輪廓儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

TS-140+40結合了久經(jīng)考驗的技術桌越性與優(yōu)雅且用戶友好的設計TS-140+40的隔離始于0.7Hz，超過10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好，實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克在過去的40年，HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領頭供應商 ，并在此領域積累了豐富的經(jīng)驗。輪廓儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀納米技術(即先進的半導體帶表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產(chǎn)),振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術中，為了獲得可靠的結果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。先進的主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。裝載設備：掃描電子顯微鏡，如AFM3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統(tǒng)，顯微硬度測量儀，醫(yī)療檢測設備等。輪廓儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用該表在支持靈敏實驗（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。

AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單，友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程。技術指標：頻率：1,2-200Hz負載范圍：0-400公斤AVI200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元，蕞大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量，可以輕松承受更高的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用，可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。

TableStable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng)，具有獨力的防振單元和控制器?？赡苡卸喾N變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺，或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。特點：?通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動。?安裝時不需要參數(shù)調整，安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧，因此不需要空氣彈簧。?振動狀態(tài)一目了然。（可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態(tài)。）-加速度信號可以從外部輸出。（通過將BNC連接器連接到示波器，可以看到活動對象正在正常工作。LFS-3可以被復裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。

傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器設置并將電源連接到傳感器后，系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動?，F(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內的振動太嚴重。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。臺階儀隔振臺現(xiàn)場服務

測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。輪廓儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點很重要取向！LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確，請按照下列步驟操作：面向LFS傳感器的藍色LED站立。將弟一個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。輪廓儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用

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