承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要具有實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn),茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高,在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ;為了實(shí)現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度,抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高,同時(shí)承片 臺(tái)要具備極高的剛性,而且在150 mm 的臺(tái)面上 剛度一致是非常重要的。通過在Z 軸方向的往復(fù) 移動(dòng),實(shí)現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型(外圈分隔,內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn))支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中,因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動(dòng)面上通過間隔保持器被相互垂直排列。使得單個(gè)軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷,具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造,軸承間隙可調(diào)整。探針臺(tái)開展的研究和觀測(cè)任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。深圳全自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)商
8英寸手動(dòng)探針臺(tái)使用方式:1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。上海全自動(dòng)探針臺(tái)廠家直銷探針臺(tái)的科研成果對(duì)推動(dòng)人類文明的發(fā)展有著重要的作用。
探針臺(tái)特性1:裝載部件,令客戶滿意的測(cè)試環(huán)境,可以提供從前部開始的通常的8",12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。特性2:TTG(一點(diǎn)即到),更加方便的操作,UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下,相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。晶圓測(cè)試的方式主要是通過測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的聯(lián)動(dòng),在測(cè)試過程中,測(cè)試機(jī)臺(tái)并不能直接對(duì)待測(cè)晶圓進(jìn)行量測(cè),而是透過探針卡(Probe Card)中的探針(Probe)與晶圓上的焊墊(Pad)或凸塊(Bump)接觸而構(gòu)成電性接觸。
探針臺(tái)可以在整個(gè)晶圓上或被鋸成單個(gè)芯片后運(yùn)行測(cè)試。整個(gè)晶圓級(jí)的測(cè)試允許制造商在整個(gè)生產(chǎn)過程的不同階段多次測(cè)試設(shè)備,并密切監(jiān)控制造以查看是否存在任何缺陷。在較終封裝之前對(duì)單個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試可以將有缺陷的器件從流通中移除,確保只封裝功能器件。探針臺(tái)在整個(gè)研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析中都有很大的用途,工程師需要靈活而精確的工具來對(duì)設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測(cè)試。讓一個(gè)好的探針臺(tái)與眾不同并為您的測(cè)試增加價(jià)值的是它能夠精確控制這些探針在設(shè)備上的位置、外部刺激的應(yīng)用方式以及測(cè)試發(fā)生時(shí)設(shè)備周圍的環(huán)境條件。探針臺(tái)能夠觀測(cè)到遠(yuǎn)離地球的星系和恒星群。
手動(dòng)探針臺(tái)的工作原理及應(yīng)用范圍。工作原理:手動(dòng)探針臺(tái)是普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。手動(dòng)探針臺(tái)是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測(cè)試儀對(duì)芯片中的集成電路進(jìn)行檢測(cè)的。應(yīng)用范圍:手動(dòng)探針臺(tái)主要用于對(duì)生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測(cè)試。晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。探針臺(tái)的設(shè)立有助于拓展對(duì)太空天體的認(rèn)識(shí)。大型探針臺(tái)哪家好
探針臺(tái)是人類探索宇宙、了解自身的一所寶庫(kù)。深圳全自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)商
溫控探針臺(tái)在許多領(lǐng)域都有普遍的應(yīng)用。例如,在實(shí)驗(yàn)室中,可以用于科學(xué)研究,如化學(xué)反應(yīng)、生物實(shí)驗(yàn)等。在工業(yè)生產(chǎn)中,它們用于控制工藝過程中的溫度,如金屬加熱、玻璃淬火等。在醫(yī)療設(shè)備中,可以用于保持手術(shù)器械的消毒溫度、維持血液透析機(jī)的水溫等。溫控探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)是精確控制溫度、穩(wěn)定性高、響應(yīng)速度快、可靠性強(qiáng)。由于它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制溫度,因此可以節(jié)省時(shí)間和成本,并提高生產(chǎn)效率。與傳統(tǒng)的溫度控制方法相比,它更加智能化和自動(dòng)化,減少了人工干預(yù)和誤差??傊瑴乜靥结樑_(tái)是一種重要的溫度測(cè)量和調(diào)節(jié)設(shè)備,具有普遍的應(yīng)用領(lǐng)域和諸多優(yōu)點(diǎn)。隨著科技的不斷進(jìn)步,它的性能和功能將會(huì)進(jìn)一步提升,為各行各業(yè)帶來更多便利和效益。深圳全自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)商