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Nanoscribe稱(chēng),QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),目前該技術(shù)正在申請(qǐng)專(zhuān)利。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型。該系統(tǒng)配備三個(gè)用于實(shí)時(shí)過(guò)程控制的攝像頭和一個(gè)樹(shù)脂分配器。為了簡(jiǎn)化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,物鏡和樣品夾持器識(shí)別會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。多層衍射光學(xué)元件(diffractiveopticalelement,DOE)可以通過(guò)在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來(lái)完成,從而減少多層微制造所需的打印時(shí)間。Nanoscribe表示,折射微光學(xué)也受益于2GL工藝的加工能力,可制作單個(gè)光學(xué)元件、填充因子高達(dá)100%的陣列,以及可以在直接和無(wú)掩模工藝中實(shí)現(xiàn)各種形狀,如球面和非球面透鏡。 Nanoscribe的雙光子微納3D打印設(shè)備具有極大設(shè)計(jì)自由度的特點(diǎn)。湖南進(jìn)口Nanoscribe微納加工系統(tǒng)
光學(xué)元件如何對(duì)準(zhǔn)并打印到光子芯片上?打印對(duì)象的 3D 對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是基于具有高分辨率 3D 拓?fù)淅L制的共聚焦單元。 為了精確對(duì)準(zhǔn)光子芯片上的光學(xué)元件,智能軟件算法會(huì)自動(dòng)識(shí)別預(yù)定義的標(biāo)記和拓?fù)涮卣?,以確定芯片上波導(dǎo)的確切位置和方向。 然后將虛擬坐標(biāo)系設(shè)置到波導(dǎo)的出口,使其光軸和方向完美對(duì)準(zhǔn)。 根據(jù)該坐標(biāo)系打印的光學(xué)元件可確保好的光學(xué)質(zhì)量并比較大限度地減少耦合損耗。 該項(xiàng)技術(shù)可以利用自由空間微光耦合 (FSMOC) 實(shí)現(xiàn)高效的光耦合 。 詳情咨詢(xún)納糯三維科技(上海)有限公司2GLNanoscribe激光直寫(xiě)增材制造技術(shù)具有高的堅(jiān)固性,穩(wěn)定性,耐用性。
基于雙光子聚合(2PP)原理的雙光子灰度光刻(2GL®)是Nanoscribe技術(shù),具備體素動(dòng)態(tài)控制能力。在掃描激光焦點(diǎn)橫跨掃描平面時(shí),調(diào)制曝光劑量會(huì)改變光敏樹(shù)脂內(nèi)的體素大小,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)聚合體素尺寸的精細(xì)可控變化。這是激光功率調(diào)制和高速振鏡掃描與精確的橫向載物臺(tái)運(yùn)動(dòng)同步的結(jié)果。為此,將灰度圖像轉(zhuǎn)換為曝光級(jí)別的空間變化,從而在一個(gè)平面上打印不同的體素高度。 2GL有什么優(yōu)勢(shì)? 雙光子灰度光刻 技術(shù)(2GL®)使用激光束調(diào)制和高速振鏡的高頻同步進(jìn)行單體素調(diào)節(jié),從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)質(zhì)量表面結(jié)構(gòu)。通過(guò)高精度定位單元和自校準(zhǔn)程序,可在拼接相鄰打印區(qū)域時(shí)以出色準(zhǔn)確性進(jìn)行打印,以制造大型結(jié)構(gòu)。2GL動(dòng)態(tài)調(diào)整打印場(chǎng)邊界處的激光劑量,以補(bǔ)償光敏聚合物的化學(xué)誘導(dǎo)收縮和定位缺陷。通過(guò)這種功能組合,可以在幾平方厘米的區(qū)域內(nèi)打印出真正的無(wú)縫結(jié)構(gòu),消除所有拼接痕跡。
Nanoscribe首屆線上用戶(hù)大會(huì)于九月順利召開(kāi),在微流控研究中,通常在針對(duì)微流控器件和芯片的快速成型制作中會(huì)結(jié)合不同制造方法。亞琛工業(yè)大學(xué)(RWTHUniversityofAachen)和不來(lái)梅大學(xué)(UniversityofBremen)的研究小組提出將三維結(jié)構(gòu)的芯片結(jié)構(gòu)打印到預(yù)制微納通道中。生命科學(xué)研究的驅(qū)動(dòng)力是三維打印模擬人類(lèi)細(xì)胞形狀和大小的支架,以推動(dòng)細(xì)胞培養(yǎng)和組織工程學(xué)。丹麥技術(shù)大學(xué)(DTU)和德國(guó)于利希研究中心的研究團(tuán)隊(duì)展示了他們的成就,并強(qiáng)調(diào)了光刻膠如IP-L780和Nanoscribe新型柔性打印材料IP-PDMS的重要性。在微納光學(xué)和光子學(xué)研究中,布魯塞爾自由大學(xué)的研究人員提出了用于光纖到光纖和光纖到芯片連接的錐形光纖和低損耗波導(dǎo)等解決方案
微納光學(xué)器件制造,咨詢(xún)納糯三維科技(上海)有限公司。
Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)Quantum X ,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻無(wú)掩模光刻系統(tǒng)Quantum X,適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件。 Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻無(wú)掩模光刻系統(tǒng)Quantum X,適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件。 利用Nanoscribe的雙光子聚合微納3D打印技術(shù),斯圖加特大學(xué)和阿德萊德大學(xué)的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學(xué)研究中心的科學(xué)家們新研發(fā)的微型內(nèi)窺鏡。將12050微米直徑的微光學(xué)器件直接打印在光纖上,構(gòu)建了一款功能齊全的超薄像差校正光學(xué)相干斷層掃描探頭 多組柱狀體3D復(fù)雜微結(jié)構(gòu)支架是用Nanoscribe自行研發(fā)的IP-Dip光刻膠進(jìn)行3D打印。浙江雙光子聚合Nanoscribe微光學(xué)
Nanoscribe的Photonic Professional系列打印系統(tǒng)制作的微流控元件可以完全嵌入進(jìn)預(yù)制的二維微流道系統(tǒng)。湖南進(jìn)口Nanoscribe微納加工系統(tǒng)
全新的NanoscribeQuantumX系統(tǒng)適用于工業(yè)生產(chǎn)中所需手板和模具的定制化精細(xì)加工。該無(wú)掩模光刻系統(tǒng)顛覆了自由形狀的微透鏡、微透鏡陣列和多級(jí)衍射光學(xué)元件的傳統(tǒng)制作工藝。全球頭一個(gè)雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)將具有出色性能的灰度光刻與Nanoscribe精確靈動(dòng)的雙光子聚合技術(shù)結(jié)合起來(lái)。QuantumX提供了完全的設(shè)計(jì)自由度、高速的打印效率、以及增材制造復(fù)雜結(jié)構(gòu)超光滑表面所需的高精度??焖?、準(zhǔn)確的增材制造工藝極大地縮短了設(shè)計(jì)迭代周期,實(shí)現(xiàn)了低成本的微納加工。憑借著獨(dú)有的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)Nanoscribe新發(fā)布的QuantumX在2019慕尼黑光博會(huì)展(LASERWorldofPhotonics2019)榮獲創(chuàng)新獎(jiǎng)。
湖南進(jìn)口Nanoscribe微納加工系統(tǒng)