泰州重型工業(yè)烤箱維保 歡迎來電 昆山臺上品工業(yè)自動化供應(yīng)

二、性能指標(biāo)注解：周圍溫度為+5~+35℃時，在無試驗負(fù)荷情況下穩(wěn)定1小時后測定的性能。另外，關(guān)于溫度上升及下降時間是指電源電壓正常，周圍溫度+25±5℃時的性能。1，泰州重型工業(yè)烤箱維保.溫度性能指標(biāo)試驗?zāi)康摹跗焚|(zhì)檢驗□產(chǎn)品開發(fā)□生產(chǎn)應(yīng)用□可靠性試驗（保存，泰州重型工業(yè)烤箱維保，泰州重型工業(yè)烤箱維保、老化）□其它：本試驗箱技術(shù)指標(biāo)溫度范圍RT~+250℃溫度波動度：≤0.5℃單點控制(PT100型傳感器，一個，測量位置為內(nèi)膽外壁，通過內(nèi)部PID參數(shù)調(diào)整，使內(nèi)部溫度和實測溫度一致)溫度上升時間RT~200℃60分鐘以內(nèi)(空載時)主要參數(shù)：內(nèi)部尺寸：W450*D450*H450（4寸可放置8個，6寸可放置4個）4寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供實際使用晶圓框架盒）尺寸：132*127*108mm6寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供實際使用晶圓框架盒）尺寸：143*179*171mm高溫中溫低溫箱式氣氛爐。泰州重型工業(yè)烤箱維保

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成*條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷�，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。鎮(zhèn)江半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維修熱處理高溫?zé)犸L(fēng)循環(huán)烤箱。

一、設(shè)備名稱：86寸老化烤箱二、設(shè)備型號：TSP202012ZA006-2三、設(shè)備用途：電子元件，電子玻璃等老化測試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，比較大溫度60度。六、設(shè)備能力:溫度到計時，時間到報警。七、七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設(shè)備組成：TSP202012ZA00686寸老化爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料九、設(shè)備參數(shù)9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）

首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮氣的過程，到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。精密熱風(fēng)千級烤箱SMO-3。

安裝和培訓(xùn)：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設(shè)備電箱）。u需方安裝現(xiàn)場提供與該設(shè)備匹配的電接口，便于安裝調(diào)試。u供方在需方現(xiàn)場安裝調(diào)試設(shè)備并交付使用。13-2.培訓(xùn)u安裝期間，供方在安裝現(xiàn)場為需方操作者提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設(shè)備出廠經(jīng)需方預(yù)驗收合格。十四、設(shè)備驗收：14-1.預(yù)驗收u預(yù)驗收在供方進(jìn)行。u一般檢查：看設(shè)備的實物布局是否合理，外觀質(zhì)量與基本功能是否符合技術(shù)要求，設(shè)備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機(jī)械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護(hù)功能的檢查。u設(shè)備空運轉(zhuǎn)檢查：空運轉(zhuǎn)6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內(nèi)進(jìn)行。設(shè)備到達(dá)需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現(xiàn)場進(jìn)行調(diào)試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內(nèi)容,設(shè)備運轉(zhuǎn)時間延長至三個工作日推板式氣氛燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。常州無塵工業(yè)烤箱維保

升降式垂直熱風(fēng)循環(huán)隧道爐。泰州重型工業(yè)烤箱維保

耗能：1.燃燒機(jī)用燃?xì)獗容^大24立方每小時，保溫燃?xì)庠?0~50%。約7.2立方到12立方每小時。2.設(shè)備電力功耗：比較大15KW/H.3.壓縮空氣消耗量：0.1立方米/H一、設(shè)備詳細(xì)需求：1.產(chǎn)品尺寸：比較高480mm2.控制功能：按原有控制實現(xiàn)功能二、尺寸：內(nèi)部尺寸W1200*L14500*H500mm外部尺寸W2000*L18000*H2017mm（約）二.溫度范圍:1.最高溫度：250℃2.使用溫度：200℃三．機(jī)器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.（溫度分布均勻度:250℃±10℃.(空爐測量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))四.機(jī)械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS4301.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體烤漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時將爐內(nèi)廢氣排出爐外，可調(diào)節(jié)大小。5.定制耐熱氣動元器件。泰州重型工業(yè)烤箱維保

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