本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工制造領(lǐng)域，尤其涉及晶圓減薄機(jī)吸附裝置，具體為一種用于減薄機(jī)的真空吸盤(pán)。背景技術(shù)：晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。在硅晶圓正面制作完集成電路后，為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝，需要采用減薄機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行背面減薄。一方面，晶圓減薄機(jī)在磨削過(guò)程中，需要將所磨削晶圓置于真空吸盤(pán)之上吸附進(jìn)行磨削過(guò)程，對(duì)于所涉及的真空吸盤(pán)要求能夠有效的吸附晶圓，并且能夠保證吸盤(pán)主體的平整度，以及真空的均勻度，使得減薄機(jī)砂輪在磨削時(shí)吸附晶圓不發(fā)生位移，且吸盤(pán)在真空形成的負(fù)壓之下要能防止產(chǎn)生過(guò)大的形變；另一方面，由于加工制造成本相對(duì)較高，所以又要保證減薄機(jī)所用真空吸盤(pán)能夠利于更換多次磨削修整后的多孔陶瓷板，且所用底座能夠配合多個(gè)尺寸類型的真空吸盤(pán)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：有鑒于此，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N安裝方便，能夠保證減薄過(guò)程中吸盤(pán)主體的平整度和真空的均勻度，還能更換多孔陶瓷適于不同尺寸的吸盤(pán)配合于同一底座的用于減薄機(jī)的真空吸盤(pán)。為達(dá)到上述目的。浦口區(qū)常見(jiàn)真空吸盤(pán)推薦廠家！武進(jìn)區(qū)糖袋真空吸盤(pán)品牌
使吸盤(pán)底座可承受重量大的待加工工件。密封件可在支撐凸塊形成的輪廓槽中構(gòu)成任意形狀的閉環(huán)輪廓，且閉環(huán)輪廓的高度大于支撐凸塊的高度，當(dāng)待加工工件放置在閉環(huán)輪廓上面時(shí)，待加工工件與閉環(huán)輪廓和吸盤(pán)底座構(gòu)成密閉的腔體，開(kāi)啟抽氣裝置，會(huì)使腔體中的空氣通過(guò)通氣槽流入到吸盤(pán)底座的空腔中，再經(jīng)過(guò)空腔通過(guò)第1出氣口排到外界，使腔體成為真空腔體，利用氣壓原理將待加工工件固定在夾具上。吸盤(pán)底座上表面的中心處設(shè)有排料通口，吸盤(pán)底座側(cè)面設(shè)有出料口，排料通口的面積大于通氣槽的面積，可將加工時(shí)產(chǎn)生的廢屑由排料通口清理到吸盤(pán)底座空腔中，再由出料口排出，當(dāng)排料通孔處在密閉的腔體中時(shí)，還可與通氣槽起到相同的作用。本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述吸盤(pán)底座上表面設(shè)有關(guān)于吸盤(pán)底座中心線對(duì)稱分布的輔助凸塊，輔助凸塊的橫截面積大于支撐凸塊的橫截面積，輔助凸塊和支撐凸塊高度相等，所述輔助凸塊上設(shè)有與空腔相通的輔助槽。通過(guò)上述技術(shù)方案，輔助凸塊與支撐凸塊高度相同，但輔助凸塊的橫截面積比支撐凸塊大，且輔助凸塊上設(shè)有與空腔相通的輔助槽，當(dāng)輔助凸塊處在密封件構(gòu)成的閉環(huán)輪廓中時(shí)，輔助槽會(huì)與通氣槽起到相同的作用，且不容易堵塞。徐匯區(qū)象鼻子真空吸盤(pán)原理江寧區(qū)多功能真空吸盤(pán)推薦廠家！
工作原理：1、真空吸盤(pán)通過(guò)接管與真空設(shè)備接通，與待提升物接觸，起動(dòng)真空設(shè)備抽吸，使吸盤(pán)內(nèi)產(chǎn)生負(fù)氣壓，從而將待提升物吸牢，即可開(kāi)始搬送待提升物。2、當(dāng)待提升物搬送到目的地時(shí)，平穩(wěn)地充氣進(jìn)真空吸盤(pán)內(nèi)，使真空吸盤(pán)內(nèi)由負(fù)氣壓變成零氣壓或稍為正的氣壓，真空吸盤(pán)就脫離待提升物，從而完成了提升搬送重物的任務(wù)。擴(kuò)展資料：真空吸盤(pán)使用特點(diǎn)一、易損耗。一般用橡膠制造，直接接觸物體，磨損嚴(yán)重，所以損耗很快，是氣動(dòng)易損件。二、易使用。不管被吸物體是什么材料做的，只要能密封，不漏氣，均能使用。電磁吸盤(pán)就不行，只能用在鋼材上，其他材料的板材或者物體是不能吸的。三、無(wú)污染。真空吸盤(pán)特別環(huán)保，不會(huì)污染環(huán)境，沒(méi)有光、熱，電磁等產(chǎn)生。四、不傷工件。真空吸盤(pán)由于是橡膠材料所造，吸取或者放下工件不會(huì)對(duì)工件造成任何損傷。而掛鉤式吊具和鋼纜式吊具就不行。在一些行業(yè)，對(duì)工件表面的要求特別嚴(yán)格，只能用真空吸盤(pán)。
本實(shí)用新型涉及數(shù)控加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，它涉及一種除塵型cnc真空吸盤(pán)。背景技術(shù)：現(xiàn)在使用的cnc數(shù)控加工中心真空吸盤(pán)夾具主要用于零件毛坯為鋁板、銅板、塑料板等材料的高效率加工，真空吸盤(pán)夾具主要用于易變形零件，可以保證零件平行度平面度等形位公差，相對(duì)傳統(tǒng)加工方法，真空吸盤(pán)具有裝夾拆卸方便、生產(chǎn)效率高的特點(diǎn)?，F(xiàn)有授權(quán)公告號(hào)為cnu的中國(guó)提供了一種cnc數(shù)控加工中心真空吸盤(pán)夾具，其包括吸盤(pán)、固定螺栓、密封橡膠條、支撐突起處、氣管連接頭、真空泵開(kāi)關(guān)、真空表、氣孔、氣道、放置槽、氣管、三通管；吸盤(pán)內(nèi)設(shè)置有支撐突起處，吸盤(pán)內(nèi)設(shè)置有支撐突起，支撐突起處的中間位置開(kāi)設(shè)有氣孔，支撐突起處的四周外側(cè)設(shè)置有放置槽，放置槽內(nèi)設(shè)置有密封橡膠條，通過(guò)密封橡膠條嵌入放置槽內(nèi)，可以隨意調(diào)整吸附尺寸，對(duì)真空吸盤(pán)上的工件進(jìn)行牢固吸固。但是，在對(duì)真空吸盤(pán)上工件進(jìn)行加工時(shí)容易產(chǎn)生較多廢屑，廢屑進(jìn)入工件周圍的放置槽內(nèi)容易造成放置槽堵塞，當(dāng)操作人員需要調(diào)整吸附尺寸時(shí)，為保證密封橡膠條的密封性需要對(duì)放置槽內(nèi)的廢屑進(jìn)行頻繁清洗，需要耗費(fèi)大量的時(shí)間，降低了生產(chǎn)效率，因此有待改善。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足。溧水區(qū)包裝袋真空吸盤(pán)推薦廠家！
具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖，通過(guò)實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。參照附圖1-6，一種平面磨床通用真空吸盤(pán)，包含真空閥芯1、吸盤(pán)主體5、調(diào)整頂絲6和彈簧7，所述真空閥芯1的上半部為圓錐形，真空閥芯1的下半部為圓柱形；所述吸盤(pán)主體5由面板13、底板16和側(cè)板18構(gòu)成，中間形成真空室4，吸盤(pán)主體5上設(shè)有與真空室4連通的真空接頭9和多個(gè)貫通于面板13和底板16的通孔；吸盤(pán)主體5的每個(gè)通孔內(nèi)均設(shè)有一個(gè)真空閥芯1，真空閥芯1的上半部位于面板13的通孔內(nèi)，真空閥芯1的下半部通過(guò)調(diào)整頂絲6和彈簧7活動(dòng)連接在底板16的通孔內(nèi)，所述調(diào)整頂絲6螺紋連接在底板16上，彈簧7設(shè)置在真空閥芯1和調(diào)整頂絲6之間。在本實(shí)施例中，參照附圖4、5，真空閥芯1，其上部為非標(biāo)準(zhǔn)的圓錐面，頂針10采用15°圓錐角的圓錐面，以提高真空閥芯1的靈敏度參照附圖6，吸盤(pán)主體5為長(zhǎng)方體，是整個(gè)吸盤(pán)的支撐結(jié)構(gòu)，包括面板13、底板16和側(cè)板18，中間形成真空室4；試樣密封2安裝在面板13的環(huán)形凹槽二15內(nèi)，用于密封試樣8與面板13上表面之間的間隙。參照附圖3所示，真空閥芯1、試樣密封2、閥芯密封3等呈矩形陣列分布在吸盤(pán)主體5內(nèi)，也可以呈圓形陣列分布。參照附圖1，真空閥芯1安裝在吸盤(pán)主體5的圓形通孔14內(nèi)。高淳區(qū)糖袋真空吸盤(pán)推薦廠家！高淳區(qū)工業(yè)真空吸盤(pán)哪家便宜
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所述支撐柱另一端固定連接有第1彈簧柱，且支撐柱通過(guò)第1彈簧柱與吸盤(pán)腔外壁兩側(cè)相連，所述外殼內(nèi)側(cè)下方通過(guò)第二彈簧柱與吸盤(pán)腔外壁下方相連，所述吸盤(pán)腔內(nèi)壁兩側(cè)開(kāi)設(shè)有卡口，所述卡口之間可拆卸連接有過(guò)濾裝置，所述過(guò)濾裝置包括環(huán)形架、第1支撐架和第二支撐架，所述第1支撐架和第二支撐架均位于環(huán)形架內(nèi)側(cè)，且第1支撐架和第二支撐架交錯(cuò)分布，所述第1支撐架和第二支撐架之間固定連接有過(guò)濾網(wǎng)，所述第1支撐架和第二支撐架的交接處內(nèi)腔均設(shè)置有中心定位塊，所述第1支撐架內(nèi)腔兩側(cè)均設(shè)置有卡桿，且卡桿位于中心定位塊兩側(cè)，所述卡桿另一端均貫穿第1支撐架并延伸至第1支撐架外部?jī)蓚?cè)，所述第1支撐架內(nèi)腔底端開(kāi)設(shè)有滑軌，所述滑軌內(nèi)部滑動(dòng)連接有滑動(dòng)座，且滑動(dòng)座上端與卡桿底壁固定連接，所述卡桿一端通過(guò)復(fù)位彈簧與中心定位塊相連，所述卡桿上方固定連接有移動(dòng)塊，且移動(dòng)塊另一端貫穿第1支撐架并延伸至第1支撐架外部上方。的，所述第1支撐架與第二支撐架內(nèi)部結(jié)構(gòu)相同。的，所述環(huán)形架外壁四周開(kāi)設(shè)有與卡桿相適配的開(kāi)口。的，所述吸盤(pán)腔頂端固定連接有連接接頭，且連接接頭貫穿外殼并延伸至外殼外部上方。的，所述吸盤(pán)腔外壁底端固定連接有密封圈。。武進(jìn)區(qū)糖袋真空吸盤(pán)品牌
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