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不同的顯微鏡,顯微鏡的支架會(huì)有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺(tái)用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據(jù)測(cè)試應(yīng)用不同會(huì)有不同的設(shè)計(jì)形式。樣品臺(tái)(載物臺(tái))用于承載待測(cè)樣品,通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計(jì),常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,樣品臺(tái)還可根據(jù)測(cè)量需求,設(shè)計(jì)為帶測(cè)量通路和帶精密控溫的形式。精密移動(dòng)組件。以上承載平臺(tái)都配套了相應(yīng)的移動(dòng)定位功能,方便用戶對(duì)顯微鏡、待測(cè)樣品及定位器進(jìn)行精密的移動(dòng)。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動(dòng)功能。定位器。定位器(又稱探針座),幫助用戶實(shí)現(xiàn)探針的精密移動(dòng)定位。因此,結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動(dòng)絲桿精度、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的直線度、往復(fù)精度、長期使用時(shí)以上指標(biāo)的可靠性都是選購定位器時(shí)應(yīng)當(dāng)考慮的主要指標(biāo)。探針臺(tái)的研究成果不僅對(duì)天文學(xué)有著重要的意義,還對(duì)物理學(xué)等學(xué)科領(lǐng)域產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。深圳12寸探針臺(tái)哪家好
由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性,不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng),方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇,輕擦定子表面,然后用專門使用工具撬起動(dòng)子,方法同前, 輕擦動(dòng)子表面,動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔,它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子,以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃,相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃,氣壓為0.4±0.04MPa。福建探針臺(tái)公司探針臺(tái)的科研成果對(duì)探索宇宙、維護(hù)人類福祉和生存環(huán)境有著重要的促進(jìn)作用。
全自動(dòng)探針臺(tái)是一種能夠自動(dòng)執(zhí)行多種測(cè)試任務(wù)的高精度測(cè)量儀器。通過搭載多個(gè)探頭和程序控制模塊,實(shí)現(xiàn)對(duì)微小尺寸的物體、器件和元器件的測(cè)量和測(cè)試。其中包括線寬、線距、面積、厚度、電阻、電容、電感、電壓等參數(shù)的測(cè)試,同時(shí)還可進(jìn)行設(shè)備的壽命測(cè)試、可靠性測(cè)試和性能測(cè)試等。全自動(dòng)探針臺(tái)采用了先進(jìn)的技術(shù),它在工作過程中不需要人工干預(yù),整個(gè)探測(cè)過程全部自動(dòng)化。這不只提高了生產(chǎn)效率,更可以大幅降低工人的勞動(dòng)強(qiáng)度和生產(chǎn)成本。在應(yīng)用方面,普遍應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,如地質(zhì)勘探、生物科技、材料科學(xué)等,開創(chuàng)了新的工作方式和研究方法。
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng),相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。探針臺(tái)在天文學(xué)研究中具有舉足輕重的作用。
讓一個(gè)好的探針臺(tái)與眾不同并為您的測(cè)試增加價(jià)值的是它能夠精確控制這些探針在設(shè)備上的位置、外部刺激的應(yīng)用方式以及測(cè)試發(fā)生時(shí)設(shè)備周圍的環(huán)境條件。探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測(cè)設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測(cè)設(shè)備和探頭先進(jìn)。探針臺(tái)能夠?yàn)樘仗剿魈峁╆P(guān)鍵的科研數(shù)據(jù)。上海小型探針臺(tái)供應(yīng)商
探針臺(tái)具有規(guī)模化、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國際性等特點(diǎn),是人類探索宇宙的中心樞紐。深圳12寸探針臺(tái)哪家好
目前,市面上定位器主要的形式有三種:(1)燕尾導(dǎo)向型。使用燕尾導(dǎo)向機(jī)構(gòu),可有效地降低產(chǎn)品成本。缺點(diǎn)是,直線導(dǎo)向精度比交叉滾子導(dǎo)軌要差,并不適用于高精度操作。通??吹皆擃惻渲枚际桥c配套了體視顯微鏡的探針臺(tái)搭配使用。(2)交叉滾子導(dǎo)軌導(dǎo)向型。相比于燕尾導(dǎo)軌,直線精度有效地提高了。適用于目前大部分客戶的定位需求。缺點(diǎn)是,超高倍數(shù)下因?yàn)闄C(jī)構(gòu)原因(XYZ機(jī)構(gòu)是像蛋糕一樣一層疊一層),手部操作的震動(dòng)很容易傳遞到探針上。在高倍下探針的震動(dòng)會(huì)被觀察到,很影響用戶扎探針。比如要把探針扎到幾微米甚至1微米左右的PAD上,將會(huì)相對(duì)比較困難。(3)交叉滾子導(dǎo)向、高穩(wěn)定型。該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)把定位器上移動(dòng)機(jī)構(gòu)(XYZ)和驅(qū)動(dòng)絲桿分開,能有效地將手部操作產(chǎn)生的震動(dòng)隔離,實(shí)現(xiàn)真空意義上的高精度、高穩(wěn)定操作(Submicron Probing)。深圳12寸探針臺(tái)哪家好