德國(guó)高分辨率Nanoscribe無掩膜光刻

光子集成電路 (Photonic Integrated Circuit，PIC) 與電子集成電路類似，但不同的是電子集成電路集成的是晶體管、電容器、電阻器等電子器件，而光子集成電路集成的是各種不同的光學(xué)器件或光電器件，比如激光器、電光調(diào)制器、光電探測(cè)器、光衰減器、光復(fù)用/解復(fù)用器以及光放大器等。集成光子學(xué)可較廣地應(yīng)用于各種領(lǐng)域，例如數(shù)據(jù)通訊，激光雷達(dá)系統(tǒng)的自動(dòng)駕駛技術(shù)和YL領(lǐng)域中的移動(dòng)感應(yīng)設(shè)備等。而光子集成電路這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，尤其是微型光子組件應(yīng)用，可以很大程度縮小復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的尺寸并降低成本。光子集成電路的關(guān)鍵技術(shù)還在于連接接口，例如光纖到芯片的連接，可以有效提高集成度和功能性。

Nanoscribe公司的3D微納加工技術(shù)推動(dòng)著光子電路的研究和創(chuàng)新。德國(guó)高分辨率Nanoscribe無掩膜光刻

德國(guó)公司Nanoscribe是高精度增材制造技術(shù)的帶領(lǐng)開發(fā)商，也是 BICO集團(tuán)（前身為Cellin）的一部分，推出了一款新型高精度3D 打印機(jī)，用于制造微納米級(jí)的精細(xì)結(jié)構(gòu)。據(jù)該公司稱，新的Quantum X 形狀加入了該公司屢獲殊榮的Quantum X產(chǎn)品線，其晶圓處理能力使“3D 微型零件的批量處理和小批量生產(chǎn)變得容易”。它有望顯著提高生命科學(xué)、材料工程、微流體、微光學(xué)、微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 應(yīng)用的精度、輸出和可用性?；陔p光子聚合(2PP)，一種提供比較高精度和完整設(shè)計(jì)自由度的增材制造方法和Nanoscribe專有的雙光子灰度光刻(2GL)技術(shù)，Nanoscribe認(rèn)為直接激光寫入系統(tǒng)是微加工的比較好選擇幾乎任何2.5D或3D形狀的結(jié)構(gòu)，在面積達(dá)25cm2的區(qū)域上都具有亞微米級(jí)精度。Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼首席安全官(CSO)MichaelThiel表示，該公司正在通過其新機(jī)器為科學(xué)和工業(yè)用途的晶圓級(jí)高精度微制造設(shè)定新標(biāo)準(zhǔn)?！半m然QuantumX已經(jīng)通過雙光子灰度光刻技術(shù)推動(dòng)了平面微光學(xué)器件的超快速制造，但我們希望QuantumX形狀能夠使基于雙光子聚合的高精度3D打印成為非常出色的高效可靠工具用于研究實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)中的快速原型制作和批量生產(chǎn)。”

湖南進(jìn)口Nanoscribe中國(guó)分公司納糯三維科技（上海）有限公司作為德國(guó)Nanoscribe在中國(guó)的獨(dú)有的子公司加強(qiáng)了在中國(guó)的銷售活動(dòng)。

Nanoscribe雙光子灰度光刻（2GL®）是一種用于生成2.5D拓?fù)涞男滦驮霾闹圃旒夹g(shù)。通過這種技術(shù)，在掃描一層的情況下，可以打印離散和準(zhǔn)確的步驟以及基本連續(xù)的拓?fù)?，從而縮短了打印時(shí)間。2GL是無掩膜灰度光刻技術(shù)家族的新成員，其使用功率調(diào)節(jié)激光來塑造微納米結(jié)構(gòu)功能器件的高度輪廓。雙光子灰度光刻（2GL®）是一項(xiàng)突破性的創(chuàng)新技術(shù)，將灰度光刻的優(yōu)勢(shì)與雙光子聚合（2PP）的精度和靈活性相結(jié)合。光學(xué)元件如何對(duì)準(zhǔn)并打印到光子芯片上？打印對(duì)象的 3D 對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是基于具有高分辨率 3D 拓?fù)淅L制的共聚焦單元。 為了精確對(duì)準(zhǔn)光子芯片上的光學(xué)元件，智能軟件算法會(huì)自動(dòng)識(shí)別預(yù)定義的標(biāo)記和拓?fù)涮卣?，以確定芯片上波導(dǎo)的確切位置和方向。 然后將虛擬坐標(biāo)系設(shè)置到波導(dǎo)的出口，使其光軸和方向完美對(duì)準(zhǔn)。 根據(jù)該坐標(biāo)系打印的光學(xué)元件可確保比較好的光學(xué)質(zhì)量并比較大限度地減少耦合損耗。 該項(xiàng)技術(shù)可以利用自由空間微光耦合 (FSMOC) 實(shí)現(xiàn)高效的光耦合。

   對(duì)于光纖上打印的SERS探針，研究人員必須克服幾個(gè)制造上的挑戰(zhàn)。首先，他們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)定制的光纖支架，可以在光纖的切面上打印。然后，打印的物體必須與光纖的重要部分部分完全對(duì)齊，以激發(fā)制造的拉曼熱點(diǎn)。剩下的一個(gè)挑戰(zhàn)，特別是對(duì)于像單體陣列這樣的絲狀結(jié)構(gòu)，是對(duì)可能傾斜的基材表面的補(bǔ)償。光纖傾斜的基材表面導(dǎo)致SERS活性微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)量很低。為了推動(dòng)光學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新以及在醫(yī)療設(shè)備的應(yīng)用和光學(xué)傳感的發(fā)展，例如光纖SERS探頭，Nanoscribe近期推出了更新的3D打印系統(tǒng)QuantumXalign。憑借其專有的在光纖上的打印設(shè)置和在所有空間方向上的傾斜校正，新的3D打印系統(tǒng)可能已經(jīng)為在光纖上打印SERS探針的挑戰(zhàn)提供了答案，并為進(jìn)一步改進(jìn)和新的創(chuàng)新奠定了基礎(chǔ)。

影響增材制造技術(shù)的因素你了解嗎？歡迎咨詢Nanoscribe在中國(guó)的子公司納糯三維科技（上海）有限公司。

Nanoscribe首屆線上用戶大會(huì)于九月順利召開，在微流控研究中，通常在針對(duì)微流控器件和芯片的快速成型制作中會(huì)結(jié)合不同制造方法。亞琛工業(yè)大學(xué)（RWTHUniversityofAachen）和不來梅大學(xué)（UniversityofBremen）的研究小組提出將三維結(jié)構(gòu)的芯片結(jié)構(gòu)打印到預(yù)制微納通道中。生命科學(xué)研究的驅(qū)動(dòng)力是三維打印模擬人類細(xì)胞形狀和大小的支架，以推動(dòng)細(xì)胞培養(yǎng)和組織工程學(xué)。丹麥技術(shù)大學(xué)(DTU)和德國(guó)于利希研究中心的研究團(tuán)隊(duì)展示了他們的成就，并強(qiáng)調(diào)了光刻膠如IP-L780和Nanoscribe新型柔性打印材料IP-PDMS的重要性。在微納光學(xué)和光子學(xué)研究中，布魯塞爾自由大學(xué)的研究人員提出了用于光纖到光纖和光纖到芯片連接的錐形光纖和低損耗波導(dǎo)等解決方案

更多有關(guān)高精度三維光刻的咨詢，歡迎致電納糯三維。海南工業(yè)級(jí)Nanoscribe3D微納加工

Nanoscribe的打印設(shè)備具有高度3D設(shè)計(jì)自由度的特點(diǎn)且具備人性化的操作系統(tǒng)。德國(guó)高分辨率Nanoscribe無掩膜光刻

Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)所具有的高設(shè)計(jì)自由度，可以在各種預(yù)先構(gòu)圖的基板上實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)和混合折射衍射光學(xué)器件等3D微納加工制作。結(jié)合Nanoscribe公司的高精度定位系統(tǒng)，可以按設(shè)計(jì)需要精確地集成復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu)。由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標(biāo)準(zhǔn)材料。所打印的亞微米級(jí)別分辨率器件具有特別高的形狀精度，屬于目前市場(chǎng)上易于操作的“負(fù)膠”。IP樹脂作為高效的打印材料，是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一。我們提供針對(duì)優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級(jí)配套軟件，從而簡(jiǎn)化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計(jì)迭代周期，包括仿生表面，微光學(xué)元件，機(jī)械超材料和3D細(xì)胞支架等。   德國(guó)高分辨率Nanoscribe無掩膜光刻