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壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。熱傳導(dǎo)真空計：利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。熱輻射真空計：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般只能作為定性測量。粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。金屬熱偶真空規(guī)管采用經(jīng)過穩(wěn)定化處理?；幢闭婵沼嬕话銉r格

場發(fā)射真空傳感器是采用加工工藝研制一種新型的基于硅尖陣列場發(fā)射原理的微型真空傳感器。通過理論分析， 確立了該種傳感器中硅尖場發(fā)射電流與真空度的關(guān)系。并利用干法刻蝕工藝， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列。保持陽極與硅尖距離為1μm的情況下， 可以觀察到陽極電壓為10V左右時開始有明顯的場發(fā)射電流。利用硅尖陣列場發(fā)射電流大小隨真空度變化而變化的現(xiàn)象， 研制了一種基于硅尖陣列場發(fā)射原理的場發(fā)射真空傳感器。利用加工工藝制作出傳感器樣機(jī)， 并搭建測試系統(tǒng)測試其特性。通過實驗發(fā)現(xiàn)， 隨著真空度的提高， 傳感器輸出電流也會隨之增大， 而且真空度越高輸出電流越大， 分辨率、靈敏度越高。銅陵真空計一般價格當(dāng)電子碰撞氣體分子使其電離并產(chǎn)生離子，獲得能量的離子打到規(guī)管壁上或被收集極接收。

真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片（ 上電極） 、上層密封用的玻璃組成， 其中下電極濺射在玻璃襯底上， 電極上生長一絕緣層； 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴(kuò)散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩個腔體， 其中上面的腔體是一個真空腔， 下面的腔體是鍵合形成的， 這個腔體不是密封的， 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控制， 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很小， 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原因，真空度是指低于大氣壓力的氣體的稀薄程度，通常以壓力來表示真空度，壓力高意味著真空度低，壓力低意味著真空度高。

真空規(guī)管在真空測量中的抽氣效應(yīng)：化學(xué)消除抽氣。化學(xué)消除抽氣現(xiàn)象的形成分3種：首先是化學(xué)活性氣體（如氫氣、氮?dú)?、二氧化碳、一氧化碳）在固體表面的化學(xué)吸附效應(yīng)，當(dāng)表面形成吸附層，化學(xué)吸附效應(yīng)就會趨于飽和；其次是高溫鎢絲氧化，氧與鎢高溫下生成三氧化鎢，三氧化鎢蒸發(fā)沉積在規(guī)管壁上會形成黑色膜，熱陰極溫度越高，效應(yīng)越大；較后是氣體在高溫鎢絲表面的熱分解，如氫分子與氧分子會分解成氫原子與氧原子，然后被吸附在管壁上，這種效應(yīng)也有飽和現(xiàn)象。真空管的原理是陰極金屬板放射出電子，由另一端的陽極金屬板接收。

若使真空傳感器的輸出端子處于短接狀況，發(fā)動機(jī)可以起動，但起動性變壞，會出現(xiàn)發(fā)動機(jī)停機(jī)及加速不良等現(xiàn)象。這時發(fā)動機(jī)根據(jù)其它傳感器的信息，將燃油噴射時間固定，處于自我修正狀態(tài)。上面所講的是真空傳感器的輸出電壓隨進(jìn)氣歧管壓力變化的情況，下面以其它型號的真空傳感器為例，看一看在怠速狀態(tài)與2000r/min狀態(tài)下用模擬式萬用表10V擋測量的狀況。真空傳感器的輸出端子的排布。將紅表筆與真空傳感器的輸出端子相連，將黑表筆與車身搭鐵端子相連。起動發(fā)動機(jī)后，在怠速狀態(tài)下，萬用表指示1.6V電壓;當(dāng)發(fā)動機(jī)轉(zhuǎn)速升高到2000r/min時，電壓值變?yōu)?。2V左右。當(dāng)節(jié)氣門打開、發(fā)動機(jī)轉(zhuǎn)速升高時，電壓升高到2。在安裝真空規(guī)管時就必須注意“方向效應(yīng)”。嘉興真空計哪家好

真空度一直變化不表示真空規(guī)管壞了，但也不排除壞的可能。淮北真空計一般價格

真空傳感器的檢測就是測量傳感器輸出至微機(jī)的電壓信號是否隨壓力而變化。檢測方法如，在拆下傳感器上的真空軟管與大氣連通，和加上26。66kPa負(fù)壓的兩種狀態(tài)下，分別測量傳感器的輸出端子（或微機(jī)的輸入端子）與搭鐵端子（或車身搭鐵）之間的電壓。可以用數(shù)字式萬用表，與真空傳感器的輸出端子相連。將萬用表的黑表筆與搭鐵端子巳相連，將萬用表的紅表筆與輸出端子相連。在閉合點火開關(guān)、拔下真空軟管，與大氣連通的狀態(tài)下，萬用表指示3。643V，與發(fā)動機(jī)熄火狀態(tài)的電I壓相同?；幢闭婵沼嬕话銉r格

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