雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,只次于干泵,所以很多外國公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò),不斷擴大在我國的市場份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產(chǎn)品,所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要改進設(shè)計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。上海化工真空泵
水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵開始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到普遍的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。上?;ふ婵毡谜婵毡玫膫鲃臃绞?,真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。
真空泵達到一定臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會引起真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵,便可起到承上啟下的作用,流量連續(xù),而且各泵皆可工作在較好的狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍,是適合的,故又稱羅茨增壓泵,由于其壓縮比不高,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進入較高的真空度時,由于主泵的排氣流量明顯減少,此時只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性,在實際運用中這是經(jīng)常采用的方法,這樣可減少機組的能耗。
歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。當真空泵中的葉輪順時針方向旋轉(zhuǎn)時,由于離心力的作用,形成了一個決定于泵腔形狀的封閉圓環(huán)。
如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器,起到一個過濾的作用。我們在使用真空干燥箱的同時, 也一定要加強對于真空泵的維護,及時給真空泵換油,延長它的使用壽命。干式真空泵目前在國內(nèi)仍處于起步階段,國產(chǎn)替代進口將會成為日后的趨勢。干式真空泵對于制程的良率會產(chǎn)生較大的效果。干泵替代現(xiàn)有的水泵、油泵也是一個趨勢。1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。水環(huán)真空泵泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面,無須對泵內(nèi)進行潤滑,而且磨損很小。上海化工真空泵
真空泵普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。上?;ふ婵毡?/p>
臥式往復真空泵一般為有油式,立式多為無油式。羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。上海化工真空泵
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