氮化鋁粉末純度高,粒徑小,活性大,是制造高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷基片的主要原料。用氮化鋁陶瓷做成的基片,其熱導(dǎo)率高,膨脹系數(shù)低,強(qiáng)度高,耐高溫,耐化學(xué)腐蝕,電阻率高,介電損耗小,是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料。
氮化鋁硬度高,超過傳統(tǒng)氧化鋁,是新型的耐磨陶瓷材料,但由于造價(jià)高,只能用于磨損嚴(yán)重的部位.利用AIN陶瓷耐熱耐熔體侵蝕和熱震性,可制作GaAs晶體坩堝、Al蒸發(fā)皿、磁流體發(fā)電裝置及高溫透平機(jī)耐蝕部件,利用其光學(xué)性能可作紅外線窗口。氮化鋁薄膜可制成高頻壓電元件、超大規(guī)模集成電路基片等。
氮化鋁耐熱、耐熔融金屬的侵蝕,對酸穩(wěn)定,但在堿性溶液中易被侵蝕。AIN新生表面暴露在濕空氣中會反應(yīng)生成極薄的氧化膜。利用此特性,可用作鋁、銅、銀、鉛等金屬熔煉的坩堝和燒鑄模具材料。AIN陶瓷的金屬化性能較好,可替代有毒性的氧化鈹瓷在電子工業(yè)中廣泛應(yīng)用。折疊編 精加工定制各種氮化鋁陶瓷零件。常州硬度高隔熱氮化鋁陶瓷板
隨著大功率和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,集成電路和基片間的散熱性也越來越重要,因此,基片必須要具有高的導(dǎo)熱率和電阻率。氮化鋁aln是al和n穩(wěn)定的化合物,是iii-v族中能隙值比較大的半導(dǎo)體。氮化鋁陶瓷具有高的熱導(dǎo)率、相對較低的介電常數(shù)和介電損耗、與硅和砷化鎵等芯片材料相匹配的熱膨脹系數(shù)、界面相容性好、無毒、絕緣等一系列優(yōu)異性能,成為電子封裝散熱材料和組裝大型集成電路所必需的高性能陶瓷基片材料。目前,制備aln陶瓷基片的主要方法是流延成型,且大多數(shù)為有機(jī)溶劑流延成型。有機(jī)溶劑流延成型采用的是具有一定毒性的有機(jī)溶劑(苯、甲苯、二甲苯、等),易燃且對環(huán)境的污染較為嚴(yán)重,危害身體健康。成型后坯體中存有大量的有機(jī)物,后期的排膠過程容易引起坯體開裂及變形;干燥過程中,陶瓷粉體發(fā)生沉降,坯體上下表面形成密度梯度,且上表面易產(chǎn)生裂紋,光澤度差。從操作成本及可持續(xù)發(fā)展角度看,水基流延體系更勝一籌,但氮化鋁粉末的易水解性嚴(yán)重阻礙了氮化鋁陶瓷水基流延成型工藝的發(fā)展。常州硬度高隔熱氮化鋁陶瓷板氮化鋁陶瓷結(jié)構(gòu)件定制加工找鑫鼎陶瓷。
散熱基板及電子器件封裝散熱基板及電子器件封裝是氮化鋁陶瓷的主要應(yīng)用。氮化鋁陶瓷具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性能,熱脹系數(shù)接近硅,機(jī)械強(qiáng)度高,化學(xué)穩(wěn)定性好而且環(huán)保無毒,被認(rèn)為是新一代散熱基板和電子器件封裝的理想材料,非常適合于混合功率開關(guān)的封裝以及微波真空管封裝殼體材料,同時也是大規(guī)模集成電路基片的理想材料。
結(jié)構(gòu)陶瓷晶圓加工用靜電吸盤就是常見的結(jié)構(gòu)陶瓷應(yīng)用。氮化鋁結(jié)構(gòu)陶瓷的機(jī)械性能好,硬度高,韌性好于Al2O3陶瓷,并且耐高溫耐腐蝕。利用AIN陶瓷耐熱耐侵蝕性,可用于制作坩堝、Al蒸發(fā)皿、半導(dǎo)體靜電卡盤等高溫耐蝕部件。
反應(yīng)燒結(jié)也是氮化鋁陶瓷制備的工藝之一。
反應(yīng)燒結(jié)一般是通過坯體與氣相在燒結(jié)溫度下的化學(xué)反應(yīng),使得坯體質(zhì)量增加,孔隙減少。一般反應(yīng)燒結(jié)過程中制備的陶瓷收縮率較小,或者保持原形。反應(yīng)了燒結(jié)氮化鋁陶瓷是利用鋁粉在氮?dú)庵械牡磻?yīng)形成氮化鋁粉末并在高溫下燒結(jié)在一起。反應(yīng)燒結(jié)氮化鋁陶瓷的反應(yīng)過程實(shí)質(zhì)上就是鋁粉直接氮化法制備氮化鋁粉,此反應(yīng)為放熱反應(yīng)并且非常劇烈。由于鋁在下已熔化,會影響反應(yīng)的進(jìn)行,所以一般反應(yīng)燒結(jié)原料為氮化鋁和鋁的混合粉末。 來圖加工定制氮化鋁板。
氮化鋁陶瓷可做高溫絕緣材料,其性能指標(biāo)的優(yōu)劣主要取決于合成方式與純度,材料內(nèi)未被氮化的游離硅,在制備中帶入的堿金屬、堿土金屬、鐵、鈦、鎳等雜志,均可惡化氮化鋁陶瓷的電性能。
氮化鋁陶瓷具有較高的機(jī)械強(qiáng)度,一般熱壓制品的抗折強(qiáng)度500~700MPa ,高的可達(dá)1000~1200MPa;反應(yīng)燒結(jié)后的抗折強(qiáng)度200MPa ,高的可300~400MPa。雖然反應(yīng)燒結(jié)制品的室溫強(qiáng)度不高, 但在1200~1350℃的高溫下 ,其強(qiáng)度仍不下降。氮化鋁的高溫蠕變小,例如,反應(yīng)燒結(jié)的氮化硅在1200℃時荷重為24MPa,1000h后其形變?yōu)?.5 % 可供打樣氮化鋁陶瓷部件加工廠--鑫鼎精密陶瓷。常州硬度高隔熱氮化鋁陶瓷板
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在氮化鋁陶瓷中的應(yīng)用,氮化鋁為六方纖鋅礦結(jié)構(gòu),具有良好的抗熱震性、絕緣體、熱膨脹系數(shù)低和力學(xué)性能,理論熱導(dǎo)率達(dá)320W·m-1·K-1,即使在特殊氣氛中也有優(yōu)異的耐高溫性能,是理想的大規(guī)模集成電路基板和封裝材料。
氮化鋁陶瓷有以下出色的導(dǎo)熱性能:(1)熱導(dǎo)率高,滿足器件散熱需求;(2)耐熱性好,滿足功率器件高溫(大于200°C)應(yīng)用需求;(3)熱膨脹系數(shù)匹配,與芯片材料熱膨脹系數(shù)匹配,降低封裝熱應(yīng)力;(4)介電常數(shù)小,高頻特性好,降低器件信號傳輸時間,提高信號傳輸速率;(5)機(jī)械強(qiáng)度高,滿足器件封裝與應(yīng)用過程中力學(xué)性能要求;(6)耐腐蝕性好,能夠耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、沸水、有機(jī)溶液等侵蝕;(7)結(jié)構(gòu)致密,滿足電子器件氣密封裝需求。
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