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本發(fā)明在另一實(shí)施例中公開一種芯片測(cè)試機(jī)的測(cè)試方法。該測(cè)試方法包括以下步驟:將多個(gè)待測(cè)試芯片放置于多個(gè)tray盤中,每一個(gè)tray盤中放置多個(gè)待測(cè)試芯片,將多個(gè)tray盤放置于自動(dòng)上料裝置,并在自動(dòng)下料裝置及不良品放置臺(tái)上分別放置一個(gè)空tray盤;移載裝置從自動(dòng)上料裝置的tray盤中取出待測(cè)試芯片移載至測(cè)試裝置進(jìn)行測(cè)試;芯片測(cè)試完成后,移載裝置將測(cè)試合格的芯片移載至自動(dòng)下料裝置的空tray盤中,將不良品移載至不良品放置臺(tái)的空tray盤中;當(dāng)自動(dòng)上料裝置的一個(gè)tray盤中的待測(cè)試芯片全部完成測(cè)試,且自動(dòng)下料裝置的空tray盤中放滿測(cè)試合格的芯片后,移載裝置將自動(dòng)上料裝置的空tray盤移載至自動(dòng)下料裝置。芯片測(cè)試機(jī)是一種用于測(cè)試集成電路的機(jī)器。河南半導(dǎo)體芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)
從高溫容器中采用旋轉(zhuǎn)拉伸的方式將硅原料取出,此時(shí)一個(gè)圓柱體的硅錠就產(chǎn)生了。從目前所使用的工藝來看,硅錠圓形橫截面的直徑為200毫米。在保留硅錠的各種特性不變的情況下增加橫截面的面積是具有相當(dāng)?shù)碾y度的,不過只要企業(yè)肯投入大批資金來研究,還是可以實(shí)現(xiàn)的。intel為研制和生產(chǎn)300毫米硅錠建立的工廠耗費(fèi)了大約35億美元,新技術(shù)的成功使得intel可以制造復(fù)雜程度更高,功能更強(qiáng)大的芯片芯片,200毫米硅錠的工廠也耗費(fèi)了15億美元。河南半導(dǎo)體芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)芯片測(cè)試機(jī)為從事集成電路設(shè)計(jì)的工程師提供了便捷的測(cè)試手段。
一般packagetest的設(shè)備也是各個(gè)廠商自己開發(fā)或定制的,通常包含測(cè)試各種電子或光學(xué)參數(shù)的傳感器,但通常不使用探針探入芯片內(nèi)部(多數(shù)芯片封裝后也無法探入),而是直接從管腳連線進(jìn)行測(cè)試。由于packagetest無法使用探針測(cè)試芯片內(nèi)部,因此其測(cè)試范圍受到限制,有很多指標(biāo)無法在這一環(huán)節(jié)進(jìn)行測(cè)試。但packagetest是Z終產(chǎn)品的測(cè)試,因此其測(cè)試合格即為Z終合格產(chǎn)品。IC的測(cè)試是一個(gè)相當(dāng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程,無法簡(jiǎn)單地告訴你怎樣判定是合格還是不合格。
優(yōu)先選擇地,預(yù)定位裝置100還包括至少兩個(gè)光電傳感器105,機(jī)架10上固定有預(yù)定位氣缸底座106,預(yù)定位旋轉(zhuǎn)氣缸101固定于預(yù)定位氣缸底座106上,預(yù)定位氣缸底座106上設(shè)有相對(duì)設(shè)置的四個(gè)定位架107,預(yù)定位底座102及轉(zhuǎn)向定位底座103位于四個(gè)定位架107支之間,兩個(gè)光電傳感器105分別固定于兩個(gè)定位架107上。當(dāng)芯片需要進(jìn)行預(yù)定位時(shí),首先選擇將芯片移載至預(yù)定位槽104內(nèi),然后由預(yù)定位旋轉(zhuǎn)氣缸101帶動(dòng)轉(zhuǎn)向定位底座103旋轉(zhuǎn),從而帶動(dòng)芯片正向或反向旋轉(zhuǎn)90度。通過預(yù)定位裝置100對(duì)芯片的放置方向進(jìn)行調(diào)整,保障芯片測(cè)試的順利進(jìn)行。芯片測(cè)試完成后再移動(dòng)至預(yù)定位裝置100進(jìn)行方向調(diào)整,保障測(cè)試完成后的芯片的放置方向與芯片的來料方向一致。芯片測(cè)試機(jī)可以提供精確的數(shù)據(jù),幫助工程師快速理解芯片性能。
如圖13、圖14所示,本實(shí)施例的移載裝置20包括y軸移動(dòng)組件21、x軸移動(dòng)組件22、頭一z軸移動(dòng)組件23、第二z軸移動(dòng)組件24、真空吸盤25及真空吸嘴26。x軸移動(dòng)組件22與y軸移動(dòng)組件21相連,頭一z軸移動(dòng)組件23、第二z軸移動(dòng)組件24分別與x軸移動(dòng)組件22相連,真空吸盤25與頭一z軸移動(dòng)組件23相連,真空吸嘴26與第二z軸移動(dòng)組件24相連。y軸移動(dòng)組件21固定于機(jī)架10的上頂板上,y軸移動(dòng)組件21包括y軸移動(dòng)導(dǎo)軌210、y軸拖鏈211、y軸伺服電缸212及y軸移動(dòng)底板213,y軸導(dǎo)軌與y軸拖鏈211相對(duì)設(shè)置,y軸移動(dòng)底板213通過滑塊分別與y軸移動(dòng)導(dǎo)軌210及y軸伺服電缸212相連。x軸移動(dòng)組件22與y軸移動(dòng)底板213相連,x軸移動(dòng)組件22還與y軸拖鏈211相連。由y軸伺服電缸212驅(qū)動(dòng)y軸移動(dòng)底板213在y軸移動(dòng)。芯片測(cè)試機(jī)可以進(jìn)行超時(shí)測(cè)試,用于測(cè)試芯片在極端條件下的穩(wěn)定性。北京推拉力芯片測(cè)試機(jī)設(shè)備
芯片測(cè)試機(jī)通常連接到計(jì)算機(jī)上進(jìn)行測(cè)試。河南半導(dǎo)體芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)
動(dòng)態(tài)測(cè)試原理(或者叫功能測(cè)試或叫跑pattern方式),使用動(dòng)態(tài)測(cè)試法進(jìn)行開短路測(cè)試比之前介紹的靜態(tài)測(cè)試法更快,成本也更低,適合管腳比較多的芯片,減少測(cè)試時(shí)間。使用測(cè)試機(jī)動(dòng)態(tài)電流負(fù)載單元為前端偏置的 VDD 保護(hù)二極管提供電流,通過輸出比較電平確定PASS區(qū)域(中間態(tài)或“Z”態(tài))。兩種測(cè)量方法對(duì)比:利用功能測(cè)試進(jìn)行開短路測(cè)試的優(yōu)點(diǎn)是速度相對(duì)比較快;不利之處在于datalog所能顯示的結(jié)果信息有限,當(dāng)fail產(chǎn)生,我們無法直接判斷失效的具體所在和產(chǎn)生原因。通常在測(cè)試中因?yàn)樾酒_不多,對(duì)時(shí)間影響不明顯,大部分選擇靜態(tài)(DC測(cè)試)方法.河南半導(dǎo)體芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)