下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計(jì)。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1.后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時風(fēng)機(jī)開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的。試驗(yàn)箱的功能具體介紹。重慶高低溫快速試驗(yàn)箱
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運(yùn)動器材、汽車零配件、電機(jī)、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等用途。作為隧道爐的質(zhì)量供應(yīng)商原產(chǎn)廠家,小編下面就為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品材質(zhì)的構(gòu)成。1.外箱構(gòu)成。外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼2.系統(tǒng)裝置保護(hù)裝置定時報(bào)警斷電裝置、超溫?cái)嚯?、漏電保護(hù)斷路器、電機(jī)過載保護(hù)。四川小型試驗(yàn)箱試驗(yàn)箱的功能具體介紹!
本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術(shù)指標(biāo)。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;5.控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級;9.抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘歡迎致電合肥真萍科技咨詢試驗(yàn)箱相關(guān)知識。
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運(yùn)動器材、汽車零配件、電機(jī)、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等用途。下面為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品特性。1.采用智能型溫度控制模塊,PID自動演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能精確控制溫度之精細(xì)度;2.分段控制(當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達(dá)到省電效果);3.內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好);4.整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動、自動門開關(guān)均采用智能控制,有效防止失誤動作;5.當(dāng)實(shí)際檢測溫度超過超溫保護(hù)溫控器設(shè)定值時,自動切斷加熱電源,起到雙重保護(hù)功能。上海哪家試驗(yàn)箱廠家值得信賴?江蘇做試驗(yàn)箱
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真萍科技作為冷熱沖擊試驗(yàn)箱設(shè)備制造廠商,在冷熱沖擊試驗(yàn)箱設(shè)備制造領(lǐng)域的專業(yè)性是不用多說的。下面讓真萍科技從溫度方面,帶您了解冷熱沖擊試驗(yàn)箱。一、溫度均勻度舊標(biāo)準(zhǔn)稱均勻度,新標(biāo)準(zhǔn)稱梯度。溫度穩(wěn)定后,在任意時間間隔內(nèi),工作空間內(nèi)任意兩點(diǎn)的溫度平均值之差的較大值。這個指標(biāo)比下面的溫度偏差指標(biāo)更可以考核產(chǎn)品的**技術(shù),因此好多公司的樣本及方案刻意隱藏此項(xiàng)。一般標(biāo)準(zhǔn)要求指標(biāo)為≤2℃。二、溫度偏差溫度穩(wěn)定后,在任意時間間隔內(nèi),工作空間中心溫度的平均值和工作空間內(nèi)其它點(diǎn)的溫度平均值之差。雖然新舊標(biāo)準(zhǔn)對此指標(biāo)的定義和稱呼相同,但檢測已有所改變,新標(biāo)準(zhǔn)更實(shí)際,更苛刻一點(diǎn),但考核時間短點(diǎn)。一般標(biāo)準(zhǔn)要求指標(biāo)為±2℃,純高溫試驗(yàn)箱200℃以上可按實(shí)際使用溫度攝氏度(℃)±2%要求。重慶高低溫快速試驗(yàn)箱