在圖1至圖3中包括有：1——機械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動槽12——豎板固定座2——中間活動板3——前端活動架4——水平導軌副41——水平導軌42——水平滑塊5——豎向導軌副51——豎向導軌52——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動架驅動塊72——活動架驅動軸73——軸承8——機械手驅動電機9——驅動軸撥動塊。具體實施方式下面結合具體的實施方式來對本實用新型進行說明。如圖1至圖3所示，一種新式真空搬運式機械手，包括有機械手安裝架1，機械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11，固定安裝豎板11的下端側裝設有豎板固定座12，豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進一步的，固定安裝豎板11的前端側可相對活動地裝設有分別呈豎向布置的中間活動板2、前端活動架3，前端活動架3位于中間活動板2的前端側，中間活動板2與固定安裝豎板11之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副4，前端活動架3與中間活動板2之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副5，前端活動架3的下端部裝設有吸盤安裝架61，吸盤安裝架61裝設有真空吸盤62。更進一步的，固定安裝豎板11的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽111，前端活動架3螺裝有活動架驅動塊71。江寧區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！長寧區(qū)象鼻子真空搬運機原理
本發(fā)明涉及搬運系統以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統具備：第1區(qū)段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內頂棚軌道。賈汪區(qū)工業(yè)真空搬運機原理浦口區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！
高架搬運車50能夠從第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12針對交接端口130進行物品2的交接，并且，也能夠從第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對交接端口130進行物品2的交接。其結果是，第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運車50能夠以不進入第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12的方式通過交接端口130在與第1、第二起重機40a、40b之間進行物品2的交接。第1起重機40a在第1保管區(qū)域sa1搬運物品2。第二起重機40b在第二保管區(qū)域sa2搬運物品2。圖4是表示第1、第二起重機40a、40b的一個例子的圖。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b使用懸掛式起重機。由于第1、第二起重機40a、40b是懸掛式起重機，因此無需在與第1、第二起重機40a、40b對應的地上側(地板面?zhèn)?設置軌道，從而能夠以低成本設置起重機用的軌道。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b分別具備第1、第二行駛部41a、41b、第1、第二桅桿42a、42b、以及第1、第二移送部44a、44b。第1、第二移送部44a、44b分別具備第1、第二升降臺43a、43b、第1、第二升降驅動部45a、45b。第1行駛部41a具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著第1區(qū)段內頂棚軌道11行駛。
其具備沿著第二區(qū)段內頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構，上述行駛部沿著第1區(qū)段內頂棚軌道、第二區(qū)段內頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據本發(fā)明所涉及的搬運系統以及搬運方法，通過第1、第二起重機進行區(qū)段內的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數量，通過高架搬運車進行區(qū)段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應地另外設置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設所需要的成本。另外。高淳區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！
并不限定于第1、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp，也可以具備一處或者三處以上。另外，在制造工廠等中配置用于暫時保管物品2的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2。第1保管區(qū)域sa1與第1處理裝置tl1對應設置，第1保管區(qū)域sa1配置于兩列第1處理裝置tl1之間。第二保管區(qū)域sa2與第二處理裝置tl2對應設置，第二保管區(qū)域sa2配置于兩列第二處理裝置tl2之間。在各列第1、第二處理裝置tl1、tl2中，裝載端口lp配置于與各個第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2對置的一側。如圖1所示，搬運系統100具備：頂棚軌道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重機40a、40b以及高架搬運車50。頂棚軌道10具有第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16。第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16是將第1區(qū)段內頂棚軌道11與第二區(qū)段內頂棚軌道12連結的區(qū)段間頂棚軌道。第1區(qū)段內頂棚軌道11從第1處理裝置tl1的裝載端口lp的正上方錯開配置，并且沿著裝載端口lp設置。第二區(qū)段內頂棚軌道12從第二處理裝置tl2的裝載端口lp的正上方錯開配置。浦口區(qū)室內深加工真空搬運機推薦廠家！江蘇常見真空搬運機哪里可以買到
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施邁茨推出了適用于各行業(yè)人工搬運任務的搬運技術。該方案由真空搬運設備（如Jumbo真空管吊具或VacuMaster真空起重機）和配套的軌道系統構成。真空搬運設備選購指導：真空搬運設備的功能和選購真空搬運設備可為客戶打造符合人體工程學的工作環(huán)境。該類設備可有效避免由于抬起和移動重負荷工件而引發(fā)的健康問題。施邁茨推出的真空搬運設備配備有的鋁合金軌道系統。軌道系統的適配性較好，與真空搬運設備搭配使用可令工作效率得到提升，其設計同樣符合人體工程學原理。施邁茨的真空搬運設備分為Jumbo真空管吊具和VacuMaster真空起重機兩大系列。我們的真空搬運設備符合CE認證以及歐盟所有現行的法律標準。我們的設備全部帶有CE標簽，運輸前均經過單獨測試，并且交付時隨附合格聲明、操作及維護說明書。真空搬運設備實例迄今為止，施邁茨真空搬運系統已廣泛應用在多種行業(yè)領域中，為物料運輸效率提供有效保障。多年的行業(yè)經驗讓我們可以與客戶始終保持緊密合作，我們了解客戶的工作流程，并且有能力生產出符合嚴格標準的產品。在保證材料和雇員安全的同時，真空搬運設備可以更快速、更穩(wěn)定地搬運負載。此外，施邁茨還可根據客戶的要求提供整套工作區(qū)方案。長寧區(qū)象鼻子真空搬運機原理