EVG620NT特征2:自動原點功能,用于對準鍵的精確居中具有實時偏移校正功能的動態(tài)對準功能支持蕞新的UV-LED技術(shù)返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)自動化系統(tǒng)上的手動基板裝載功能可以從半自動版本升級到全自動版本蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)先進的軟件功能以及研發(fā)與權(quán)面生產(chǎn)之間的兼容性便捷處理和轉(zhuǎn)換重組遠程技術(shù)支持和SECS/GEM兼容性EVG620NT附加功能:鍵對準紅外對準納米壓印光刻(NIL)除了光刻機之外,岱美還代理了EVG的鍵合機等設(shè)備。安徽進口光刻機
EVG120光刻膠自動處理系統(tǒng):智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能(框架軟件平臺)用于過程和機器控制的集成分析功能并行任務(wù)/排隊任務(wù)處理功能設(shè)備和過程性能根蹤功能智能處理功能:事/故和警報分析/智能維護管理和根蹤晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米模塊數(shù):工藝模塊:2烘烤/冷卻模塊:*多10個工業(yè)自動化功能:Ergo裝載盒式工作站/SMIF裝載端口/SECS/GEM/FOUP裝載端口分配選項:各種光刻膠分配泵,可覆蓋高達52000cP的粘度液體底漆/預(yù)濕/洗盤去除邊緣珠(EBR)/背面沖洗(BSR)恒壓分配系統(tǒng)/注射器分配系統(tǒng)電阻分配泵具有流量監(jiān)控功能可編程分配速率/可編程體積/可編程回吸超音波化合物半導體光刻機有誰在用EVG同樣為客戶提供量產(chǎn)型掩模對準系統(tǒng)。
EVG®610特征:晶圓/基板尺寸從小到200mm/8''頂側(cè)和底側(cè)對準能力高精度對準臺自動楔形補償序列電動和程序控制的曝光間隙支持蕞新的UV-LED技術(shù)蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求分步流程指導遠程技術(shù)支持多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)便捷處理和轉(zhuǎn)換重組臺式或帶防震花崗巖臺的單機版EVG®610附加功能:鍵對準紅外對準納米壓印光刻(NIL)EVG®610技術(shù)數(shù)據(jù):對準方式上側(cè)對準:≤±0.5μm底面要求:≤±2,0μm紅外校準:≤±2,0μm/具體取決于基板材料鍵對準:≤±2,0μmNIL對準:≤±2,0μm
EVG光刻機簡介:EVG在1985年發(fā)明了世界上弟一個底部對準系統(tǒng),可以在頂部和雙面光刻,對準晶圓鍵合和納米壓印光刻技術(shù)方面開創(chuàng)并建立了行業(yè)標準。EVG通過不斷開發(fā)掩模對準器來為這些領(lǐng)域做出貢獻,以增強蕞重要的光刻技術(shù)。EVG的掩模對準目標是容納高達300mm的不同的尺寸,形狀和厚度的晶圓和基片,同時為高級應(yīng)用提供高科技含量的有效解決方案,并為研發(fā)提供充分的靈活可選性。EVG光刻機的掩模對準器和工藝能力經(jīng)過現(xiàn)場驗證,安裝并完美集成在全球各地的用戶系統(tǒng)中,可在眾多應(yīng)用場景中找到,包括高級封裝,化合物半導體,功率器件,LED,傳感器和MEMS。所有系統(tǒng)均支持原位對準驗證的軟件,可以提高手動操作系統(tǒng)的對準精度和可重復性。
光刻機處理結(jié)果:EVG在光刻技術(shù)方面的合心競爭力在于其掩模對準系統(tǒng)(EVG6xx和IQAligner系列)以及高度集成的涂層平臺(EVG1xx系列)的高吞吐量的接近和接觸曝光能力。EVG的所有光刻設(shè)備平臺均為300mm,可完全集成到HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中,并輔以其用于從上到下側(cè)對準驗證的計量工具。高級封裝:在EVG®IQAligner®上結(jié)合NanoSpray?曝光的涂層TSV底部開口;在EVG的IQAlignerNT®上進行撞擊40μm厚抗蝕劑;負側(cè)壁,帶有金屬兼容的剝離抗蝕劑涂層;金屬墊在結(jié)構(gòu)的中間;用于LIGA結(jié)構(gòu)的高縱橫比結(jié)構(gòu),用EVG®IQAligner®曝光200μm厚的抗蝕劑的結(jié)果;西門子星狀測試圖暴露在EVG®6200NT上,展示了膏分辨率的厚抗蝕劑圖形處理能力;MEMS結(jié)構(gòu)在20μm厚的抗蝕劑圖形化的結(jié)果??梢允褂糜糜趬河」饪痰墓ぞ?,例如紫外光納米壓印光刻,熱壓印或微接觸印刷。奧地利光刻機美元價格
HERCULES 全電動頂部和底部分離場顯微鏡支持實時、大間隙、晶圓平面或紅外對準,在可編程位置自動定位。安徽進口光刻機
儀器儀表行業(yè)本身是一個加入,產(chǎn)出周期較長的行業(yè),所以作為業(yè)內(nèi)廠家,一方面要尋找中、短期市場熱點,另一方面也要在產(chǎn)品、技術(shù)研發(fā)方面有長遠的規(guī)劃;一些中低檔產(chǎn)品已具有規(guī)模優(yōu)勢和國際市場競爭力。中國已成為半導體工藝設(shè)備,半導體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產(chǎn)品的生產(chǎn)和出口大國,其他儀器設(shè)備等產(chǎn)品的出口也開始取得突破。儀器儀表應(yīng)用領(lǐng)域?qū)挿?,覆蓋了磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù) 等各方面,在國民經(jīng)濟建設(shè)各行各業(yè)的運行過程中承擔著把關(guān)者和指導者的任務(wù),儀器儀表制造行業(yè)可以分為通用儀表儀器制造、**儀器儀表制造、鐘表與計時儀器制造、光學儀器制造和衡器制造。貿(mào)易專業(yè)化發(fā)展是中國儀器儀表產(chǎn)業(yè)的又一發(fā)展趨勢,隨著科技水平的提高,儀器儀表產(chǎn)品不僅用在日常的測量、調(diào)節(jié)、測溫、顯示等設(shè)備中,而且開始運用在不同的領(lǐng)域之中。安徽進口光刻機
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家貿(mào)易型類企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。公司是一家其他有限責任公司企業(yè),以誠信務(wù)實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍,努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團隊,具有半導體工藝設(shè)備,半導體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等多項業(yè)務(wù)。岱美中國自成立以來,一直堅持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。