聯(lián)電輪廓儀售后服務

輪廓儀的和新團隊夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設備唐壽鴻博士，國家千人****25年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經(jīng)驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān)，世界即圖像處理、算法**許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BDMedicalInstrument）光學測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術支持，為您排憂解難。包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準。聯(lián)電輪廓儀售后服務

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別：關于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。但是，輪廓儀和粗糙度儀關系其實挺密切，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊，這樣既可以測量輪廓尺寸，又可以測量粗糙度，市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。在結構上，輪廓儀基本上都是臺式的，而粗糙度儀以手持式的居多，當然也有臺式的。國產(chǎn)輪廓儀自動化測量輪廓儀廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

輪廓儀的性能測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）樣品臺：150mm/200mm/300mm樣品臺（可選配）XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素：標配：1280×960視場范圍：560×750um（10×物鏡）具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統(tǒng)：同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源：高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦（可選電動聚焦）Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達10mm)縱向分辨率＜0.1nmRMS重復性*0.005nm，1σ臺階測量**準確度≤0.75％；重復性≤0.1%，1σ橫向分辨率≥0.35um（100倍物鏡）檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD

NanoX-80003D輪廓測量主要技術參數(shù)3D測量主要技術指標（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標配/500um選配）10mm精密電機拓展掃描CCD相機：1920x1200高速相機（標配）干涉物鏡：2.5X,5X,10X（標配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥0.35μm（與所配物鏡有關）3D測量主要技術指標（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：0.1nm–10mm表面反射率：>0.5%測量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準確度<1nmRMS重復性<0.01nm(1σ)臺階高重復性：0.15nm(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<0.5nm準確度<1%重復性<0.1%(1σ，10um臺階高)隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機、輪廓儀，隔振臺等設備。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。ADE輪廓儀用途是什么

三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備，它既保障了生產(chǎn)加工的準確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率。聯(lián)電輪廓儀售后服務

輪廓儀產(chǎn)品應用藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）高精密材料表面缺陷超精密表面缺陷分析，核探測Oled特征結構測量，表面粗糙度外延片表面缺陷檢測硅片外延表面缺陷檢測散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）生物、醫(yī)藥新技術，微流控器件微結構均勻性缺陷，表面粗糙度移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā)本作品采用重疊平均移相干涉算法，保證了亞納米量級的測量精度；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng)，使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi)，同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。聯(lián)電輪廓儀售后服務

岱美儀器技術服務（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大，現(xiàn)有一支專業(yè)技術團隊，各種專業(yè)設備齊全。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務，以誠信、敬業(yè)、進取為宗旨，以建EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB產(chǎn)品為目標，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。我公司擁有強大的技術實力，多年來一直專注于磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務信息咨詢服務 的發(fā)展和創(chuàng)新，打造高指標產(chǎn)品和服務。岱美儀器技術服務（上海）有限公司主營業(yè)務涵蓋半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀，堅持“質(zhì)量保證、良好服務、顧客滿意”的質(zhì)量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴。