靈敏度倍增真空規(guī)管組,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明通過提供的一種靈敏度倍增真空規(guī)管組采用了至少兩個(gè)真空規(guī)管并聯(lián)在一起,有效的提高了整個(gè)測量實(shí)施過程中電容薄膜的大小,提高了整個(gè)真空度的測量靈敏度。其特征在于：所述真空規(guī)管組至少包括兩個(gè)真空規(guī)管，所述至少兩個(gè)真空規(guī)管采用并聯(lián)的方式設(shè)置，其中，所述真空規(guī)管包括：一殼體，所述殼體內(nèi)具有一容置空間；一電容薄膜，所述電容薄膜設(shè)置于所述容置空間內(nèi)，并把所述容置空間分為被測空間和真空空間；一進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口設(shè)置于所述殼體上，且所述被測空間通過所述進(jìn)氣口與進(jìn)氣管連通；一固定電極板，所述固定電極板設(shè)置于所述真空空間內(nèi)；一電極，所述電極設(shè)置于所述殼體上，且與所述固定電極板連接；其中，所述電容薄膜和所述固定電極板構(gòu)成差動(dòng)電容。金屬熱偶真空規(guī)管具有結(jié)構(gòu)簡單，量程較寬，響應(yīng)較快，抗污染，耐氧化，漂移小，性能穩(wěn)定，價(jià)格適中等特點(diǎn)。河南真空計(jì)哪里買
真空規(guī)管包括電阻規(guī)管,冷陰極電離規(guī)管,置于真空規(guī)管外側(cè)的永磁組件,用以連接真空測量設(shè)備與真空規(guī)管的高壓插座,所述真空規(guī)管還包括法蘭組件,陽極組件;所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體,所述管體設(shè)有安裝電阻規(guī)管和陽極組件的腔室;所述陽極組件包括壓板,已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿,所述壓板上設(shè)有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規(guī)管,陶瓷組件的腔室;采用所述真空規(guī)管其測量范圍可以達(dá)到105Pa-10-7Pa,拓展了冷陰極電離規(guī)管的測量上限。河南真空計(jì)哪里買金屬熱偶真空規(guī)管可以與玻璃熱偶規(guī)管互換使用。
真空規(guī)管在真空測量中的抽氣效應(yīng)：化學(xué)消除抽氣?；瘜W(xué)消除抽氣現(xiàn)象的形成分3種：首先是化學(xué)活性氣體（如氫氣、氮?dú)?、二氧化碳、一氧化碳）在固體表面的化學(xué)吸附效應(yīng)，當(dāng)表面形成吸附層，化學(xué)吸附效應(yīng)就會(huì)趨于飽和；其次是高溫鎢絲氧化，氧與鎢高溫下生成三氧化鎢，三氧化鎢蒸發(fā)沉積在規(guī)管壁上會(huì)形成黑色膜，熱陰極溫度越高，效應(yīng)越大；較后是氣體在高溫鎢絲表面的熱分解，如氫分子與氧分子會(huì)分解成氫原子與氧原子，然后被吸附在管壁上，這種效應(yīng)也有飽和現(xiàn)象。
高精度真空規(guī)管,包括:外殼;薄膜片,所述薄膜片固定設(shè)置在外殼內(nèi)部,并將外殼內(nèi)部空間分為真空空間和被測空間;定電極,所述定電極固定設(shè)置在真空空間內(nèi),所述定電極與所述薄膜片相對的那一表面上設(shè)有主電極,所述定電極的另一表面上設(shè)有鍍金層;第1電極柱,所述第1電極柱一端與外部電容測量電路相接,另一端與外殼相接;第二電極柱,所述第二電極柱一端與外部電容測量電路相連,另一端穿過外殼與所述鍍金層相接,且與所述外殼絕緣;進(jìn)氣口,所述進(jìn)氣口設(shè)置在外殼上,并位于被測空間所在的一側(cè).本發(fā)明測量精確,熱漂移系數(shù)小,能夠適用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中真空測量。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵沼?jì)上經(jīng)過放大處理顯示出被測真空環(huán)境的真空度。
真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片（ 上電極） 、上層密封用的玻璃組成， 其中下電極濺射在玻璃襯底上， 電極上生長一絕緣層； 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴(kuò)散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩個(gè)腔體， 其中上面的腔體是一個(gè)真空腔， 下面的腔體是鍵合形成的， 這個(gè)腔體不是密封的， 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控制， 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很小， 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原因。真空規(guī)管包括電阻規(guī)管,冷陰極電離規(guī)管。阜陽真空管訂購
真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。河南真空計(jì)哪里買
放電氣體環(huán)境真空規(guī)管輔助儀器.該儀器包括:兩個(gè)金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的電子和離子屏蔽電極;在兩個(gè)屏蔽電極之間以及一個(gè)屏蔽電極和真空室器壁之間施加兩個(gè)屏蔽電壓,實(shí)現(xiàn)第1級離子屏蔽和第二級電子屏蔽;兩個(gè)絕緣支柱和一個(gè)安放于真空室的連接口.該儀器結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉,能夠很好地解決電離真空規(guī)管在等離子體環(huán)境中讀數(shù)偏高甚至不能工作的問題,提高其測量穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度,可以在放電氣體環(huán)境中提供可靠的真空測量,同時(shí)配合電離真空規(guī)管使用,測量放電氣體的電離度,規(guī)避了傳統(tǒng)氣體電離度測量成本高,設(shè)備復(fù)雜的缺點(diǎn),是一種易于在工業(yè)界推廣的氣體電離度監(jiān)測儀器。河南真空計(jì)哪里買
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