如何選擇真空計(jì)?考慮測(cè)量范圍與精度:不同的真空計(jì)有不同的測(cè)量范圍,需要根據(jù)實(shí)際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計(jì)適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計(jì)則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測(cè)量。精度是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的另一個(gè)重要因素。需要根據(jù)物體不同的尺寸、物理量等來(lái)選擇精度要求更高的真空計(jì)??紤]被測(cè)氣體與環(huán)境:部分真空計(jì)對(duì)被測(cè)氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計(jì)的陰極易受過(guò)量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測(cè)氣體是否會(huì)對(duì)真空計(jì)造成損傷。部分真空計(jì)會(huì)影響被測(cè)環(huán)境。例如,壓縮式真空計(jì)在測(cè)量時(shí)要壓縮被測(cè)氣體,這可能會(huì)使水蒸氣凝結(jié),從而影響被測(cè)真空環(huán)境。真空計(jì)按原理可以分哪幾類(lèi)?四川mems電容真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
真空計(jì)按測(cè)量原理分類(lèi)
靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測(cè)量壓力的變化。壓縮式真空計(jì)測(cè)量原理:在U型管的基礎(chǔ)上應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。熱傳導(dǎo)真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。示例:電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)等。熱輻射真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。 四川皮拉尼真空計(jì)生產(chǎn)廠家皮拉尼真空計(jì)是一種測(cè)量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。
根據(jù)測(cè)量原理的不同,真空計(jì)可以分為多種類(lèi)型:波爾登規(guī):利用細(xì)銅管在不同氣壓下的舒展現(xiàn)象進(jìn)***壓測(cè)量。薄膜電容規(guī):利用金屬膜片在不同壓力下變形導(dǎo)致的電容變化進(jìn)***壓測(cè)量。皮拉尼電阻規(guī):利用電阻與溫度之間的關(guān)系,通過(guò)測(cè)量加熱電阻絲的溫度變化來(lái)推算氣壓。熱電偶規(guī):與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,但用熱電偶直接測(cè)量熱絲的溫度變化。熱陰極電離規(guī):通過(guò)發(fā)射電子電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,并測(cè)量離子電流的大小來(lái)推算氣壓。冷陰極電離規(guī):利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,并測(cè)量離子電流的大小來(lái)推算氣壓。
真空計(jì)的歷史沿革1946年:,是一種***型高真空真空計(jì)。。1948年:,是典型的一類(lèi)氣體組分與分壓強(qiáng)測(cè)量的真空計(jì)。1949年:、、,也是測(cè)量氣體組分及分壓強(qiáng)的一類(lèi)重要的真空計(jì)。1950年:(又稱(chēng)熱陰極超高真空電離真空計(jì)),解決了超高真空測(cè)量問(wèn)題,推動(dòng)了超高真空技術(shù)的發(fā)展。1951年:、、,是一種與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)的***型真空計(jì)。1953年:、,此類(lèi)真空計(jì)**小可檢測(cè)分壓強(qiáng)達(dá)10^-14Pa。1957年:德國(guó)人、高壓強(qiáng)電離真空計(jì),盡量利用離子流的較好的線性等優(yōu)點(diǎn)來(lái)代替熱傳導(dǎo)規(guī)的不足。1959年:,制造工藝過(guò)于復(fù)雜難以推廣應(yīng)用。1960年以來(lái):相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實(shí)現(xiàn)10^-11Pa左右的超高真空測(cè)量。七十年代后的二三十年:真空測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域在新原理方面沒(méi)有出現(xiàn)明顯突破性的進(jìn)展,較多的是在基本清晰的原理思路上的改進(jìn)與補(bǔ)充,處于一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的時(shí)期。 真空計(jì)有哪幾種常見(jiàn)的類(lèi)型?
金屬薄膜真空計(jì)是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導(dǎo)特性來(lái)測(cè)量壓力的真空計(jì)。以下是對(duì)金屬薄膜真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計(jì)利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質(zhì)來(lái)測(cè)量壓力。具體來(lái)說(shuō),有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當(dāng)氣體分子撞擊金屬薄膜時(shí),會(huì)產(chǎn)生微小的壓力變化,這種變化會(huì)影響薄膜振蕩的固有頻率,從而間接測(cè)量壓力大小。這種方法通常用于高真空環(huán)境下的測(cè)量,因?yàn)樵诖谁h(huán)境下,氣體分子對(duì)薄膜的撞擊作用更加明顯。熱傳導(dǎo)原理:金屬薄膜真空計(jì)還可以利用真空中的熱傳導(dǎo)特性來(lái)測(cè)量氣壓。當(dāng)薄膜暴露在低壓氣氛中時(shí),會(huì)發(fā)生熱量損失,損失的熱量與氣壓成正比。通過(guò)測(cè)量熱量損失,可以計(jì)算出真實(shí)的氣壓值。這種方法通常涉及一個(gè)加熱元件(如熱陰極)和一個(gè)金屬薄膜,加熱元件發(fā)射的電子在真空中運(yùn)動(dòng)并撞擊薄膜,從而產(chǎn)生熱量損失。如何減少電磁干擾對(duì)皮拉尼真空計(jì)的影響?四川mems電容真空計(jì)多少錢(qián)
真空計(jì)種類(lèi)那么多,應(yīng)該如何選擇?四川mems電容真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
不同類(lèi)型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,主要包括以下幾類(lèi):
利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測(cè)量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過(guò)測(cè)量氣體分子在電離過(guò)程中產(chǎn)生的電流來(lái)推算真空度。這類(lèi)真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測(cè)量精度。 四川mems電容真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商