真空規(guī)管,真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵沼嬌辖?jīng)過放大處理就可以顯示出被測真空環(huán)境的真空度。主要應(yīng)用于真空環(huán)境的真空度測量領(lǐng)域,如真空鍍膜,太陽能集熱管制作,真空冶煉等。熱偶規(guī):目前國內(nèi)的熱偶規(guī)主要有51系列,53B/54D等。主要應(yīng)用于低真空測量。皮拉尼系列(電阻規(guī)管):目前國內(nèi)的電阻規(guī)型號主要是52T系列。主要以用于粗低真空測量。真空規(guī)管的工作原理:熱偶規(guī)管的工作原理:熱偶規(guī)管由燈絲F和熱偶絲J點焊構(gòu)成雙金屬絲。燈絲用穩(wěn)定電源加熱,熱電偶產(chǎn)生的電動勢用靈敏毫伏計指示。隨著氣體壓力的改變,熱導率因溫度而變化。毫伏計連續(xù)指示相應(yīng)的真空度?!岸探z"型熱偶規(guī)管測量范...
真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。相對真空計則是必須經(jīng)過真空計的校準之后才能進行真空度的測量。任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才較明顯,超出這個范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達19個數(shù)級,沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要...
真空設(shè)備真空計的分類及應(yīng)用:結(jié)構(gòu)與工作原理: 壓力控制儀可在手動和自動兩種工況下運行。當開關(guān)S打到手動位置時,壓力控制儀相當于一個手動微調(diào)真空閥,進行手動壓力調(diào)節(jié);當開關(guān)S打到自動位置時,壓力控制儀構(gòu)成一個閉環(huán)的自動控制系統(tǒng),可實現(xiàn)壓力定值自動調(diào)節(jié)其調(diào)節(jié)過程是:首先由給定單元設(shè)定希望控制的壓力值,根據(jù)具體的被控對象的特性,選擇好PID調(diào)節(jié)單元的比例度艿、積分時間Ti、微分時間Td等參數(shù),當真空測量單元輸出一個表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號時,壓力節(jié)單元可將壓力設(shè)定值與壓力測量值進行比較,并將差值進行運算(例如P、PI、PID);然后通過驅(qū)動電路,驅(qū)動真空調(diào)節(jié)閥,改變進入真空室的氣體流...
全新的真空規(guī)管有沒有可能是壞的?裝上后面板上顯示的真空度一直在跳動,是什么原因?是不是真空規(guī)管壞了呢?真空度一直變化不表示真空規(guī)管壞了,但也不排除壞的可能。可以采取以下措施: 1、重新?lián)Q一個性能正常真空規(guī)管,如果仍出現(xiàn)真空度不穩(wěn)的情況,那么就可以排除被換掉的新真空規(guī)管壞的可能。 2、重新安裝真空規(guī)管及線路包括顯示板,排查是否是接觸的問題。 3、在不通入氣體的情況下,采用機械泵抽真空,觀察壓強變化是不是正常。 4、加地線防干涉。 如果排查下來不是真空規(guī)管壞了,那么有可能是以下原因引發(fā)的: 1、 真空規(guī)管接觸線路到顯示線路這一段可能接觸不穩(wěn)定。 2、 腔室壓強不穩(wěn)定。 3、 可能是其他元氣件對顯示...
電消除束縛得較牢的離子要經(jīng)過300℃的高溫烘烤才有可能再釋放,如果真空規(guī)管內(nèi)壁存在濺射的金屬膜,則對氦氣有強烈的抽氣作用。它的抽氣速率與電子流、各電極電位、有無磁場、規(guī)管壁溫度等因素有關(guān)。如冷磁控規(guī),因有磁場存在,電離效率高,所以電消除抽氣的抽速大;電子流越大,離子流也會增大,電消除的抽速也越大。該型規(guī)管可以與玻璃熱偶規(guī)管互換使用。高真空多層絕熱低溫容器為研究對象,利用殘余氣體分析儀研究冷陰極真空規(guī)管,熱陰極真空規(guī)管以及熱陰極真空規(guī)管不同放置位置對低溫容器真空夾層內(nèi)殘余氣體的影響。什么是真空規(guī)管原理及用途?黃山真空管售價真空規(guī)管,真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵?..
真空規(guī)管的工作原理:電阻規(guī)管的工作原理:電阻規(guī)管是用一根電阻溫度系數(shù)大的熱絲制成,熱絲構(gòu)成惠斯頓電橋的一臂,經(jīng)穩(wěn)定的電源加熱后,其電阻隨氣體壓力而變,由測量電阻的變化可得到壓力的變化。按熱絲電阻變化的測量方法,電阻計分為定壓式、定流式和定溫式三種(即分別維持熱絲的電壓、電流和溫度不變)。電阻計的測量范圍10~1×10-1帕。壓阻規(guī)的工作原理:壓阻規(guī)是用“硅環(huán)膜片”作為金屬彈性薄膜,硅環(huán)膜片內(nèi)側(cè)為標準壓力10-3帕,外側(cè)為被測壓力,當膜片外側(cè)的壓力變化時,由于硅的壓阻效應(yīng),阻值發(fā)生變化,對應(yīng)于被測壓力的電壓信號輸出壓力顯示值。測量范圍105~10帕。壓阻規(guī)的靈敏度與被測氣體種類無關(guān),線性測量精度...
真空傳感器是工業(yè)實踐中常用的一種壓力傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、機床、通風管道等眾多行業(yè)。真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標準信號。傳感器:能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。我們都知道真空規(guī)管是用來測量真空度的傳感器。湖北真空規(guī)管哪里買全新的真空規(guī)管有沒有可能是壞的?裝上后面板上顯示的真空度一直在...
真空規(guī)管如何安裝?真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置,是指電離規(guī)管,玻璃管端部用老虎鉗夾破一點,放進真空室密封好,必須大氣狀態(tài)完成。(還有電阻規(guī)它是測粗真空的,這種沒有規(guī)管,就一個傳感器)用來監(jiān)測真空度的,電離規(guī)開啟一般是有要求的,當壓強到3PA以下才開真空,可設(shè)置壓強參數(shù),到了會自動開,過早開會氧化電離規(guī),導致燒。真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵沼嬌辖?jīng)過放大處理就可以顯示出被測真空環(huán)境的真空度。主要應(yīng)用于真空環(huán)境的真空度測量領(lǐng)域,如真空鍍膜,太陽能集熱管制作,真空冶煉等。作為傳感器敏感元件的硅膜片在壓力的作用下會向上鼓起。常州真空計公司對現(xiàn)有的真空規(guī)管的改進....
真空規(guī)管在真空測量中的抽氣效應(yīng):化學消除抽氣?;瘜W消除抽氣現(xiàn)象的形成分3種:首先是化學活性氣體(如氫氣、氮氣、二氧化碳、一氧化碳)在固體表面的化學吸附效應(yīng),當表面形成吸附層,化學吸附效應(yīng)就會趨于飽和;其次是高溫鎢絲氧化,氧與鎢高溫下生成三氧化鎢,三氧化鎢蒸發(fā)沉積在規(guī)管壁上會形成黑色膜,熱陰極溫度越高,效應(yīng)越大;較后是氣體在高溫鎢絲表面的熱分解,如氫分子與氧分子會分解成氫原子與氧原子,然后被吸附在管壁上,這種效應(yīng)也有飽和現(xiàn)象。原則上應(yīng)把真空規(guī)管安裝在接近被測量的部位,連接管道遵循真空系統(tǒng)的配管原則。舟山真空規(guī)管供應(yīng)商壓縮式真空計:其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體...
真空規(guī)管放氣主要有哪些形式?電解吸。電解吸是指在電離計規(guī)管收集極上存在氣體吸附層,當電子打在其表面時會使吸附層的氣體解吸,或先在其表面將氣體電離后再以離子形式解吸出來。電解吸也被叫做電子碰撞解吸效應(yīng)。它是影響電離規(guī)測量下限的重要因素。光解吸是指金屬表面受光輻射,其表面上的分子解吸和分解現(xiàn)象。光解吸現(xiàn)象在輻射強烈的環(huán)境中較為嚴重,在超高真空測量中也需要注意。說完放氣,一些真空規(guī)管同時存在抽氣作用會對真空測量產(chǎn)生影響。真空度是指低于大氣壓力的氣體的稀薄程度。四川真空管費用真空規(guī)管在真空測量中的抽氣效應(yīng):化學消除抽氣?;瘜W消除抽氣現(xiàn)象的形成分3種:首先是化學活性氣體(如氫氣、氮氣、二氧化碳、一氧化碳...
放電氣體環(huán)境真空規(guī)管輔助儀器.該儀器包括:兩個金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的電子和離子屏蔽電極;在兩個屏蔽電極之間以及一個屏蔽電極和真空室器壁之間施加兩個屏蔽電壓,實現(xiàn)第1級離子屏蔽和第二級電子屏蔽;兩個絕緣支柱和一個安放于真空室的連接口.該儀器結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉,能夠很好地解決電離真空規(guī)管在等離子體環(huán)境中讀數(shù)偏高甚至不能工作的問題,提高其測量穩(wěn)定性和準確度,可以在放電氣體環(huán)境中提供可靠的真空測量,同時配合電離真空規(guī)管使用,測量放電氣體的電離度,規(guī)避了傳統(tǒng)氣體電離度測量成本高,設(shè)備復雜的缺點,是一種易于在工業(yè)界推廣的氣體電離度監(jiān)測儀器。真空傳感器是能感受真空度并能轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的傳感器。南通真空規(guī)管多少錢...
真空設(shè)備真空計的分類及應(yīng)用:結(jié)構(gòu)與工作原理: 壓力控制儀可在手動和自動兩種工況下運行。當開關(guān)S打到手動位置時,壓力控制儀相當于一個手動微調(diào)真空閥,進行手動壓力調(diào)節(jié);當開關(guān)S打到自動位置時,壓力控制儀構(gòu)成一個閉環(huán)的自動控制系統(tǒng),可實現(xiàn)壓力定值自動調(diào)節(jié)其調(diào)節(jié)過程是:首先由給定單元設(shè)定希望控制的壓力值,根據(jù)具體的被控對象的特性,選擇好PID調(diào)節(jié)單元的比例度艿、積分時間Ti、微分時間Td等參數(shù),當真空測量單元輸出一個表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號時,壓力節(jié)單元可將壓力設(shè)定值與壓力測量值進行比較,并將差值進行運算(例如P、PI、PID);然后通過驅(qū)動電路,驅(qū)動真空調(diào)節(jié)閥,改變進入真空室的氣體流...
真空測量不只受限于設(shè)備,同時氣體種類、溫度以及安裝都會對其產(chǎn)生影響,本篇干式螺桿真空泵廠家就來談?wù)務(wù)婵找?guī)管安裝位置與方法對真空測量的影響。首先原則上應(yīng)把真空規(guī)管安裝在接近被測量的部位,連接管道遵循真空系統(tǒng)的配管原則,要求短而粗,這樣才能正確測量出被測部位的實際壓力。如果在其間安裝導管、冷阱、擋板、過濾器等部件時,需要進行修正。同時,規(guī)管不應(yīng)安裝在真空系統(tǒng)中存在氣源的地方。對于沒有定向氣流的靜態(tài)平衡真空系統(tǒng),各處壓力相等,對真空規(guī)管安裝不會有特殊要求。但對于存在定向氣流的非靜態(tài)平衡系統(tǒng),各處壓力不相等,在安裝真空規(guī)管時就必須注意“方向效應(yīng)”。另外,在存在溫差的系統(tǒng)中,溫差也會引發(fā)氣體的定向流動。...
真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。相對真空計則是必須經(jīng)過真空計的校準之后才能進行真空度的測量。任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才較明顯,超出這個范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達19個數(shù)級,沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要...
真空規(guī)管管碟裝配結(jié)構(gòu),其特征在于:包括管殼和管碟底座;所述管殼設(shè)有管碟槽,所述管碟底座的上緣沿周向設(shè)置一斜面,所述管碟底座置于管碟槽中,通過管殼邊緣變形后與管碟底座的斜面貼合,將管碟底座固定于管碟槽內(nèi).采用本實用新型技術(shù)方案結(jié)構(gòu)的管殼及嵌入管殼內(nèi)的管碟,由于管殼邊緣與管碟底座上的接觸面增大,使管殼與管碟之間的結(jié)合更牢固,確保了管碟的裝配質(zhì)量,同時真空規(guī)管的外形更加美觀。磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管及包含所述磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管的真空測量系統(tǒng),一種磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管,其特征在于,所述磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管包括電極,磁系統(tǒng);所述一個電極是所述磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管的金屬外殼,所述金屬外殼...
真空規(guī)管安裝位置與方法對真空測量的影響:首先原則上應(yīng)把真空規(guī)管安裝在接近被測量的部位,連接管道遵循真空系統(tǒng)的配管原則,要求短而粗,這樣才能正確測量出被測部位的實際壓力。如果在其間安裝導管、冷阱、擋板、過濾器等部件時,需要進行修正。同時,規(guī)管不應(yīng)安裝在真空系統(tǒng)中存在氣源的地方。對于沒有定向氣流的靜態(tài)平衡真空系統(tǒng),各處壓力相等,對真空規(guī)管安裝不會有特殊要求。但對于存在定向氣流的非靜態(tài)平衡系統(tǒng),各處壓力不相等,在安裝真空規(guī)管時就必須注意“方向效應(yīng)”。另外,在存在溫差的系統(tǒng)中,溫差也會引發(fā)氣體的定向流動。電離真空規(guī)使用方法有哪些?河北真空管要多少錢真空測量不只受限于設(shè)備,同時氣體種類、溫度以及安裝都會...
真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。相對真空計則是必須經(jīng)過真空計的校準之后才能進行真空度的測量。任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi)才較明顯,超出這個范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達19個數(shù)級,沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要...
若使真空傳感器的輸出端子處于短接狀況,發(fā)動機可以起動,但起動性變壞,會出現(xiàn)發(fā)動機停機及加速不良等現(xiàn)象。這時發(fā)動機根據(jù)其它傳感器的信息,將燃油噴射時間固定,處于自我修正狀態(tài)。上面所講的是真空傳感器的輸出電壓隨進氣歧管壓力變化的情況,下面以其它型號的真空傳感器為例,看一看在怠速狀態(tài)與2000r/min狀態(tài)下用模擬式萬用表10V擋測量的狀況。真空傳感器的輸出端子的排布。將紅表筆與真空傳感器的輸出端子相連,將黑表筆與車身搭鐵端子相連。起動發(fā)動機后,在怠速狀態(tài)下,萬用表指示1.6V電壓;當發(fā)動機轉(zhuǎn)速升高到2000r/min時,電壓值變?yōu)?。2V左右。當節(jié)氣門打開、發(fā)動機轉(zhuǎn)速升高時,電壓升高到2。真空傳感...
真空傳感器是工業(yè)實踐中常用的一種壓力傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、機床、通風管道等眾多行業(yè)。真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標準信號。傳感器:能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。真空度一直變化不表示真空規(guī)管壞了,但也不排除壞的可能。江西真空管廠商放電氣體環(huán)境真空規(guī)管輔助儀器.該儀器包括:兩個金屬網(wǎng)狀結(jié)...
真空規(guī)管結(jié)構(gòu):包括閥本體,閥本體內(nèi)部具有通氣通道,閥本體上設(shè)有進氣口和出氣口,進氣口與出氣口之間設(shè)有密封閥口,密封閥口與左腔體和右腔體通過焊接固定;通氣通道內(nèi)設(shè)有導向桿,導向桿一端設(shè)有密封件,密封件與密封閥口配合,導向桿外周套設(shè)有導向套,導向套與通氣通道的側(cè)壁之間設(shè)置有用于密封的波紋管,導向桿遠離密封件的一端螺紋連接有導向螺母,進氣口通過進氣接管連接有進氣法蘭,出氣口通過出氣接管連接有出氣法蘭.本實用新型通過旋動鎖緊螺母帶動導向桿向下移動,將密封件壓緊到密封閥口上,進行密封,同時導向桿周側(cè)設(shè)置波紋桿,作為進一步密封,提高密封效果,防止氣體滲入,影響真空效果。當電子碰撞氣體分子使其電離并產(chǎn)生離子...
通過理論分析,確立了真空傳感器中硅尖場發(fā)射電流與真空度的關(guān)系。并利用干法刻蝕工藝, 在硅片上制作了高3.2μm, 曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列。保持陽極與硅尖距離為1μm的情況下, 可以觀察到陽極電壓為10V左右時開始有明顯的場發(fā)射電流。利用硅尖陣列場發(fā)射電流大小隨真空度變化而變化的現(xiàn)象, 研制了一種基于硅尖陣列場發(fā)射原理的場發(fā)射真空傳感器。利用加工工藝制作出傳感器樣機, 并搭建測試系統(tǒng)測試其特性。通過實驗發(fā)現(xiàn), 隨著真空度的提高, 傳感器輸出電流也會隨之增大, 而且真空度越高輸出電流越大, 分辨率、靈敏度越高。真空規(guī)管管碟裝配結(jié)構(gòu),其特征在于:包括管殼和管碟底座;所述管殼設(shè)有...
真空規(guī)管,所述真空規(guī)管包括電阻規(guī)管,冷陰極電離規(guī)管,置于真空規(guī)管外側(cè)的永磁組件,用以連接真空測量設(shè)備與真空規(guī)管的高壓插座,所述真空規(guī)管還包括法蘭組件,陽極組件;所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體,所述管體設(shè)有安裝電阻規(guī)管和陽極組件的腔室;所述陽極組件包括壓板,已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿,所述壓板上設(shè)有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規(guī)管,陶瓷組件的腔室;采用所述真空規(guī)管其測量范圍可以達到10。真空管是如何保持真空的?真空計哪里有真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片( 上電極) 、上層密封用的玻璃組成, 其中下電極濺射在玻璃襯底上, 電極上生長一絕緣層...
磁鐵型冷陰極電離真空規(guī)管及包含其的真空測量系統(tǒng),一種磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管,其特征在于,所述磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管包括電極,磁系統(tǒng);所述一個電極是所述磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管的金屬外殼,所述金屬外殼圍成的內(nèi)部空間與金屬外殼外部被測空間相連通,另一個電極為呈棒狀結(jié)構(gòu)的電極,所述呈棒狀結(jié)構(gòu)電極置于所述金屬外殼圍成的內(nèi)部空間中;所述磁系統(tǒng)為多個同性磁極相鄰的方式置于磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管的金屬外殼表面的磁鐵,所述磁系統(tǒng)能提供與棒狀結(jié)構(gòu)的電極的軸向一致的磁場.所述的磁鐵型冷陰極電離真空規(guī)管及包含所述磁鐵型冷陰極真空電離規(guī)管的真空測量系統(tǒng),能夠提高測量精度和測量范圍。真空傳感器的檢測就是測量傳感器...
真空規(guī)管包括電阻規(guī)管,冷陰極電離規(guī)管,置于真空規(guī)管外側(cè)的永磁組件,用以連接真空測量設(shè)備與真空規(guī)管的高壓插座,所述真空規(guī)管還包括法蘭組件,陽極組件;所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體,所述管體設(shè)有安裝電阻規(guī)管和陽極組件的腔室;所述陽極組件包括壓板,已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿,所述壓板上設(shè)有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規(guī)管,陶瓷組件的腔室;采用所述真空規(guī)管其測量范圍可以達到105Pa-10-7Pa,拓展了冷陰極電離規(guī)管的測量上限。在熱陰極電離真空計規(guī)管中,高溫熱陰極本身就是一種氣源。無錫真空規(guī)管壓縮式真空計是通過改進U型管真空計而來,同樣是用硬質(zhì)玻璃吹制而成...
真空規(guī)管的工作原理:電阻規(guī)管的工作原理:電阻規(guī)管是用一根電阻溫度系數(shù)大的熱絲制成,熱絲構(gòu)成惠斯頓電橋的一臂,經(jīng)穩(wěn)定的電源加熱后,其電阻隨氣體壓力而變,由測量電阻的變化可得到壓力的變化。按熱絲電阻變化的測量方法,電阻計分為定壓式、定流式和定溫式三種(即分別維持熱絲的電壓、電流和溫度不變)。電阻計的測量范圍10~1×10-1帕。壓阻規(guī)的工作原理:壓阻規(guī)是用“硅環(huán)膜片”作為金屬彈性薄膜,硅環(huán)膜片內(nèi)側(cè)為標準壓力10-3帕,外側(cè)為被測壓力,當膜片外側(cè)的壓力變化時,由于硅的壓阻效應(yīng),阻值發(fā)生變化,對應(yīng)于被測壓力的電壓信號輸出壓力顯示值。測量范圍105~10帕。壓阻規(guī)的靈敏度與被測氣體種類無關(guān),線性測量精度...
真空規(guī)管放氣主要有哪些形式?真空規(guī)管放氣對真空測量的影響主要有三種形式:熱解吸、電解吸及光解吸。熱解吸是通過直接或間接熱交換,解除吸附質(zhì)的吸附狀態(tài),使其揮發(fā)或分離。在熱陰極電離真空計規(guī)管中,高溫熱陰極本身就是一種氣源。它的高溫熱量輻射到其他電極和規(guī)管壁時,會引起氣體的熱解吸。此外,柵極接收電子、收集極收集離子,也會因發(fā)熱使氣體解吸。因此為消除這種熱解吸影響,對真空規(guī)管的電極以及管壁需要進行充分的加熱去氣,如烘烤、電子轟擊、高頻加熱、歐姆加熱等。尤其是在超高真空測量過程中,必須嚴格去氣,否則將會產(chǎn)生明顯的測量誤差。重新安裝真空規(guī)管及線路包括顯示板,排查是否是接觸的問題。舟山真空計公司咨詢真空規(guī)管...
冷陰極電離真空計的優(yōu)勢在哪里?采用冷陰極后,消除了高溫燈絲帶來的化學消除作用,使真空計的讀數(shù)不受影響。結(jié)構(gòu)上因為不需要熱絲電子發(fā)射和控制,簡化了儀器的結(jié)構(gòu)。被測容器發(fā)生意外漏氣時,冷陰極電離真空計的規(guī)管不存在被燒毀的危險。冷陰極電離真空計的規(guī)管可以避免被真空系統(tǒng)內(nèi)部的化學活性氣體(如氧基碳水化合物蒸氣)所毒化或破壞,因此使用壽命更長。冷規(guī)管的靈敏度比普通型熱陰極電離規(guī)管靈敏度高1個數(shù)量級。因為簡化了儀器的結(jié)構(gòu),因此冷規(guī)管的結(jié)構(gòu)和控制線路均比較簡單,易于制作。真空規(guī)管放氣對真空測量的影響主要有三種形式:熱解吸、電解吸及光解吸?;窗舱婵展苣睦镔I真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片( 上電極...
真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片( 上電極) 、上層密封用的玻璃組成, 其中下電極濺射在玻璃襯底上, 電極上生長一絕緣層; 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩個腔體, 其中上面的腔體是一個真空腔, 下面的腔體是鍵合形成的, 這個腔體不是密封的, 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控制, 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很小, 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原因,真空度是指低于大氣壓力的氣體的稀薄程度,通常以壓力來表示真空度,壓力高意味著真空度低,壓力低意味著真空度高。真空傳感器是工業(yè)實踐中常用的一種壓力傳感器,其廣...
用于玻璃真空規(guī)管的切割裝置及切割方法,切割裝置包括外殼A,外殼B,刀頭以及支撐部件,圓弧形薄壁狀外殼A和外殼B彼此相對布置,刀頭和支撐部件分別安裝于外殼A和外殼B的內(nèi)壁上,且支撐部件的轉(zhuǎn)動中心與外殼B內(nèi)壁的中心軸線平行;切割方法包括使用刀頭和支撐部件對真空規(guī)管進行定位,旋轉(zhuǎn)刀頭和支撐部件在真空規(guī)管外表面上刻出一圈封閉的刻痕,破壞真空規(guī)管的末端,使其內(nèi)部與大氣連通,沿刻痕切斷真空規(guī)管,打磨真空規(guī)管斷口邊緣的毛刺等步驟;采用本發(fā)明的技術(shù)方案,通過刀頭和支撐部件對真空規(guī)管進行定位,保證了真空規(guī)管切割斷口的平整和一致性,并避免了切割過程中玻璃碎屑飛濺,操作便捷,提高了切割效率。作為傳感器敏感元件的硅膜...
真空規(guī)管在真空測量中的抽氣效應(yīng):電消除抽氣。當電子碰撞氣體分子使其電離并產(chǎn)生離子,獲得能量的離子打到規(guī)管壁上或被收集極接收。隨后這些離子或被束縛在其表面或被埋入表層內(nèi)而被消除,這就是電消除。電消除束縛得較牢的離子要經(jīng)過300℃的高溫烘烤才有可能再釋放,如果真空規(guī)管內(nèi)壁存在濺射的金屬膜,則對氦氣有強烈的抽氣作用。它的抽氣速率與電子流、各電極電位、有無磁場、規(guī)管壁溫度等因素有關(guān)。如冷磁控規(guī),因有磁場存在,電離效率高,所以電消除抽氣的抽速大;電子流越大,離子流也會增大,電消除的抽速也越大。冷陰極電離真空計比熱陰極電離真空計有更大的電消除作用,連接管路流導較小時,規(guī)管內(nèi)的真空度與被測真空系統(tǒng)內(nèi)的真空度...