真空規(guī)管使用方法

真空設(shè)備真空計的分類及應(yīng)用： 在真空鍍膜設(shè)備真空裝置自動控制中，往往要進行真空測量，由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同，因此，從105Pa—10-5Pa各真空區(qū)域的真空測量塢會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能，真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此，一個配置齊全的真空計，不只能進行真空度測量、數(shù)字顯示、量程自動切換、誤差自動修正，而且能在壓力設(shè)定點發(fā)出控制信號去進行壓力控制，按設(shè)定壓力值進行壓力自動調(diào)節(jié)，還能將測量值打印記錄，并與上位機進行通信聯(lián)系，甚至還能進行遠距離真空測量與控制。真空管的原理是陰極金屬板放射出電子，由另一端的陽極金屬板接收。真空規(guī)管使用方法

真空規(guī)管的工作原理：電阻規(guī)管的工作原理：電阻規(guī)管是用一根電阻溫度系數(shù)大的熱絲制成，熱絲構(gòu)成惠斯頓電橋的一臂，經(jīng)穩(wěn)定的電源加熱后，其電阻隨氣體壓力而變，由測量電阻的變化可得到壓力的變化。按熱絲電阻變化的測量方法，電阻計分為定壓式、定流式和定溫式三種(即分別維持熱絲的電壓、電流和溫度不變)。電阻計的測量范圍10~1×10-1帕。壓阻規(guī)的工作原理：壓阻規(guī)是用“硅環(huán)膜片”作為金屬彈性薄膜，硅環(huán)膜片內(nèi)側(cè)為標(biāo)準(zhǔn)壓力10-3帕，外側(cè)為被測壓力，當(dāng)膜片外側(cè)的壓力變化時，由于硅的壓阻效應(yīng)，阻值發(fā)生變化，對應(yīng)于被測壓力的電壓信號輸出壓力顯示值。測量范圍105~10帕。壓阻規(guī)的靈敏度與被測氣體種類無關(guān)，線性測量精度高，量程能自動轉(zhuǎn)換。亳州真空計品牌對于沒有定向氣流的靜態(tài)平衡真空系統(tǒng)，各處壓力相等，對真空規(guī)管安裝不會有特殊要求。

真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片（ 上電極） 、上層密封用的玻璃組成， 其中下電極濺射在玻璃襯底上， 電極上生長一絕緣層； 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩個腔體， 其中上面的腔體是一個真空腔， 下面的腔體是鍵合形成的， 這個腔體不是密封的， 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控制， 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很小， 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原因，真空度是指低于大氣壓力的氣體的稀薄程度，通常以壓力來表示真空度，壓力高意味著真空度低，壓力低意味著真空度高。

真空規(guī)管安裝位置與方法對真空測量的影響：首先原則上應(yīng)把真空規(guī)管安裝在接近被測量的部位，連接管道遵循真空系統(tǒng)的配管原則，要求短而粗，這樣才能正確測量出被測部位的實際壓力。如果在其間安裝導(dǎo)管、冷阱、擋板、過濾器等部件時，需要進行修正。同時，規(guī)管不應(yīng)安裝在真空系統(tǒng)中存在氣源的地方。對于沒有定向氣流的靜態(tài)平衡真空系統(tǒng)，各處壓力相等，對真空規(guī)管安裝不會有特殊要求。但對于存在定向氣流的非靜態(tài)平衡系統(tǒng)，各處壓力不相等，在安裝真空規(guī)管時就必須注意“方向效應(yīng)”。另外，在存在溫差的系統(tǒng)中，溫差也會引發(fā)氣體的定向流動。真空規(guī)管該怎么安裝？

靈敏度倍增真空規(guī)管組,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明通過提供的一種靈敏度倍增真空規(guī)管組采用了至少兩個真空規(guī)管并聯(lián)在一起,有效的提高了整個測量實施過程中電容薄膜的大小,提高了整個真空度的測量靈敏度。其特征在于：所述真空規(guī)管組至少包括兩個真空規(guī)管，所述至少兩個真空規(guī)管采用并聯(lián)的方式設(shè)置，其中，所述真空規(guī)管包括：一殼體，所述殼體內(nèi)具有一容置空間；一電容薄膜，所述電容薄膜設(shè)置于所述容置空間內(nèi)，并把所述容置空間分為被測空間和真空空間；一進氣口，所述進氣口設(shè)置于所述殼體上，且所述被測空間通過所述進氣口與進氣管連通；一固定電極板，所述固定電極板設(shè)置于所述真空空間內(nèi)；一電極，所述電極設(shè)置于所述殼體上，且與所述固定電極板連接；其中，所述電容薄膜和所述固定電極板構(gòu)成差動電容。重新安裝真空規(guī)管及線路包括顯示板，排查是否是接觸的問題。天津真空規(guī)管生產(chǎn)商

電阻規(guī)管：目前國內(nèi)的電阻規(guī)型號主要是52T系列。主要以用于粗低真空測量。真空規(guī)管使用方法

真空傳感器是采用加工工藝研制一種新型的基于硅尖陣列場發(fā)射原理的微型真空傳感器。通過理論分析， 確立了該種傳感器中硅尖場發(fā)射電流與真空度的關(guān)系。并利用干法刻蝕工藝， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列。保持陽極與硅尖距離為1μm的情況下， 可以觀察到陽極電壓為10V左右時開始有明顯的場發(fā)射電流。利用硅尖陣列場發(fā)射電流大小隨真空度變化而變化的現(xiàn)象， 研制了一種基于硅尖陣列場發(fā)射原理的場發(fā)射真空傳感器。利用加工工藝制作出傳感器樣機， 并搭建測試系統(tǒng)測試其特性。通過實驗發(fā)現(xiàn)， 隨著真空度的提高， 傳感器輸出電流也會隨之增大， 而且真空度越高輸出電流越大， 分辨率、靈敏度越高。真空規(guī)管使用方法

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