四川高精度納米力學(xué)測試實(shí)驗(yàn)室

模塊化設(shè)計(jì)使系統(tǒng)適用于各種形貌樣品的測試需求及各種SEM/FIB配置，緊湊的外形設(shè)計(jì)適用于各種全尺寸的SEM/FIB樣品室。用戶可設(shè)計(jì)自定義的測試程序和測試模式：①FT-SH傳感器連接頭,其配置的4個(gè)不同型號(hào)的連接頭,可滿足各種不同的測試條件(平面外或者平面內(nèi)測試)和不同的測試距離。②FFT-SB樣品基座適配頭,其配置的4個(gè)不同型號(hào)的適配頭用來調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的高度和角度。③FT-ETB電學(xué)測試樣品臺(tái),包含2個(gè)不同的電學(xué)測試樣品臺(tái),實(shí)現(xiàn)樣品和納米力學(xué)測試平臺(tái)的電導(dǎo)通。④FT-S微力傳感探針和FT-G微鑷子,實(shí)現(xiàn)微納力學(xué)測試和微納操作組裝(按需額外購買)。納米力學(xué)測試在納米器件的設(shè)計(jì)和制造中具有重要作用。四川高精度納米力學(xué)測試實(shí)驗(yàn)室

納米劃痕法，納米劃痕硬度計(jì)主要是通過測量壓頭在法向和切向上的載荷和位移的連續(xù)變化過程，進(jìn)而研究材料的摩擦性能、塑性性能和斷裂性能的。納米劃痕儀器的設(shè)計(jì)主要有兩種方案 納米劃痕計(jì)和壓痕計(jì)，合二為一即劃痕計(jì)的法向力和壓痕深度由高分辨率的壓痕計(jì)提供，同時(shí)記錄勻速移動(dòng)的試樣臺(tái)的位移，使壓頭沿試樣表面進(jìn)行刻劃，切向力由壓桿上的兩個(gè)相互垂直的力傳感器測量納米劃痕硬度計(jì)和壓痕計(jì)相互單獨(dú)。納米劃痕硬度計(jì)，不只可以研究材料的摩擦磨損行為，還普遍應(yīng)用于薄膜的粘著失效和黏彈行為。對(duì)刻劃材料來說，不只載荷和壓入深度是重要的參數(shù)，而且殘余劃痕的深度、寬度、凸起的高度在研究接觸壓力和實(shí)際摩擦也是十分重要的。目前，該類儀器已普遍應(yīng)用于各種電子薄膜、汽車噴漆、膠卷、光學(xué)鏡 頭、磁盤、化妝品(指甲油和口紅)等的質(zhì)量檢測。湖北電線電纜納米力學(xué)測試廠家納米力學(xué)測試可以用于評(píng)估納米材料的熱力學(xué)性能，為納米材料的應(yīng)用提供參考依據(jù)。

中國計(jì)量學(xué)院朱若谷、浙江大學(xué)陳本永等提出了一種通過測量雙法布里一boluo干涉儀透射光強(qiáng)基波幅值差或基波等幅值過零時(shí)間間隔的方法進(jìn)行納米測量的理論基礎(chǔ)，給出了檢測掃描探針振幅變化的新方法。中國科學(xué)院北京電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室成功研制了一臺(tái)使用光學(xué)偏轉(zhuǎn)法檢測的原子力顯微鏡，通過對(duì)云母、光柵、光盤等樣品的觀測證明該儀器達(dá)到原子分辨率，較大掃描范圍可達(dá)7μm×7μm。浙江大學(xué)卓永模等研制成功雙焦干涉球面微觀輪廓儀，解決了對(duì)球形表面微觀輪廓進(jìn)行亞納米級(jí)的非接觸精密測量問題，該系統(tǒng)具有0．1nm的縱向分辨率及小于2μm的橫向分辨率。

目前微納米力學(xué)性能測試方法的發(fā)展趨勢主要向快速定量化以及動(dòng)態(tài)模式發(fā)展，測試對(duì)象也越來越多地涉及軟物質(zhì)、生物材料等之前較難測試的樣品。另外，納米力學(xué)測試方法的標(biāo)準(zhǔn)化也在逐步推進(jìn)。建立標(biāo)準(zhǔn)化的納米力學(xué)測試方法標(biāo)志著相關(guān)測試方法的逐漸成熟，對(duì)納米科學(xué)和技術(shù)的發(fā)展也具有重要的推動(dòng)作用。絕大多數(shù)的納米力學(xué)測試都需要復(fù)雜的樣品制備過程。為了使樣品制備簡單化和人性化,FT-NMT03采用能夠感知力的微鑷子和不同形狀的微力傳感探針針尖來實(shí)現(xiàn)對(duì)微納結(jié)構(gòu)的精確提取、轉(zhuǎn)移直至將其固定在測試平臺(tái)上。總而言之,集中納米操作以及力學(xué)-電學(xué)性能同步測試功能于一體的FT-NMT03能夠滿足幾乎所有的納米力學(xué)測試需求。納米壓痕技術(shù)作為一種常見測試方法，可實(shí)時(shí)監(jiān)測材料在微觀層面的力學(xué)性能。

納米云紋法，云紋法是在20世紀(jì)60年代興起的物體表面全場變形的測量技術(shù)。從上世紀(jì)80年代以來,高頻率光柵制作技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。目前高精度云紋干涉法通常使用的高密度光柵頻率已達(dá)到600~2400線mm,其測量位移靈敏度比傳統(tǒng)的云紋法高出幾十倍甚至上百倍。近年來云紋法的研究熱點(diǎn)已進(jìn)入微納尺度的變形測量，并出現(xiàn)與各種高分辨率電鏡技術(shù)、掃描探針顯微技術(shù)相結(jié)合的趨勢。顯微幾何云紋法，在光學(xué)顯微鏡下通過調(diào)整放大倍數(shù)將柵線放大到頻率小于40線/mm，然后利用分辨率高的感光膠片分別記錄變形前后的柵線，兩種柵線干涉后即可獲得材料表面納米級(jí)變形的云紋。在納米力學(xué)測試中，常用的測試方法包括納米壓痕測試、納米拉伸測試和納米彎曲測試等。江西工業(yè)納米力學(xué)測試

納米力學(xué)測試設(shè)備的精度和靈敏度對(duì)于獲得準(zhǔn)確的測試結(jié)果至關(guān)重要。四川高精度納米力學(xué)測試實(shí)驗(yàn)室

原位納米力學(xué)測試系統(tǒng)是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的儀器，于2011年10月27日啟用。壓痕測試單元：（1）可實(shí)現(xiàn)70nN~30mN不同加載載荷，載荷分辨率為3nN；（2）位移分辨率：0.006nm，較小位移：0.2nm，較大位移：5um；（3）室溫?zé)崞疲?.05nm/s；（4）更換壓頭時(shí)間：60s。能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜或其他金屬或非金屬材料的壓痕、劃痕、摩擦磨損、微彎曲、高溫測試及微彎曲、NanoDMA、模量成像等功能。力學(xué)測試芯片大小只為幾平方毫米，亦可放置在電子顯微鏡真空腔中進(jìn)行原位實(shí)時(shí)檢測。四川高精度納米力學(xué)測試實(shí)驗(yàn)室