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探針臺(tái)工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線(xiàn)滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過(guò)多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,從直線(xiàn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶(hù)一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件,多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試。北京射頻探針臺(tái)報(bào)價(jià)
手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤(pán),開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到一些問(wèn)題,下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。北京射頻探針臺(tái)報(bào)價(jià)近年來(lái),半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭(zhēng)之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點(diǎn)。
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過(guò)檢測(cè),探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。
探針臺(tái)如何工作:探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤(pán),壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi),然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中。
錸鎢探針的針尖尖部經(jīng)過(guò)特殊工藝加工而成,針錐精度高,具有厲害度和彈性模量,產(chǎn)品更耐磨、更耐腐蝕,表面光滑無(wú)傷,光潔度可達(dá)到Ra0.25以下,幾乎為鏡面。錸鎢探針有不同的針尖類(lèi)型,即不同的尖部形狀,例如,針尖帶平臺(tái),針尖完全尖以及針尖為圓??;探針直徑為0.05-1.2mm,長(zhǎng)度為15-300mm,尖部為0.08-100μm。錸鎢探針主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、LCD等行業(yè),應(yīng)用于探針卡、探針臺(tái)、芯片測(cè)試、晶圓測(cè)試和LED芯片測(cè)試等領(lǐng)域。上海勤確科技有限公司。上海勤確科技有限公司您的滿(mǎn)意就是對(duì)我們的支持。北京射頻探針臺(tái)報(bào)價(jià)
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晶圓探針臺(tái)還可以在晶圓劃片線(xiàn)上執(zhí)行任何測(cè)試電路。一些公司從這些劃線(xiàn)測(cè)試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當(dāng)特定芯片的所有測(cè)試圖案都通過(guò)時(shí),它的位置會(huì)被記住,以便以后在IC封裝過(guò)程中使用。有時(shí),芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)(即閃存IC);如果它沒(méi)有通過(guò)某些測(cè)試模式,則可以使用這些備用資源。如果故障管芯的冗余是不可能的,則管芯被認(rèn)為有故障并被丟棄。未通過(guò)電路通常在芯片中間用一個(gè)小墨水點(diǎn)標(biāo)記,或者通過(guò)/未通過(guò)信息存儲(chǔ)在一個(gè)名為wafermap的文件中。該地圖通過(guò)使用bins對(duì)通過(guò)和未通過(guò)的die進(jìn)行分類(lèi)。然后將bin定義為好或壞的裸片。北京射頻探針臺(tái)報(bào)價(jià)