厚度標準:所有Filmetrics厚度標準都是得到驗證可追溯的NIST標準。S-Custom-NIST:在客戶提供的樣品上定制可追溯的NIST厚度校準。TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si:厚度標準,外加調焦區(qū)和單晶硅基準,厚度大約3100A,4"晶圓。TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si:厚度標準,外加調焦區(qū)和單晶硅基準,厚度大約10000A,4"晶圓。TS-Hardcoat-4μm:丙烯酸塑料硬涂層厚度標準,厚度大約4um,直徑2"。TS-Hardcoat-Trans:背面透明的硬涂層,可用于透射測量。TS-Parylene-4um:丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約4um,直徑2"。TS-Parylene-8um:硅基上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約8um,23mmx23mm。TS-SiO2-4-7200:硅基上的二氧化硅厚度標準,厚度大約7200A,4"晶圓。TS-SiO2-4-7200-NIST:可追溯的NISTSiO2-4-7200厚度標準。TS-SiO2-6-Multi:多厚度硅基上的二氧化硅標準:125埃米,250埃米,500埃米,1000埃米,5000埃米,和10000埃米(+/-10%誤差),6英寸晶圓。TS-SS3-SiO2-8000:專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為8000A?;旧纤泄饣?、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測量。芯片膜厚儀售后服務
電介質成千上萬的電解質薄膜被用于光學,半導體,以及其它數十個行業(yè),而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜。測量范例氮化硅薄膜作為電介質,鈍化層,或掩膜材料被廣泛應用于半導體產業(yè)。這個案例中,我們用F20-UVX成功地測量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,折射率,和消光系數。有趣的事,氮化硅薄膜的光學性質與薄膜的分子當量緊密相關。使用Filmetrics專有的氮化硅擴散模型,F(xiàn)20-UVX可以很容易地測量氮化硅薄膜的厚度和光學性質,不管他們是富硅,貧硅,還是分子當量。福建膜厚儀應用可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。
F30包含的內容:集成光譜儀/光源裝置光斑尺寸10微米的單點測量平臺FILMeasure8反射率測量軟件Si參考材料FILMeasure度力軟件(用于遠程數據分析)額外的好處:每臺系統(tǒng)內建超過130種材料庫,隨著不同應用更超過數百種應用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網)硬件升級計劃型號厚度范圍*波長范圍F3-s980:10μm-1mm960-1000nmF3-s1310:15μm-2mm1280-1340nmF3-s1550:25μm-3mm1520-1580nm*取決于薄膜種類。
F40系列將您的顯微鏡變成薄膜測量工具F40產品系列用于測量小到1微米的光斑。對大多數顯微鏡而言,F(xiàn)40能簡單地固定在c型轉接器上,這樣的轉接器是顯微鏡行業(yè)標準配件。F40配備的集成彩色攝像機,能夠對測量點進行準確監(jiān)控。在1秒鐘之內就能測定厚度和折射率。像我們所有的臺式儀器一樣,F(xiàn)40需要連接到您裝有Windows計算機的USB端口上并在數分鐘內完成設定。F40:20nm-40μm400-850nmF40-EXR:20nm-120μm400-1700nmF40-NIR:40nm-120μm950-1700nmF40-UV:4nm-40μm190-1100nmF40-UVX:4nm-120μm190-1700nm要想成功測量光刻膠要面對一些獨特的挑戰(zhàn), 而 Filmetrics 自動測量系統(tǒng)成功地解決這些問題。
更可加裝至三個探頭,同時測量三個樣品,具紫外線區(qū)或標準波長可供選擇。F40:這型號安裝在任何顯微鏡外,可提供*小5um光點(100倍放大倍數)來測量微小樣品。F50:這型號配備全自動XY工作臺,由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過快速掃瞄功能,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。F70:瑾通過在F20基本平臺上增加鏡頭,使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測量法(CTM),把設備的測量范圍極大的拓展至。F10-RT:在F20實現(xiàn)反射率跟穿透率的同時測量,特殊光源設計特別適用于透明基底樣品的測量。PARTS:在垂直入射光源基礎上增加70o光源,特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測量。**膜厚測量儀系統(tǒng)F20使用F20**分光計系統(tǒng)可以簡便快速的測量厚度和光學參數(n和k)。您可以在幾秒鐘內通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數。任何具備基本電腦技術的人都能在幾分鐘內將整個桌面系統(tǒng)組裝起來。F20包括所有測量需要的部件:分光計、光源、光纖導線、鏡頭集和和Windows下運行的軟件。您需要的只是接上您的電腦。膜層實例幾乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能測。包括:sio2(二氧化硅)sinx(氮化硅)dlc(類金剛石碳)photoresist。紫外光可測試的深度:有秀的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應力。四川膜厚儀推薦型號
適用于所有可讓紅外線通過的材料 硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物等。芯片膜厚儀售后服務
半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產業(yè)是國民經濟的基礎性、戰(zhàn)略性產業(yè),是信息化和工業(yè)化深度融合的源頭,對促進工業(yè)轉型升級、發(fā)展戰(zhàn)略性新興產業(yè)、推動現(xiàn)代**建設、保證和提高大家生活水平具有重要作用。為迎接貿易型百年未有之大變局,行家認為,要重新定義中國在世界經濟版圖中的地位,要順應形勢實現(xiàn)制造升級。以華立集團在境外開發(fā)“中國工業(yè)園”的成功案例來闡述,跨國經營要成為企業(yè)主動的戰(zhàn)略選擇,在不確定性中更好地活下去,以全球化視野看問題,很多困惑在全球化過程中會迎刃而解。隨著中國的不斷進步,世界上只有一個救世主——市場,能救企業(yè)的只有你自己——自強,提高貿易型重點競爭力才是中國制造業(yè)的獨一出路。以顯微科學儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例,以親身的實踐為例,毛磊認為,隨著經濟的不斷發(fā)展,我國的環(huán)境和實力都發(fā)生了巨大變化,有了完全不同的基礎,這為國產科學儀器走向高階水平增強了信心。我國現(xiàn)有其他有限責任公司企業(yè)數千多家,已經形成門類品種比較齊全,具有一定技術基礎和生產規(guī)模的產業(yè)體系。但同時業(yè)內**也指出,雖然我國測試儀器產業(yè)有了一定的發(fā)展,但遠遠不能滿足國民經濟各行各業(yè)日益增長的迫切需求。芯片膜厚儀售后服務
岱美儀器技術服務(上海)有限公司主營品牌有EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,該公司貿易型的公司。公司是一家其他有限責任公司企業(yè),以誠信務實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍,努力為廣大用戶提供***的產品。公司擁有專業(yè)的技術團隊,具有半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等多項業(yè)務。岱美中國以創(chuàng)造***產品及服務的理念,打造高指標的服務,引導行業(yè)的發(fā)展。