擴大其傳感領域業(yè)務目標的計劃,以幫助解決客戶日益激進的上市時間窗口。根據市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的說法,下一代智能手機中正在設計十多種傳感器。其中包括3D感測相機,指紋傳感器,虹膜掃描儀,激光二極管發(fā)射器,激光測距儀和生物傳感器??傮w而言,光纖集線器預計將從2016年的106億美元增長到2021年的180億美元,復合年增長率超過11%*。HERCULES對準精度:上側對準:≤±0.5μm;底側對準:≤±1,0μm;紅外校準:≤±2,0μm/具體取決于基材。EVG620光刻機可以免稅嗎

EVG620光刻機可以免稅嗎,光刻機

IQAligner®NT技術數據:產能:全自動:手次生產量印刷:每小時200片全自動:吞吐量對準:每小時160片晶圓工業(yè)自動化功能:盒式磁帶/SMIF/FOUP/SECS/GEM/薄,彎曲,翹曲,晶圓邊緣處理智能過程控制和數據分析功能(框架SW平臺)用于過程和機器控制的集成分析功能并行任務/排隊任務處理功能設備和過程性能根蹤功能智能處理功能事/故和警報分析/智能維護管理和根蹤晶圓直徑(基板尺寸):高達300毫米對準方式:頂部對準:≤±0,25μm底側對準:≤±0.5μm紅外對準:≤±2,0μm/取決于基材湖北LED光刻機EVG的CoverSpin TM旋轉蓋可降低光刻膠消耗,并提高光刻膠涂層的均勻性。

EVG620光刻機可以免稅嗎,光刻機

IQAligner®NT曝光設定:硬接觸/軟接觸/接近模式/柔性模式楔形補償:全自動軟件控制;非接觸式IQAligner®NT曝光選項:間隔曝光/洪水曝光先進的對準功能:自動對準暗場對準功能/完整的明場掩模移動(FCMM)大間隙對準跳動控制對準IQAligner®NT系統(tǒng)控制:操作系統(tǒng):Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數多語言用戶GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR實時遠程訪問,診斷和故障排除如果您需要確認準確的產品的信息,請聯(lián)系我們。如果需要鍵合機,請看官網信息。

EVG120光刻膠自動處理系統(tǒng):智能過程控制和數據分析功能(框架軟件平臺)用于過程和機器控制的集成分析功能并行任務/排隊任務處理功能設備和過程性能根蹤功能智能處理功能:事/故和警報分析/智能維護管理和根蹤晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米模塊數:工藝模塊:2烘烤/冷卻模塊:ZUI多10個工業(yè)自動化功能:Ergo裝載盒式工作站/SMIF裝載端口/SECS/GEM/FOUP裝載端口分配選項:各種光刻膠分配泵,可覆蓋高達52000cP的粘度液體底漆/預濕/洗盤去除邊緣珠(EBR)/背面沖洗(BSR)恒壓分配系統(tǒng)/注射器分配系統(tǒng)電阻分配泵具有流量監(jiān)控功能可編程分配速率/可編程體積/可編程回吸超音波EVG的掩模對準目標是適用于高達300mm的不同的厚度,尺寸,形狀的晶圓和基片。

EVG620光刻機可以免稅嗎,光刻機

IQAligner®自動化掩模對準系統(tǒng)特色:EVG®IQ定位儀®平臺用于自動非接觸近距離處理而優(yōu)化的用于晶片尺寸高達200毫米。技術數據:IQAligner是具有高度自動化程度的非接觸式接近光刻平臺,可滿足將生產線中的掩模污染降至蕞低并增加掩模壽命和產品良率的需求。除了多種對準功能外,該系統(tǒng)還通過專門配置進行了廣范的安裝和現(xiàn)場驗證,可自動處理和處理翹曲或變薄的晶圓。標準的頂側或底側對準與集成的IR對準功能之間的混合匹配操作進一步拓寬了應用領域,尤其是在與工程或粘合基板對準時。該系統(tǒng)還通過快速響應的溫度控制工具集支持晶片對準跳動控制。EVG已經與研究機構合作超過35年,能深入了解他們的獨特需求。北京LED光刻機

我們可以根據您的需求提供優(yōu)化的多用途系統(tǒng)。EVG620光刻機可以免稅嗎

G®105—晶圓烘烤模塊設計理念:單機EVG®105烘烤模塊是專為軟或后曝光烘烤過程而設計。特點:可以在EVG105烘烤模塊上執(zhí)行軟烘烤,曝光后烘烤和硬烘烤過程。受控的烘烤環(huán)境可確保均勻蒸發(fā)??删幊痰慕咏N可提供對光刻膠硬化過程和溫度曲線的ZUI佳控制。EVG105烘烤模塊可以同時處理300mm的晶圓尺寸或4個100mm的晶圓。特征獨力烘烤模塊晶片尺寸ZUI大為300毫米,或同時ZUI多四個100毫米晶片溫度均勻性≤±1°C@100°C,ZUI高250°C烘烤溫度用于手動和安全地裝載/卸載晶片的裝載銷烘烤定時器基材真空(直接接觸烘烤)N2吹掃和近程烘烤0-1mm距離晶片至加熱板可選不規(guī)則形狀的基材技術數據晶圓直徑(基板尺寸):高達300毫米烤盤:溫度范圍:≤250°C手動將升降桿調整到所需的接近間隙。EVG620光刻機可以免稅嗎