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根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口被設(shè)置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。它可以實(shí)現(xiàn)對材料的表面形貌進(jìn)行高精度測量,對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。泰州光譜共焦位移傳感器哪個品牌好
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進(jìn)一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置。進(jìn)一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進(jìn)一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進(jìn)一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量,且測量精度能夠達(dá)到亞微米級別。徐州直銷光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應(yīng)用前景。
多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,多個受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個光學(xué)頭的多個測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。
本實(shí)施例中通過采用可拆卸連接便于導(dǎo)光光纖的維護(hù)和更換。所述的發(fā)光件可設(shè)置為一個或多個,當(dāng)設(shè)置為一個時,導(dǎo)光光纖均傳遞一個發(fā)光件的光,這樣會導(dǎo)致傳遞到探頭殼體上的光較弱,從而導(dǎo)致光線的辨識度不高,因此本實(shí)施例中的所述發(fā)光件設(shè)置有多個,根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中,所述的導(dǎo)光光纖設(shè)置有多個,發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的關(guān)系為一一對應(yīng)連接關(guān)系,多個導(dǎo)光光纖呈對稱分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側(cè)壁上,這樣由導(dǎo)光光纖一一對應(yīng)傳遞發(fā)光件產(chǎn)生的光,使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識度高。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。
遠(yuǎn)距離測量:可遠(yuǎn)離被測物體進(jìn)行掃描測量。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進(jìn)行逐點(diǎn)測量,可高速掃描測量。測量精度高:光斑可聚焦到很小,進(jìn)而可探測一般機(jī)械測頭難以探測的部位。 其中,光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,但使用激光進(jìn)行三角測量時,照射到物體表面的激光會呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會影響的光斑的分布,從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難,導(dǎo)致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯,為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測量位移,需要采用新型位移測量技術(shù)。因此,現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的變形過程進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測,對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。吉林光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)商
該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。泰州光譜共焦位移傳感器哪個品牌好
過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進(jìn)行對測量對象的位移的多點(diǎn)測量的共焦測量設(shè)備。在該共焦測量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻(xiàn)1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對多個光學(xué)頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進(jìn)行測量對象的多點(diǎn)測量.泰州光譜共焦位移傳感器哪個品牌好