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探針臺特性1:裝載部件,令客戶滿意的測試環(huán)境,可以提供從前部開始的通常的8",12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。特性2:TTG(一點(diǎn)即到),更加方便的操作,UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下,相關(guān)的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。晶圓測試的方式主要是通過測試機(jī)和探針臺的聯(lián)動(dòng),在測試過程中,測試機(jī)臺并不能直接對待測晶圓進(jìn)行量測,而是透過探針卡(Probe Card)中的探針(Probe)與晶圓上的焊墊(Pad)或凸塊(Bump)接觸而構(gòu)成電性接觸。探針臺的科研成果對推動(dòng)人類文明的發(fā)展有著重要的作用。山東電學(xué)溫控探針臺
探針臺分類,探針臺從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng),從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(較低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型,根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選);X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選);chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān);可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。北京真空溫控探針臺公司探針臺的運(yùn)營需要考慮科學(xué)、技術(shù)和管理等多個(gè)方面的因素,并做好安全保密方面的工作。
手動(dòng)探針臺的工作原理及應(yīng)用范圍。工作原理:手動(dòng)探針臺是普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動(dòng)探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進(jìn)行檢測的。應(yīng)用范圍:手動(dòng)探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測試。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。
探針臺,是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備,也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì)、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環(huán)境下,測試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機(jī)、探針臺和分選機(jī)。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會用到測試機(jī),不同環(huán)節(jié)中測試機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺配合使用。探針臺是人類理解宇宙和了解人類自身的一個(gè)重要工具。
總的來說,手動(dòng)探針臺適合研發(fā)人員使用,半自動(dòng)探針臺適合初學(xué)者使用,而全自動(dòng)探針臺適合具有一定經(jīng)驗(yàn)的測試人員使用。不同類型的探針臺各有優(yōu)缺點(diǎn),選擇何種探針臺主要取決于測試的需求和個(gè)人的技能水平。全自動(dòng)探針臺是一種全自動(dòng)控制的探針臺,可以在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用。相比于半自動(dòng)探針臺,全自動(dòng)探針臺具有更高的精度和效率,可以在短時(shí)間內(nèi)完成大量的測試操作。全自動(dòng)探針臺通常還配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)、模式識別(自動(dòng)對準(zhǔn))等功能,以確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。全自動(dòng)探針臺通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。探針臺的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。北京真空溫控探針臺公司
探針臺可以通過觀測宇宙現(xiàn)象來解開地球和人類的謎團(tuán)。山東電學(xué)溫控探針臺
什么是自動(dòng)探針臺,自動(dòng)探針臺是一種用于電子與通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。從裝片方式上區(qū)分,分為全自動(dòng)和半自動(dòng)兩種。主要用于晶圓測試,晶圓尺寸:4,,6,8 ,12英寸晶圓片裝卸:1個(gè)載片盒 (25 或者 26 個(gè)片槽),連續(xù)的可編程雙向加載,快速單片晶圓手動(dòng)上下片,防晶圓交叉保護(hù) XYZ- 精度:±3微米。使用環(huán)境:1. 電源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<1.5KW;2. 壓縮空氣源:> 0.7MPa,10L/H;3. 使用環(huán)境:溫度:15oC-25oC 相對濕度:<70%。山東電學(xué)溫控探針臺