光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭進行色散，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，使用光譜儀進行光譜分解得出波長的變化信息，再反解得出被測位移。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射，實現(xiàn)了波長和位移之間的編碼轉(zhuǎn)化。光譜儀則實現(xiàn)波長的測量及位移反解輸出。當光譜信息突破小孔的限制，借助平面光柵、凹面反射鏡進行光線的衍射和匯聚，將反射出來的匯聚光照射在線陣CCD上進行光電轉(zhuǎn)換，借助光譜信號采集實現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換， 通過解碼得到位移信息。光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用可以提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。徐州光譜共焦定做
光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復(fù)色光為光源的傳感器，其測扯精度能夠達到nm量級，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性，對千單層和多層透明物體，除準確測量該物體的位移之外，還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應(yīng)用于位移測量中，通過實驗驗證光譜共焦測量系統(tǒng)能夠滿足高精度的位移測蜇要求，對今后將整個 小型化、產(chǎn)品化有著重要的意義。延慶區(qū)光譜共焦推薦光譜共焦厚度檢測系統(tǒng)可以實現(xiàn)厚度的非接觸式測量。
光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差（特定距離）。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀，該光譜儀檢測并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦彩色原理進行測量。共焦測量提供納米分辨率并且?guī)缀?span>與目標材料分開運行。在傳感器的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面，以及測量窄孔、小間隙和空腔。
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因為其測量精度高，對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點，應(yīng)用前景十分大量。文章通過對原理的分析，設(shè)計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃，采用正負透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補償法該鏡，在486,.._,656nm波長范圍內(nèi)，色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達到0.9976，很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度，配以合適的光譜儀，傳感器的分辨率可達到5nm的測量精度。符合設(shè)計要求產(chǎn)生了較大的線性軸向色散，在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性。光譜共焦技術(shù)可以測量位移，利用返回光譜的峰值波長位置。
在點膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)檢驗。在生產(chǎn)中必須保證點膠路線是連貫和穩(wěn)定的，而通過色散共焦測量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標準中的很多參數(shù)。膠水小球相對于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測出來。色散共焦測量就連缺口也能被檢測到。在3C領(lǐng)域，對于精密點膠的要求越來越高，這就要求必須實時檢測膠水高度來實現(xiàn)精密點膠的閉環(huán)控制。由于膠水有透明及非透明多種材質(zhì)，并且膠型輪廓較為復(fù)雜，傾斜角度大，傳統(tǒng)激光傳感器無法準確測量出膠水輪廓高度。創(chuàng)視智能探頭擁有的測量角度，可以適用于各種膠水輪廓高度測量，特別是在圓孔膠高檢測擁有的優(yōu)勢。所以目前業(yè)界通用做法，就是采用超大角度光譜共焦傳感器，由于光譜共焦傳感器采用白光，白光是復(fù)合光，總會有光線可以反射回來，而且針對弧面，加大了光筆的反射夾角(45°)，所以才能完美的測出白色透明點膠的輪廓。激光共焦掃描顯微鏡將被測物體沿光軸移動或?qū)⑼哥R沿光軸移動。朝陽區(qū)光譜共焦詳情
光譜共焦位移傳感器廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、精密機械制造等。徐州光譜共焦定做
光譜共焦位移傳感器原理，由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長不同的單色光，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個連續(xù)的焦點組，每個焦點的單色光波長對應(yīng)1個軸向位置。當樣品處于焦點范圍內(nèi)時，樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些反射回來的光經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此，只有焦點位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上。單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并 得到樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求。徐州光譜共焦定做