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這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內(nèi)空間NA和0.991的線性相關(guān)系數(shù)R2,其構(gòu)造達到了原始設(shè)計要求并顯示出了良好的光學性能。實現(xiàn)線性散射需要考慮一些關(guān)鍵條件 ,并可以采用不同的優(yōu)化方法來改進設(shè)計。首先,線性散射的實現(xiàn)需要確保攝像鏡頭的各種光譜成分具有相同的焦點位置,以減少色差。為了實現(xiàn)這個要求,需要采用精確的光學元件制造和裝配,確保不同波長的光線匯聚到同一焦點。同時,特殊的透鏡設(shè)計和涂層技術(shù)也可以減小縱向色差。在優(yōu)化設(shè)計方面,可以采用非球面透鏡或使用折射率不同的材料組合來提高圖像質(zhì)量。此外,改進透鏡的曲率半徑、增加光圈葉片數(shù)量和設(shè)計更復雜的光學系統(tǒng)也可以進一步提高性能。總的來說,這項研究強調(diào)了高線性縱向色差和高圖像室內(nèi)空間NA在超色差攝像鏡頭設(shè)計中的重要性。這種設(shè)計方案展示了光學工程的進步,表明光譜共焦位移傳感器的商品化生產(chǎn)將朝著高線性縱向色差和高圖像室內(nèi)空間NA的方向發(fā)展,從而提供更加精確和高性能的成像設(shè)備,滿足不同領(lǐng)域的需求。光譜共焦技術(shù)在醫(yī)療器械制造中可以用于醫(yī)療器械的精度檢測和測量。防水型光譜共焦廠家供應(yīng)
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測量方法,適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求。該方法利用三坐標測量機平臺對零件進行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置的空間橫坐標,然后根據(jù)空間坐標關(guān)系,將微觀高度信息和采樣點組合成微觀輪廓,通過高斯濾波和評價得到表面粗糙度信息。三坐標測量機具有通用性強、精度可靠,自動化程度高等優(yōu)點,這種方法可以實現(xiàn)在線測量 ,提高測量效率和精度。 國內(nèi)光譜共焦品牌企業(yè)光譜共焦技術(shù)可以測量位移,利用返回光譜的峰值波長位置。
高像素傳感器的設(shè)計取決于對焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時,在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來進行精確測量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設(shè)計超色差攝像鏡頭時,需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率 ,并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜。但是,同時提高NA也會導致球差擴大,并增加電子光學設(shè)計的優(yōu)化難度。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因為光譜儀在各個波長的像素應(yīng)該是一致的,如果縱向色差與波長之間存在離散系統(tǒng),這種離散系統(tǒng)也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別,從而損害傳感器的特性。通過使用自然散射的玻璃或者衍射光學元件(DOE)可以形成足夠強的色差。然而,制造難度和成本相對較高,且在可見光范圍內(nèi)透射損耗也非常高。
光譜共焦傳感器使用復色光作為光源,可以達到微米級精度,并具備對漫反射或鏡反射被測物體的測量功能。此外,光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量,其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),避免光路遮擋,適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測量。在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上下兩個表面都會反射,而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的,從而可能引起一定誤差 。本文通過對平行平板位移測量的誤差分析,探討了這一誤差的來源和影響因素。其中,光源的性能和穩(wěn)定性是影響測量精度的關(guān)鍵因素之一。
主要是對光譜共焦傳感器的校準后的誤差進行分析。各自利用干涉儀與高精密測長機對光譜共焦傳感器開展測量,用曲面測針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測針,以確保光譜共焦傳感器在測量時安裝精密度,隨后拆換平面圖歪頭,對光譜共焦傳感器開展校準。用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進行解決,獲得測量數(shù)據(jù)庫的離散系統(tǒng)誤差。結(jié)果顯示:高精密測長機校準后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%,激光器于涉儀校準時的分析線形誤差為0.038% 。利用小二乘法開展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計算,減少校準時產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,提高對光譜共焦傳感器的校準精密度。它能夠提高研究和制造的精度和效率,為科學研究和工業(yè)生產(chǎn)提供了有力的技術(shù)支持。防水光譜共焦零售價格
光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能。防水型光譜共焦廠家供應(yīng)
在硅片柵線的厚度測量過程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485 、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標記三個區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區(qū)域的選擇具有較大的隨機性影響。防水型光譜共焦廠家供應(yīng)