【真空鍍膜技術(shù)專(zhuān)業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuum coating：在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法。 基片substrate：膜層承受體。 試驗(yàn)基片testing substrate：在鍍膜開(kāi)始、鍍膜過(guò)程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和（或）試驗(yàn)的基片。 鍍膜材料coating material：用來(lái)制取膜層的原材料。 蒸發(fā)材料evaporation material：在真空蒸發(fā)中用來(lái)蒸發(fā)的鍍膜材料。 濺射材料sputtering material：有真空濺射中用來(lái)濺射的鍍膜材料。 膜層材料(膜層材質(zhì))film material：組成膜層的材料。 蒸發(fā)速率evaporation rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔 濺射速率sputtering rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔。 沉積速率deposition rate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。 鍍膜角度coating angle：入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線(xiàn)之間的夾角。 國(guó)產(chǎn)真空鍍膜機(jī)哪家好？云南熱蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)
【真空鍍膜機(jī)之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。江蘇立式真空鍍膜機(jī)離子真空鍍膜機(jī)是什么？
【真空鍍膜機(jī)之真空電鍍】真空電鍍是一種物理沉積現(xiàn)象。即在真空狀態(tài)下注入氬氣，氬氣撞擊靶材，靶材分離成分子被導(dǎo)電的貨品吸附形成一層均勻光滑的仿金屬表面層。 適用材料： 1、很多材料可以進(jìn)行真空電鍍，包括金屬，軟硬塑料，復(fù)合材料，陶瓷和玻璃。其中*常見(jiàn)用于電鍍表面處理的是鋁材，其次是銀和銅。 2、自然材料不適合進(jìn)行真空電鍍處理，因?yàn)樽匀徊牧媳旧淼乃謺?huì)影響真空環(huán)境。 工藝成本：真空電鍍過(guò)程中，工件需要噴涂，裝載，卸載和再?lài)娡?，所以人力成本相?dāng)高，但是也取決于工件的復(fù)雜度和數(shù)量。 環(huán)境影響：真空電鍍對(duì)環(huán)境污染很小，類(lèi)似于噴涂對(duì)環(huán)境的影響。
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場(chǎng)，在此區(qū)電子密度高，進(jìn)而提高離子密度，使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級(jí))，濺射速度可達(dá)0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳，是目前*實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù) 濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室，排氣系統(tǒng)，濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang（sputter gun）。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30- 40%，圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為：直流（DC）、射頻（RF）、脈沖（pulse）， 直流：800-1000V（Max）導(dǎo)體用，須可災(zāi)弧。 射頻：13.56MHZ，非導(dǎo)體用。 脈沖：泛用，*新發(fā)展出 電子束蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)是什么？
【真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障】: 一、 當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈） 2. 坩堝被打穿（更換坩堝） 3. 高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈） 4. 工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈） 5. 預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 6. 高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 7. 機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(kāi)（檢查繼電器是否工作正常） 8. 烘烤引入線(xiàn)電極密封處被擊穿（更換膠圈） 9. 擋板動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈） 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃） 二、長(zhǎng)期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長(zhǎng)且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空： 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清洗） 2. 擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清洗換油） 3. 前級(jí)泵反壓強(qiáng)da太機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清洗換油） 4. 各動(dòng)密封膠圈損壞（更換膠圈） 5. 由于蒸發(fā)室長(zhǎng)期溫度過(guò)高使其各密封膠圈老化（更換膠圈） 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈） 7. 各引入座螺釘、螺母有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象（重新壓緊） 8. 高低預(yù)閥是否密封可靠（注油） 真空鍍膜機(jī)的主要用途？江蘇手機(jī)真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)的主要應(yīng)用。云南熱蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)
【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法普及之熒光檢漏法】 熒光檢漏法首先需要將熒光材料溶于如丙tong等一些浸潤(rùn)性能好、易于揮發(fā)的有機(jī)溶劑中，使之成為飽和溶液；然后將被檢的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面，這一過(guò)程中，為了提升效果、縮短浸泡時(shí)間，可以在抽真空或者加壓條件下對(duì)其進(jìn)行浸泡。如果存在漏孔，熒光劑溶液會(huì)因毛細(xì)作用滲入到其中；qing除表面多余的溶液，待有機(jī)溶劑揮發(fā)后，熒光材料便會(huì)在漏孔中殘留下來(lái)；此時(shí)再用紫外線(xiàn)燈光照射，漏孔位置就會(huì)觀察到明顯的熒光點(diǎn)。 在進(jìn)行紫外光源照射時(shí)，對(duì)于一些存在盲孔、表面不平的器件，可能也會(huì)存在殘留熒光材料，因此玻璃真空器件*好在背面進(jìn)行照射觀察；為了提高對(duì)比度也可以采用濾光放da鏡，過(guò)濾掉紫外線(xiàn)以外的其他光線(xiàn)，來(lái)獲得更佳的觀察效果；而在熒光材料的選擇時(shí)要注意其發(fā)光顏色和被檢真空部件的顏色要有明顯的反差。 熒光檢漏法不僅用于真空系統(tǒng)檢漏中，而且也被用于鑄件、模壓金屬件以及焊接件的裂紋檢查等。 云南熱蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)
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