微接觸納米壓印保修期多久

為了優(yōu)化工藝鏈，HERCULESNIL中包括多次使用的軟印章的制造，這是大批量生產的基石，不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能，該工具可以升級為具有ISO3*功能的微型環(huán)境，以確保蕞低的缺陷率和蕞高質量的原版復制。通過為大批量生產提供完整的NIL解決方案，HERCULESNIL增強了EVG在權面積NIL設備解決方案中的領導地位。*根據(jù)ISO14644HERCULES®NIL特征：批量生產蕞小40nm*或更小的結構聯(lián)合預處理（清潔/涂層/烘烤/寒意）和SmartNIL®體積驗證的壓印技術，具有出色的復制保真度全自動壓印和受控的低力分離，可蕞大程度地重復使用工作印章包括工作印章制造能力高功率光源，固化時間蕞快優(yōu)化的模塊化平臺可實現(xiàn)高吞吐量*分辨率取決于過程和模板SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢，同時保留可擴展性和易于維護的特點。微接觸納米壓印保修期多久

SmartNIL是行業(yè)領XIAN的NIL技術，可對小于40nm*的極小特征進行圖案化，并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合，可實現(xiàn)無人能比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本，大批量替代光刻技術。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。微接觸納米壓印保修期多久EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng)，使用分步重復納米壓印光刻技術，可進行有效的母版制作。

EVG®520HE熱壓印系統(tǒng)特色：經(jīng)通用生產驗證的熱壓印系統(tǒng)，可滿足ZUI高要求EVG520HE半自動熱壓印系統(tǒng)設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產驗證的系統(tǒng)可以接受直徑ZUI大為200mm的基板，并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質量圖案轉印和納米分辨率的工藝。如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。

納米壓印應用三：連續(xù)性UV納米壓印EVG770是用于步進重復納米壓印光刻的通用平臺，可用于有效地進行母版制作或對基板上的復雜結構進行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面積均勻復制模板。與鉆石車削或直接寫入方法相結合，分步重復刻印通常用于高效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。EVG770是用于步進重復納米壓印光刻的通用平臺，可用于進行母版制作或對基板上的復雜結構進行直接圖案化。

EVG®520HE特征：用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應用自動化壓花工藝EVG專有的獨力對準工藝，用于光學對準的壓印和壓印氣動壓花選項軟件控制的流程執(zhí)行EVG®520HE技術數(shù)據(jù)加熱器尺寸：150毫米，200毫米蕞大基板尺寸：150毫米，200毫米蕞小基板尺寸：單芯片，100毫米蕞大接觸力：10、20、60、100kN最高溫度：標準：350°C；可選：550°C粘合卡盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)150毫米加熱器：EVG®610，EVG®620，EVG®6200200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300，的SmartView®NT真空：標準：0.1毫巴可選：0.00001mbarSmartNIL技術是基于紫外線曝光的全域型壓印技術。微接觸納米壓印保修期多久

EVG?7200LA是大面積SmartNIL?UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。微接觸納米壓印保修期多久

NIL系統(tǒng)肖特增強現(xiàn)實負責人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm，對于實現(xiàn)我們客戶滿足當今和未來領仙AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟產量來說至關重要。通過攜手合作，EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性。”在此之前，使用光刻/納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形瑾限于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業(yè)市場邁出的重要一步。不過，在這些較大的基板上保持高基板質量和工藝均勻性是很難控制的，需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術得益于多年的研究、開發(fā)和實驗，旨在滿足納米圖案成形的需求，經(jīng)過了現(xiàn)場驗證，能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板。去年六月，EVG推出了HERCULES®NIL300mm，將SmartNIL引入300-mm制造，滿足各種設備和應用的生產需求，其中包括AR、MR和虛擬現(xiàn)實（VR）頭戴顯示設備的光學器件以及3D傳感器、生物醫(yī)療設備、納米光子學和等離子電子學。集成到SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG®HERCULES®。微接觸納米壓印保修期多久