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    所述蝸桿與斜齒輪相互嚙合，所述蝸桿的底端轉(zhuǎn)動連接有安裝板，所述安裝板遠(yuǎn)離立柱一側(cè)的側(cè)壁上安裝有橫板，所述橫板遠(yuǎn)離安裝板一端的底壁上安裝有固定夾板，所述橫板的頂壁上安裝有第二電機，所述第二電機的驅(qū)動端安裝有第1轉(zhuǎn)盤，所述第1轉(zhuǎn)盤遠(yuǎn)離第二電機一側(cè)的側(cè)壁上安裝有轉(zhuǎn)軸，所述第1轉(zhuǎn)盤的外側(cè)設(shè)有三角形傳動件，所述轉(zhuǎn)軸與三角形傳動件的頂端轉(zhuǎn)動連接，所述三角形傳動件的底端貫穿橫板的頂壁并延伸至的橫板的下側(cè)，所述三角形傳動件的外側(cè)對稱設(shè)有兩個第二轉(zhuǎn)盤，兩個所述第二轉(zhuǎn)盤靠近三角形傳動件一側(cè)的側(cè)壁上同樣安裝有轉(zhuǎn)軸，兩個所述轉(zhuǎn)軸分別轉(zhuǎn)動在三角形傳動件的底端，兩個所述第二轉(zhuǎn)盤遠(yuǎn)離三角形傳動件一側(cè)的側(cè)壁上均安裝有轉(zhuǎn)桿，兩所述轉(zhuǎn)桿的側(cè)壁上均套設(shè)有螺紋套管，兩個所述螺紋套管的頂壁上均安裝有固定板，兩個所述固定板的頂端均安裝在橫板的底壁上，所述橫板的底壁上對稱安裝有兩個滑槽板，所述橫板的下側(cè)設(shè)有移動夾板，所述移動夾板的頂端安裝有滑桿，且滑桿的兩端分別與兩個滑槽板滑動連接，所述移動夾板的側(cè)壁上對稱貫穿開設(shè)有兩個螺紋孔，兩個所述轉(zhuǎn)桿分別與兩個螺紋孔相互嚙合。地，所述安裝板的頂壁上開設(shè)有轉(zhuǎn)槽，所述轉(zhuǎn)槽內(nèi)設(shè)有限位板。雨花臺區(qū)多功能氣動懸臂吊推薦廠家！錫山區(qū)粉塵氣動懸臂吊哪家有

    所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉(zhuǎn)進行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述散熱器具有通孔，該通孔設(shè)置在所述第1面與所述第2面之間且供所述軸穿過，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此，能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置在靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞，因此，能夠抑制磁傳感器的溫度上升。另外，壁部在電路基板側(cè)具有端部，帽能夠安裝于該端部。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M入壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)，因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)還具備多個肋。宜興室內(nèi)深加工氣動懸臂吊推薦廠家浦口區(qū)象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家！

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)。

    所述壁部與散熱器形成為一體。由此，在壁部與散熱器之間不存在接合的邊界，因此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強度。另外，壁部的材料與散熱器相同，例如是金屬。若壁部的材料為金屬，則在壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間能夠屏蔽磁場。作為理想的技術(shù)方案，所述散熱器具有設(shè)于所述第1面的凹部，所述壁部能嵌入所述凹部。由此，能夠分開制造散熱器和壁部。作為理想的技術(shù)方案，還具備設(shè)于所述壁部的內(nèi)周面的磁屏蔽層。由此，即使壁部由樹脂制成，在壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間也能夠屏蔽磁場。再一技術(shù)方案的電動驅(qū)動裝置具備：電動馬達(dá)，其包含軸、與所述軸連動的馬達(dá)轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達(dá)定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個系統(tǒng)且用3相交流電對所述定子芯進行勵磁的多個線圈組、以及在內(nèi)側(cè)收納所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子、所述馬達(dá)定子和所述多個線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對所述電動馬達(dá)進行驅(qū)動控制而設(shè)置的。包含設(shè)于所述軸的靠負(fù)載相反側(cè)的端部的磁體、位于所述軸的負(fù)載相反側(cè)且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板、覆蓋所述電路基板的蓋體、以及與所述電路基板相連接的連接器；第1線圈布線。浦口區(qū)室內(nèi)深加工氣動懸臂吊推薦廠家！

    助力機械手主機a）可實現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作。b）空載、滿載及處理不同工件時，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動狀態(tài)，便于精確定位。c）全程平衡、運動順滑等特點，使得操作者可以很便捷地實現(xiàn)工件的搬運、定位、裝配等操作。d）剛性手臂可使機械手帶工件越過障礙；水平臂可滿足物料在相關(guān)場所進行橫向放入、橫向取出等動作要求。e）系統(tǒng)可始終保持機械手頭部的水平，發(fā)揮高作業(yè)性。f）關(guān)節(jié)剎車裝置，具有多個回轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，以實現(xiàn)廣域范圍內(nèi)的物料取置；配備有剎車裝置，操作者可在操作過程中隨時中斷機械手的運動。助力機械手氣動夾具主機控制與夾具（機械手）集成為一體，方便操作者雙手控制工件。主機操作按鈕都集成于夾具控制面板上，控制部分及指示燈、指示器等按人體工學(xué)原理布置，便于操作及緊急情況的處理。助力機械手執(zhí)行執(zhí)行部分是機械手上承擔(dān)抓（或吸）取物件的機構(gòu)，由手指、傳力（或增力）機構(gòu)和動力裝置等組成。手指是手部中直接承擔(dān)抓（或吸）取物件的元件。1、手指的抓取機能助力機械手的手指的抓取機能是由被抓取物件和手指決定的。被抓取物件的大小、形狀、重量、材質(zhì)和受外力的約束程度及運動。棲霞區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊推薦廠家！賈汪區(qū)粉塵氣動懸臂吊生產(chǎn)廠家

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    從而使助力裝置能夠適應(yīng)不同高度的艙壁助力扶手。開關(guān)結(jié)構(gòu)203設(shè)置在外調(diào)節(jié)桿202靠近開口端的相對的兩個側(cè)壁上。圖7和圖8分別示出了根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的開關(guān)機構(gòu)鎖定狀態(tài)和未鎖定狀態(tài)的剖視圖。結(jié)合圖7和圖8，開關(guān)結(jié)構(gòu)203對稱設(shè)置在外調(diào)節(jié)桿202上下兩個側(cè)壁上，因此以下只以上側(cè)的開關(guān)結(jié)構(gòu)203為例說明該結(jié)構(gòu)的具體組成。開關(guān)結(jié)構(gòu)203包括殼體2031、鎖定銷2032、凸輪手柄2033和彈性件2034。殼體2031包括主體2031a和蓋板2031b。主體2031a與外調(diào)節(jié)桿202一體成型，從外調(diào)節(jié)桿202側(cè)壁向遠(yuǎn)處延伸形成立方體凸臺。蓋板2031b為平板，通過螺釘固定設(shè)置在主體2031a頂部。主體2031a與蓋板2031b中心均設(shè)有通孔，但主體2031a中的通孔尺寸較大。鎖定銷2032為圓柱形銷子類結(jié)構(gòu)，包括兩部分，分別為直徑較小的安裝端2032a和直徑較大的插銷端2032b。其中插銷端2032b位于主體2031a的通孔中，并可在其中上下移動。而安裝端2032a從插銷端2032b頂部向上延伸穿過蓋板2031b的通孔。凸輪手柄2033為一個板件，其在圖7中右端的厚度較大，使得凸輪手柄2033形成一個左端為薄板，右端為塊體的結(jié)構(gòu)。并且凸輪手柄2033左端薄板遠(yuǎn)離塊體的一端寬度較大，便于航天員轉(zhuǎn)動凸輪手柄2033。錫山區(qū)粉塵氣動懸臂吊哪家有

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