真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子槍加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。真空鍍膜設(shè)備怎么維修。湖北蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜內(nèi)白霧】: 白霧形成在膜內(nèi),無法用擦拭方法去除。 可能成因: 1. 基片臟 2. 鏡片表面腐蝕污染 3. 膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配 4. 氧化物充氧不夠 5. 第yi層氧化鋯膜料,可能對某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象 6. 基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染 7. 洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡,擦拭痕跡 8. 真空室臟、水汽過重 9. 環(huán)境濕度大 改善對策:基片本身的問題可能時主要的鍍膜室盡量彌補,鍍膜本身Zui大的可能室膜料匹配問題。 1. 改進膜系,第yi層不用氧化鋯 2. 盡量減少真空室開門時間 3. 真空室在更換護板、清潔后,Zui好能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈 4. 改善環(huán)境 5. 妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染 6. 改善洗凈、擦拭效果 7. 改善膜匹配(考慮第yi層用Al2O3) 8. 改善膜充氧和蒸發(fā)速率(降低) 9. 加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。 10. 拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。陜西派瑞林真空鍍膜設(shè)備質(zhì)量推薦真空鍍膜設(shè)備是什么?
在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。真空鍍膜機對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。
【光譜分光不良的補救(補色)之機器故障和人為中斷】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之機器故障和人為中斷: 模擬:根據(jù)已經(jīng)實鍍的鏡片(測試比較片)實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設(shè)計程序的優(yōu)化目標值,再根據(jù)已經(jīng)掌握的膜系信息輸入,采用倒推法逐層優(yōu)化,模擬出實際鍍制的膜系數(shù)據(jù)。 *測試比較片是指隨鏡片一起鍍制(在傘片上、與鏡片同折射率),用于測試鍍后分光曲線的平片。 優(yōu)化:再鎖定通過模擬得到的膜系數(shù)據(jù),通過后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實現(xiàn)目標的Zui佳方案。 試鍍:根據(jù)新優(yōu)化的后續(xù)膜層數(shù)據(jù),試鍍?nèi)舾社R片或測試片,確認補色膜系的可行性。 補色鍍:對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前,確認基片是否潔凈,防止產(chǎn)生其他不良。真空鍍膜設(shè)備故障解決方法?
【離子鍍膜法之直流二極型(DCIP)】: 直流二極型(DCIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;被鍍基體作為陰極,利用高電壓直流輝光放電將充入的氣體氬(Ar)(也可充少量反應(yīng)氣體)離化。這種方法的特點是:基板溫升大、繞射性好、附著性好,膜結(jié)構(gòu)及形貌差,若用電子束加熱必須用差壓板;可用于鍍耐腐蝕潤滑機械制品。 【離子鍍膜法之多陰極型】: 多陰極型:利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠熱電子、陰極發(fā)射的電子及輝光放電使充入的真空惰性氣體或反應(yīng)氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,有時需要對基板加熱;可用于鍍精密機械制品、電子器件裝飾品。真空鍍膜機參數(shù)怎么調(diào)?河北真空鍍膜設(shè)備制造商
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真空鍍膜機按鍍膜方式主要可分為:蒸發(fā)式鍍膜,磁控濺射鍍膜和離子鍍。蒸發(fā)鍍膜工作原理是將膜材置于真空鍍膜室內(nèi),通過蒸發(fā)源加熱使其蒸發(fā),當蒸發(fā)分子的平均自由程大于真空鍍膜室的線性尺寸,蒸汽的原子和分子從蒸發(fā)源表面逸出后,很少受到其他分子或原子的沖擊與阻礙,可直接到達被鍍的基片表面,由于基片溫度較低,便凝結(jié)其上而成膜。濺射鍍膜的形成是利用真空輝光放電,加速正離子使其轟擊靶材表面引起的濺射現(xiàn)象,使靶材表面放出的粒子沉積到基片上而形成薄膜。湖北蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備