NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。物鏡是輪廓儀蕞和新的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求。自動測量輪廓儀美元價格
NanoX-系列輪廓儀代表性客戶?集成電路相關產業(yè)–集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯半導體,華潤安盛等?MEMS相關產業(yè)–中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等?高效太陽能電池相關產業(yè)–常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等?微電子、FPD、PCB等產業(yè)–三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動聚焦范圍:±0.3mmXY運動速度**快如果有什么問題,請聯(lián)系我們。超納輪廓儀供應商家輪廓儀可用于:微結構均勻性 缺 陷,表面粗糙度。
輪廓儀對精密加工的意義現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人和新器件、航空航天材料、**竣工設備等領域,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用:
比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質,半導體,和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術在成本,復雜度,和測量能力上的不同。由于橢偏儀的光從一個角度入射,所以一定要分析反射光的偏振和強度,使得橢偏儀對超薄和復雜的薄膜堆有較強的測量能力。然而,偏振分析意味著需要昂貴的精密移動光學儀器。光譜反射儀測量的是垂直光,它忽略偏振效應(絕大多數(shù)薄膜都是旋轉對稱)。因為不涉及任何移動設備,光譜反射儀成為簡單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強大透光率分析。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的手選,而橢偏儀側重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間,兩種技術都可用。而且具有快速,簡便,成本低特點的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>。菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲。
輪廓儀產品應用藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)高精密材料表面缺陷超精密表面缺陷分析,核探測Oled特征結構測量,表面粗糙度外延片表面缺陷檢測硅片外延表面缺陷檢測散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)生物、醫(yī)藥新技術,微流控器件微結構均勻性缺陷,表面粗糙度移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā)本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級的測量精度;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內,同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產品面形質量提供了方便。光學系統(tǒng):同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)。日本輪廓儀應用
測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。自動測量輪廓儀美元價格
輪廓儀的和新團隊夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設備唐壽鴻博士,國家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),世界即圖像處理、算法**許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強研發(fā)經驗(BDMedicalInstrument)光學測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術支持,為您排憂解難。自動測量輪廓儀美元價格
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