8英寸手動探針臺用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),研發(fā)人員一般會采用萬用電表的表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微?。{米級)的微電子器件(如IC、wafer、Chip、LCDArray、CMOSCameraModule、Pitch微小的Connector),萬用表點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺需要高度的保密性和安全措施。天津大型探針臺工作原理
探針測試臺x-y工作臺的分類,縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為表示的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。深圳晶圓測試探針臺價位探針臺的建設需要尊重自然和秉持可持續(xù)發(fā)展理念。
機械手放置在平臺的平面上,并在機械手中插入探針臂和先進。探頭先進必須適合要執(zhí)行的測試程序。然后,用戶通過調整相應的操縱器將探針先進精確定位在設備內的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸;現在可以測試該設備。對于具有多個器件的晶圓,在測試頭一個器件后,可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件。重復定位探針先進的過程,直到測試完所有必需的設備。這個過程都可以由操作員手動完成,但如果載物臺和機械手是電動的,并且顯微鏡連接到計算機視覺系統(tǒng),那么這個過程可以變成半自動或全自動。這可以提高探針臺的生產力和吞吐量,并減少運行多個測試所需的勞動力。
承片臺結構設計要具有實現自動對準的茲 向 旋轉,茲 向旋轉的分度精度要求非常高,在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ;為了實現與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達到接觸 位置的精度,抬升機構的進給精度要高,同時承片 臺要具備極高的剛性,而且在150 mm 的臺面上 剛度一致是非常重要的。通過在Z 軸方向的往復 移動,實現高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺旋轉結構在設計上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型(外圈分隔,內環(huán)旋轉)支撐 旋轉。在交叉滾柱軸環(huán)中,因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動面上通過間隔保持器被相互垂直排列。使得單個軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負荷等所有方向的負荷,具有很高的剛性。又 由于內圈或外圈是分隔的構造,軸承間隙可調整。探針臺的建設需要對宇宙環(huán)境綜合思考,并有針對性解決相關科技難題。
探針臺,是我們半導體實驗室電學性能測試的常用設備,也是各大實驗室以及芯片設計、封裝測試的熟客。設備具備各項優(yōu)勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環(huán)境下,測試結果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現更加精確的數據測試測量。半導體測試設備主要包括測試機、探針臺和分選機。探針臺的建設和發(fā)展需要長期的投入和堅定的信心。上海晶圓測試探針臺廠商
探針臺是在地球表面建立的觀測站,旨在收集宇宙射線、電磁波等信息。天津大型探針臺工作原理
探針臺的基本組件,探針臺由六個基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機械手——用于將探頭定位在被測設備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設備接觸。探頭先進和臂 - 安裝在機械手上,它們直接接觸設備。光學 - 用于查看和放大被測設備和探頭先進。它是如何工作的?探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。天津大型探針臺工作原理
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