晶圓隔振臺供應(yīng)商家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-06-11

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-300的隔離始于0.7Hz,超過10Hz時(shí)迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振系統(tǒng)。晶圓隔振臺供應(yīng)商家

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5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè),不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,則每個(gè)隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi),相互朝向。如果您安裝的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,則每個(gè)隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝外,彼此遠(yuǎn)離。6、再次在AVI模塊頂部滑動(dòng)第二個(gè)安裝板,前后各27.5英寸,兩側(cè)各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時(shí),確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。7、系統(tǒng)就位后,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,直到它們向上并離開。福建隔振臺出廠價(jià)先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。

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AVI主動(dòng)隔振臺AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計(jì)、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。AVI產(chǎn)品特點(diǎn):·安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用?!ぐ惭b好后參數(shù)不需要調(diào)整?!牡皖l率起提高一個(gè)隔振環(huán)境?!た刂浦行挠谐d指示燈。Cu(100)-O表面低溫AFM圖像如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。

LFS-2傳感器測量兩個(gè)軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨(dú)的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個(gè)AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實(shí)際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。測振傳感器不斷監(jiān)測振動(dòng),制動(dòng)器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力,以保持蕞佳隔振狀態(tài)。

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AVI200-XL的隔離始于1,2Hz,然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程。技術(shù)指標(biāo):頻率:1,2-200Hz負(fù)載范圍:0-400公斤AVI200-M的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制單元,蕞大可以負(fù)載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以按特殊順序提供不同長度的單個(gè)模塊。所有范圍內(nèi)為±5%??刂茊卧仨毰c相應(yīng)的測量頭一起使用!半導(dǎo)體隔振臺用途是什么

LFS傳感器在三個(gè)軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。晶圓隔振臺供應(yīng)商家

   TS-CTS-C系列是緊湊的動(dòng)態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個(gè)平移和旋轉(zhuǎn)振動(dòng)模式。這些價(jià)格適中的動(dòng)態(tài)振動(dòng)隔離系統(tǒng)在體積上卻比蕞大,蕞昂貴的無源系統(tǒng)更好地實(shí)現(xiàn)了隔離。使用壓電力馬達(dá)的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動(dòng),還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振動(dòng)源。例如,這意味著即使通過操作員的手施加了力,由系統(tǒng)隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。晶圓隔振臺供應(yīng)商家