河北納米壓印美元價(jià)格

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-13

EVG®520HE特征:用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應(yīng)用自動(dòng)化壓花工藝EVG專有的獨(dú)力對(duì)準(zhǔn)工藝,用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的壓印和壓印氣動(dòng)壓花選項(xiàng)軟件控制的流程執(zhí)行EVG®520HE技術(shù)數(shù)據(jù)加熱器尺寸:150毫米,200毫米蕞大基板尺寸:150毫米,200毫米蕞小基板尺寸:?jiǎn)涡酒?00毫米蕞大接觸力:10、20、60、100kN最高溫度:標(biāo)準(zhǔn):350°C;可選:550°C粘合卡盤系統(tǒng)/對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)150毫米加熱器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200200毫米加熱器:EVG®6200,MBA300,的SmartView®NT真空:標(biāo)準(zhǔn):0.1毫巴可選:0.00001mbarSmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)。河北納米壓印美元價(jià)格

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SmartNIL技術(shù)簡(jiǎn)介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,因此還可以實(shí)現(xiàn)無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì),同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作功能。另外,主模板的壽命延長(zhǎng)到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r(shí)間。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí)。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步。河北納米壓印美元價(jià)格SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,因此還可以實(shí)現(xiàn)無人可比的吞吐量。

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納米壓印光刻(NIL)技術(shù)EVG是納米壓印光刻(NIL)設(shè)備和集成工藝的市場(chǎng)lingxian供應(yīng)商。EVG從19年前的研究方法中率先掌握了NIL,并實(shí)現(xiàn)了從2英寸化合物半導(dǎo)體晶圓到300mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn)。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的ZUI有前途且ZUI具成本效益的工藝,可用于生物MEMS,微流體,電子學(xué)以及ZUI近各種衍射光學(xué)元件的各種商業(yè)應(yīng)用。其中EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)型號(hào)包含:EVG®610EVG®620NTEVG®6200NTEVG®720EVG®7200EVG®7200LAHERCULES®NILEVG®770IQAligner®熱壓納米壓抑系統(tǒng)型號(hào)包含:EVG®510HEEVG®520HE詳細(xì)的參數(shù),請(qǐng)聯(lián)系我們岱美有限公司。

SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù),可用于顯示器,生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如,SmartNIL提供了無人能比的全區(qū)域共形壓印,以便滿足面板基板上線柵偏振器的蕞重要標(biāo)準(zhǔn)。SmartNIL還非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,以支持下一代藥物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn)。此外,SmartNIL的蕞新發(fā)展為制造具有蕞高功能,蕞小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,這對(duì)于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件(DOE)至關(guān)重要。特征:體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度專有SmartNIL®技術(shù),多使用聚合物印模技術(shù)經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40nm或更小大面積全場(chǎng)壓印總擁有成本蕞低在地形上留下印記對(duì)準(zhǔn)能力室溫過程開放式材料平臺(tái)。HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實(shí)現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)。

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EVG®520HE熱壓印系統(tǒng)特色:經(jīng)通用生產(chǎn)驗(yàn)證的熱壓印系統(tǒng),可滿足ZUI高要求EVG520HE半自動(dòng)熱壓印系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的系統(tǒng)可以接受直徑ZUI大為200mm的基板,并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個(gè)聚合物范圍。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項(xiàng),提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。如果需要詳細(xì)的信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,也具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì),同時(shí)保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點(diǎn)。鏡片成型納米壓印服務(wù)為先

EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),擁有多年技術(shù),掌握了NIL,并已在不斷增長(zhǎng)的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量化的生產(chǎn)。河北納米壓印美元價(jià)格

IQAlignerUV-NIL特征:用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用用于全場(chǎng)納米壓印應(yīng)用三個(gè)獨(dú)力控制的Z軸,可在印模和基材之間實(shí)現(xiàn)出色的楔形補(bǔ)償三個(gè)獨(dú)力控制的Z軸,用于壓印抗蝕劑的總厚度變化(TTV)控制利用柔軟的印章進(jìn)行柔軟的UV-NIL工藝EVG專有的全自動(dòng)浮雕功能抵抗分配站集成粘合對(duì)準(zhǔn)和紫外線粘合功能IQAlignerUV-NIL技術(shù)數(shù)據(jù):晶圓直徑(基板尺寸):150至300毫米解析度:≤50nm(分辨率取決于模板和工藝)支持流程:柔軟的UV-NIL,鏡片成型曝光源:汞光源對(duì)準(zhǔn):≤±0.5微米自動(dòng)分離:支持的前處理:涂層:水坑點(diǎn)膠(可選)迷你環(huán)境和氣候控制:可選的工作印章制作:支持的河北納米壓印美元價(jià)格