等離子預(yù)處理工藝在真空鍍鋁膜中的應(yīng)用。 等離子體是電離了的氣體。它由電子、離子和中性粒子3種成分組成,其中電子和離子的電荷總數(shù)基本相等,故整體是電中性的。在基材薄膜鍍鋁前,通過(guò)等離子處理裝置將電離的等離子體中的電子或離子打到基材薄膜表面,一方面,可以打開(kāi)材料的長(zhǎng)分子鏈,出現(xiàn)高能基團(tuán);另一方面,經(jīng)打擊使薄膜表面出現(xiàn)細(xì)小的凹陷,同時(shí)還可使表面雜質(zhì)離解、重解。電離時(shí)放出的臭氧有強(qiáng)氧化性,附著的雜質(zhì)被氧化而除去,使鍍鋁基材薄膜的表面自由能提高,達(dá)到提高鍍鋁層附著牢度的目的。 等離子預(yù)處理技術(shù)在不同公司其稱呼不同,如英國(guó)Bobst公司、德國(guó)Leybold Optic萊寶光電等稱之為等離子預(yù)處理,美國(guó)Applied Material公司稱之為輝光放電,英國(guó)Rexam公司為其注冊(cè)商標(biāo)為Camplus技術(shù)。另外,不同公司其使用的工藝氣體的組分也有所不同,多數(shù)公司使用氧氣和氬氣的組合,也有少數(shù)公司使用氮?dú)饣蜓鯕馀c氮?dú)獾慕M合。實(shí)踐證明經(jīng)過(guò)等離子處理后的薄膜其鍍鋁層附著牢度可以提高30-50%,且表現(xiàn)為非極性材料提高幅度高于極性材料。一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當(dāng)發(fā)生靶中毒時(shí),濺射電壓會(huì)降低。武漢鈦鋁硅靶材型號(hào)
真空離子鍍厚功能鍍膜代替現(xiàn)行電鍍 真空離子鍍厚特性: (1)不用酸堿鹽、不用物、不產(chǎn)生六價(jià)鉻,沒(méi)有三廢排放,對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染,對(duì)人體旡害。 (2)鍍膜附著性好不易脫落,有過(guò)渡層。 (3)可鍍制厚功能鍍膜有耐磨、耐蝕、耐熱及特殊性能等鍍膜。 (4)鍍膜硬度可達(dá)Hv2000左右, 可據(jù)要求而定。 (5)鍍膜厚度可達(dá)40微米以上,可據(jù)要求而定。 (6)工件基材鋼鐵為主,有色金屬及其合金也可據(jù)要求采用。 應(yīng)用領(lǐng)域:活塞環(huán)、軸承軸瓦、葉片、搬手、篩具、壓鑄模具、 量具、絞刀、絲錐、 板牙、五金工具、機(jī)床頂針、一般耐磨件、鉗子口、零件修復(fù)等等。徐州碳化鎢鈷靶材廠家一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數(shù)比較穩(wěn)定,容易控制。
磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點(diǎn)狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質(zhì)附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點(diǎn)、口水點(diǎn), 膜層局部附著不良等。 改善:加強(qiáng)清洗,加強(qiáng)烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對(duì)于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時(shí)間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過(guò)程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過(guò)快,膜層應(yīng)力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預(yù)熱加熱;增加離子輔助,減小應(yīng)力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布?xì)?;磁?chǎng);遮擋。
ITO薄膜制作過(guò)程中的影響因素 ITO薄膜在濺鍍過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生不同的特性,有時(shí)候表面光潔度比較低,出現(xiàn)“麻點(diǎn)”的現(xiàn)象,有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)高蝕間隔帶,在蝕刻時(shí)還會(huì)出現(xiàn)直線放射型缺劃或電阻偏高帶,有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)微晶溝縫。 常用的ITO靶材是通過(guò)燒結(jié)法生產(chǎn)的,就是由氧化銦(In2O3)和氧化錫(SnO2)粉末按照一定的比例進(jìn)行混合,通常質(zhì)量比是90%In2O3和10% SnO2,形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體(氧化銦錫,ITO)。一般通過(guò)外觀就可以了解ITO靶材的質(zhì)量,深灰色是好的,相反越黑質(zhì)量越差,我國(guó)生產(chǎn)的ITO靶材質(zhì)量還可以的是黑灰色的。 研究顯示,在真空鍍膜機(jī)ITO薄膜濺鍍過(guò)程中,使用磁控濺射的方式,基底溫度控制在200℃左右可以保證薄膜85%以上高可見(jiàn)光透過(guò)率下,電阻率達(dá)到低,而薄膜的結(jié)晶度也隨著基底溫度的提高而提高,晶粒尺寸也逐漸增大,超過(guò)200℃后透射率趨于減弱;使用電子束蒸鍍的方式,隨著退火溫度升高,晶粒尺寸變大,表面形貌均一穩(wěn)定,超過(guò)600℃后顆粒變得大小不一,形狀各異,小顆粒團(tuán)聚現(xiàn)象嚴(yán)重,薄膜表面形貌破壞。靶材密度越高,薄膜的性能越好。
非晶硅薄膜 多晶硅薄膜具有較高的電遷移率和穩(wěn)定的光電性能,是制備微電子器件、薄膜晶體管、大面積平板液晶顯示的質(zhì)量材料。多晶硅薄膜被公認(rèn)為是制備低耗、理想的薄膜太陽(yáng)能電池的材料。因此,如何制備多晶硅薄膜是一個(gè)非常有意義的研究課題。固相法是制備多晶硅薄膜的一種常用方法,它是在高溫退火的條件下,使非晶硅薄膜通過(guò)固相相變而成為多晶硅薄膜。本文采用固相法,利用X- ray 衍射及拉曼光譜,對(duì)用不同方法制備的非晶硅薄膜的晶化過(guò)程進(jìn)行了系統(tǒng)地研究。 在硅薄膜太陽(yáng)能電池材料中,非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池制造工藝相對(duì)簡(jiǎn)單,但是存在光電轉(zhuǎn)換效率低,壽命短,穩(wěn)定性不好,并且存在光致衰退效應(yīng)(S-W 效應(yīng))等缺點(diǎn)。單晶硅薄膜太陽(yáng)能電池因?yàn)橹谱鞴に嚭椭谱鞒杀镜仍蚴冀K得不到推廣,而多晶硅薄膜材料在長(zhǎng)波段具有光敏性,能有效的吸收可見(jiàn)光并且具有光照穩(wěn)定性。通常是放熱反應(yīng),反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑,否則,該化學(xué)反應(yīng)無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行。南通WTi靶材定制
在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高空間的導(dǎo)通能力,降低等離子體阻抗,導(dǎo)致濺射電壓降低。武漢鈦鋁硅靶材型號(hào)
儀器儀表行業(yè)飛速發(fā)展一是因?yàn)槲覈?guó)的經(jīng)濟(jì)高速穩(wěn)定發(fā)展的運(yùn)行;按照過(guò)去的經(jīng)驗(yàn),如果GDP的增長(zhǎng)在10%以上時(shí),儀表行業(yè)的增長(zhǎng)率則在26%~30%之間。二是因?yàn)槲覈?guó)宏觀調(diào)控對(duì)儀表行業(yè)的影響有一個(gè)滯后期,儀表往往在工程的后期才交付使用,因此,因宏觀調(diào)控政策而減少的收入對(duì)儀表行業(yè)的影響不會(huì)太大。我國(guó)現(xiàn)有有限責(zé)任公司企業(yè)數(shù)千多家,已經(jīng)形成門類品種比較齊全,具有一定技術(shù)基礎(chǔ)和生產(chǎn)規(guī)模的產(chǎn)業(yè)體系。但同時(shí)業(yè)內(nèi)行家也指出,雖然我國(guó)測(cè)試儀器產(chǎn)業(yè)有了一定的發(fā)展,但遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行各業(yè)日益增長(zhǎng)的迫切需求。工業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)型升級(jí)、提升發(fā)展質(zhì)量等有利于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展;**安全、社會(huì)安全、產(chǎn)業(yè)和信息安全等需要自主、磁控濺射靶材,蒸發(fā)材料,背板,靶材綁定裝備,成為全社會(huì)共識(shí);中國(guó)生產(chǎn)型正面臨百年未有之大變局,行業(yè)行家認(rèn)為,中美貿(mào)易戰(zhàn)不會(huì)有終點(diǎn),中美關(guān)系時(shí)好時(shí)壞將成為常態(tài),儀器儀表行業(yè)無(wú)法排除大局勢(shì)的影響,且不要把問(wèn)題聚焦在關(guān)稅上。中國(guó)經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展得益于WTO框架下的全球化分工;現(xiàn)在中國(guó)制造的競(jìng)爭(zhēng)力在于工業(yè)門類齊全、供應(yīng)鏈完整、供應(yīng)鏈的高度專業(yè)和細(xì)分。武漢鈦鋁硅靶材型號(hào)
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。